JP6215986B2 - 除塵装置を備えた露光装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、露光装置EXは、図1中の左側から右側に向けて順に、投入部1、第1露光部2、反転部3、第2露光部4、及び排出部5を備えている。
第1露光部2及び第2露光部4にはそれぞれ同一構成の除塵装置(クリーニングユニット)12が設けられている。図2、図3では、第1露光部2に設けられた除塵装置12のみを描いており、第2露光部4の構成要素に対応する符号を括弧書きで示している。
図8ないし図14を参照して、本実施形態の露光装置EXの除塵装置12の動作を説明する。ここでは、第1露光部2のマスク10と露光テーブル8を除塵対象物として、マスク10を除塵した後に露光テーブル8を除塵する場合を例示して説明する。
W ワーク(感光性基板、除塵対象物)
WS 除塵表面
WS1 第1除塵表面(分割除塵表面)
WS2 第2除塵表面(分割除塵表面)
1 投入部
1a ステージ
2 第1露光部
3 反転部
4 第2露光部
5 排出部
5a ステージ
6 第1ハンドラ(ワーク移動機構)
6a 搬入ハンドラ
6b 搬出ハンドラ
7 第2ハンドラ(ワーク移動機構)
7a 搬入ハンドラ
7b 搬出ハンドラ
8 露光テーブル(除塵対象物)
8S 除塵表面
8S1 第1除塵表面(分割除塵表面)
8S2 第2除塵表面(分割除塵表面)
9 反転装置
10 マスク(除塵対象物)
10S 除塵表面
10S1 第1除塵表面(分割除塵表面)
10S2 第2除塵表面(分割除塵表面)
12 除塵装置(クリーニングユニット)
12a 第1除塵装置
12b 第2除塵装置
14 光源
16a 第1除塵ローラ(第1除塵部材、除塵部材)
16ar 第1除塵ローラの周長(有効径)
16b 第2除塵ローラ(第2除塵部材、除塵部材)
16br 第2除塵ローラの周長(有効径)
16c 制御部
17 フレーム
18 転写ローラ(集塵装置)
19 ガイドレール
20 搬送フレーム(移動機構、ワーク移動機構)
21 ガイドレール
22 y方向移動テーブル
23 接続フレーム
24 ガイドレール
25 z方向移動テーブル
26 ステー
27 駆動モータ
28 除電器
Claims (4)
- 感光性基板に対してパターンを露光する露光装置において、
前記露光装置内の除塵対象物の除塵表面を複数に分割した分割除塵表面に対応する複数の除塵部材と、
前記複数の除塵部材が対応する前記分割除塵表面を除塵するように、前記複数の除塵部材と前記除塵対象物を相対移動させる移動機構と、
を備え、
前記分割除塵表面は、前記分割除塵表面と前記除塵部材の相対移動方向に並んでいること、及び
前記移動機構は、前記複数の除塵部材を前記相対移動方向に個別に移動させること、を特徴とする除塵装置を備えた露光装置。 - 請求項1記載の除塵装置を備えた露光装置において、
前記複数の除塵部材は、前記除塵対象物の前記除塵表面を2つに分割した第1、第2の分割除塵表面を除塵する第1、第2の除塵部材を有し、
前記移動機構は、前記第1の除塵部材による前記第1の分割除塵表面の除塵と、前記第2の除塵部材による前記第2の分割除塵表面の除塵を交互に行わせるように複数の前記第1、第2の除塵部材を移動させる除塵装置を備えた露光装置。 - 請求項1または2記載の除塵装置を備えた露光装置において、
さらに、前記除塵部材に付着した塵を集塵して清掃する集塵装置を備え、
前記移動機構が、複数の前記除塵部材をそれぞれ、前記分割除塵表面に接触する接触位置と接触しない非接触位置との間で移動させ、かつ、前記接触位置において、複数の前記除塵部材を前記分割除塵表面に対して移動させ、さらに前記非接触位置において、複数の前記除塵部材を前記集塵装置に接触させて複数の前記除塵部材に付着した塵を前記集塵装置に移して清掃する動作を実行すること、を特徴とする除塵装置を備えた露光装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項記載の除塵装置を備えた露光装置において、
前記除塵対象物は、前記感光性基板、露光テーブル及びマスクの1つ以上を含んでいる除塵装置を備えた露光装置。
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