JP6202359B2 - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の明細書、請求の範囲で用いる用語を定義する。
「カーボンナノチューブ」は、グラフェンシートを筒状に巻いた構造を有した、微細な構造物をいう。
本発明のカーボンナノチューブの製造方法は、アセチレンと、アセチレンからカーボンナノチューブを生成するための触媒と、を使用して、反応器中に配置された加熱状態の支持体上にカーボンナノチューブを合成するカーボンナノチューブの製造方法である。この製造方法は、アセチレン、二酸化炭素及び不活性ガスからなる原料ガスを、触媒を担持させた支持体上に流通させることで、支持体上にカーボンナノチューブを合成させる合成工程を有する。
また、本発明のカーボンナノチューブの製造方法では、CNT成長時の温度(=反応温度=支持体の温度)を500℃以上1000℃以下に保持した状態で行うことが好ましい。より好ましくは700℃以上900℃以下で行うのが好ましい。CNT成長時の温度の好ましい上限を1000℃としたのは、アセチレンが熱分解して煤になる温度以下にすることを意図している。また、支持体の温度の好ましい下限を500℃としたのは、触媒が活性を保持し、カーボンナノチューブをより効率的に合成する観点からである。
上記合成工程において、カーボンナノチューブの合成を1分間以上行うことが好ましく、1〜100分間行うことがより好ましい。反応時間は、カーボンナノチューブの長さをどの程度にするかの目的に応じて変わる。合成時間が長ければ、長いカーボンナノチューブの合成ができる。この合成時間は、材料の種類、必要なカーボンナノチューブの長さによって、決定されるものであり、上述の値に限定されるものではない。
支持体は、耐熱性、耐腐食性、耐薬品性、機械的強度特性等がよい理由から、セラミックスを材料に用いることが好ましい。支持体には、O、N、C、Si、Al、Zr、及びMgの中から選択される1以上の元素を含む公知の酸化物系、窒化物系、炭化ケイ素系等のセラミックスを用いるとよい。しかしながら、支持体はセラミックスに限定されるものではなく、W、Ta、Mo、Ti、Al、Fe、Co、及びNiの中から選択される1以上の元素を含む金属又は合金からなる金属素材や、炭素を用いてもよい。
触媒担体(担体層)は、好ましくはSi、Al、Mg、Zr、Ti、O、N、C、Mo、Ta及びWの中から選択される1以上の元素を含む。例えば、触媒担体は、SiO2、Al2O3やMgO等の酸化物、Si3N4やAlN等の窒化物、SiC等の炭化物で形成されているとよい。特にAl2O3−SiO2の複合酸化物が好ましい。
原料ガスは、アセチレン、二酸化炭素及びキャリアガスからなる。アセチレンは、反応器内に、気体状態で供給される。キャリアガスは、カーボンナノチューブの生成に影響を与えない窒素及びアルゴン等を好適に使用することができ、また水素等を用いてもよい。
合成されたカーボンナノチューブの直径は、0.4nm以上10nm以下であるとよい。カーボンナノチューブの直径は、触媒の種類、その大きさによって決定されるものであり、この値に限定されるものではない。カーボンナノチューブの長さは、合成時間によって決定されるものであり、短いカーボンナノチューブを必要とする用途の場合は、合成時間を短くする。長いカーボンナノチューブを必要とする用途の場合は、合成時間を長くする。
支持体基板23に、スパッタ法等により担体原料及び触媒原料を担持する。支持体に担体の機能も持たせることも可能であり、その際には担体を担持する必要は必ずしもない。次に、支持体基板23を反応器21内に設置し、キャリアガス流通下で所定の温度まで加熱する。
上記のように加熱された、触媒が担持された支持体基板23上に原料ガス供給管25を通じてアセチレンを含む原料ガスを流通すると、支持体基板23上にカーボンナノチューブを合成することができる。
本発明の実施例1を説明する。ここでは、基板(支持体)として石英基板を用い、触媒は該基板上にスパッタ成膜した。
アセチレン及び二酸化炭素の分圧を表1に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、実施例2,参考例3及び4,実施例5〜7のカーボンナノチューブを製造した。生成したカーボンナノチューブの長さをそれぞれ表1に示した。
アセチレン及び二酸化炭素の分圧を表1に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、比較例1〜4のカーボンナノチューブを製造しようと試みたが、カーボンナノチューブの生成を目視で観察することはできなかった。
Claims (4)
- アセチレンと、該アセチレンからカーボンナノチューブを生成するための触媒と、を使用して、反応器中に配置された加熱状態の支持体上に前記カーボンナノチューブを合成するカーボンナノチューブの製造方法であって、
前記アセチレン、二酸化炭素及び不活性ガスからなる原料ガスを、前記触媒を担持させた前記支持体上に流通させることで、前記支持体上に前記カーボンナノチューブを合成させる合成工程を有し、
前記原料ガスにおいて、前記アセチレンの分圧が1.33×101〜6.67×10 3 Paであり、前記二酸化炭素の分圧が6.67×10 1 〜1.33×104Paであり、且つ、前記アセチレンと前記二酸化炭素との分圧比(アセチレン/二酸化炭素)が0.1〜0.7である、カーボンナノチューブの製造方法。 - 前記原料ガスにおいて、前記アセチレンの分圧が1.60×10 2 〜2.67×103Paであり、前記二酸化炭素の分圧が1.01×10 3 〜4.05×103Paであることを特徴とする、請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記合成工程において、前記カーボンナノチューブの合成を1分間以上行う、請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記支持体が、粉末状、ビーズ状、ハニカム状、多孔質状、ファイバー状、チューブ状、ワイヤー状、網状、格子状、スポンジ状、板状及び層状の中から選択される一つの形状を有する構造物である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
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