JP6197335B2 - 非破壊検査の判定装置、判定方法及びプログラム - Google Patents
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Description
ICチップの表面実装タイプのパッケージ方法の一種で、BGA(Ball Grid Array)がある。BGA構造の電子部品は、樹脂製の平面形状を有する本体の裏面に小さいボール状の電極を多数配列した形状を備える。BGA構造はこれらのボール状の電極を、半田の表面張力で半球状に形成している。
本実施の形態にかかる判定装置200は、事前に得た回路基板の設計データを用いて、基板両面に部品を実装した電子部品の非破壊検査の結果をシミュレーションし、その信頼度を判定する装置である。
以下、判定装置200の各部の説明をする。
ランド抽出手段1は、事前に得た回路基板の設計データを用いて、基板112の第1面である一面側(以下、表面と記す)における全てのランド(接合部)を抽出する。ランド抽出手段1は、ランドを抽出する処理が完了したら、抽出したランドの位置及び形状情報を、軌跡算出手段2へ出力する。
図9に、基板112表面に形成したランドパターンの例を示す。ここで、図中の灰色部分がランドパターンを示すものとする。図10は、判定装置200がランド211のX線検査をシミュレーションする様子を示した斜視図である。
次に、判定装置200の処理の流れを説明する。
図19は本実施の形態1にかかる判定装置200の処理を示したフローチャートである。判定装置200の軌跡演算部201は、前記接合部から一定角度で前記他面側に射影される軌跡を演算する(S10)。次に、判定装置200の重複判定部202は、前記軌跡と前記第2のランドパターンとの重複部分と、前記軌跡とに基づいて非破壊検査の評価をする(S11)。
他の実施の形態として、軌跡の算出、及び重複部算出、及び判定を、ランド上の中心点の他に一定間隔をおいた点で実施する方法が考えられる。また、軌跡算出、及び重複部算出に用いる情報として、基板112裏面のランドパターン情報に加えて、基板112裏面に実装する部品の外部電極部や、部品の内部電極等の情報を用い、軌跡算出、及び重複部算出を行う方法が考えられる。さらに、基板112裏面のランドパターンを得る方法として、基板の設計情報の他に、外観検査をして実際に測定した情報を用いる方法が考えられる。
基板112のランド113内にある観測点PFに対してラミノグラフィによるX線検査を行う場合、判定装置200は、観測点PFを透過するX線と観測点PFが存在する基板面の裏面との交点PRaが描く軌跡と、裏面のランドパターンを基板設計の時点で比較する。このような非破壊検査のシミュレーションを行うことにより、判定装置200は、事前の設計段階でX線検査に誤差が生じる可能性があると判定して警告を行うことができる。そのため、設計者は基板の設計を変更するなどして、より信頼性を高めた製品の設計に反映することができる。
上記で説明した判定方法は、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)を含む半導体処理装置を用いて実現されてもよい。また、これらの処理は、少なくとも1つのプロセッサ(e.g. マイクロプロセッサ、MPU、DSP(Digital Signal Processor))を含むコンピュータシステムにプログラムを実行させることによって実現されてもよい。具体的には、これらの送信信号処理又は受信信号処理に関するアルゴリズムをコンピュータシステムに行わせるための命令群を含む1又は複数のプログラムを作成し、当該プログラムをコンピュータに供給すればよい。
(付記1)
第1面側において電子部品の電極と第1の回路とが接合部で接合されており、第2面側に第2の回路を備える電子回路基板について、非破壊検査をしたとした場合にその検査結果の信頼度を判定する判定装置であって、
前記接合部内の観測点から一定角度で前記第2面側に射影される軌跡を演算する軌跡演算部と、
前記軌跡と前記第2の回路との重複部分に基づいて前記非破壊検査の評価をする重複判定部と、
を備える非破壊検査の信頼度を判定する判定装置。
(付記2)
前記軌跡演算部が前記接合部内の複数の観測点からの前記軌跡を演算する場合に、
前記重複判定部は、前記重複部分と、前記軌跡とに基づいて第1の判定値を演算し、前記第1の判定値が第1の基準値を超えた観測点の数と全観測点数とに基づいて第2の判定値を演算し、前記第2の判定値と第2の基準値と比較する、
付記1に記載の判定装置。
(付記3)
前記第2の判定値と第2の基準値と比較する場合に、
前記第2の判定値が前記第2の基準値を超えた場合に警告をする、
付記2に記載の判定装置。
(付記4)
前記重複部分の判定をする場合に、
前記第2の回路の画像と、前記軌跡の画像とに基づいて前記軌跡と前記第2の回路との重複する部分の画素数と、前記軌跡の画素数とを比較して前記重複部分を演算する、
付記1から3いずれか1項に記載の判定装置。
(付記5)
前記重複部分の判定をする場合に、
第2の回路の位置を表す回路数値データと、演算に基づいて求めた前記軌跡の軌跡数値データとに基づいて前記重複部分を演算する、
付記1から3いずれか1項に記載の判定装置。
(付記6)
第1面側において電子部品の電極と第1の回路とが接合部で接合されており、第2面側に第2の回路を備える電子回路基板について、非破壊検査をしたとした場合にその検査結果の信頼度を判定する判定方法であって、
前記接合部内の観測点から一定角度で前記第2面側に射影される軌跡を演算し、
前記軌跡と前記第2の回路との重複部分に基づいて前記非破壊検査の評価をする、
非破壊検査の信頼度を判定する判定方法。
(付記7)
前記接合部内の複数の観測点からの前記軌跡を演算する場合に、
前記重複部分と、前記軌跡とに基づいて第1の判定値を演算し、前記第1の判定値が第1の基準値を超えた観測点の数と全観測点数とに基づいて第2の判定値を演算し、前記第2の判定値と第2の基準値と比較する、
付記6に記載の判定方法。
(付記8)
前記第2の判定値と第2の基準値と比較する場合に、
前記第2の判定値が前記第2の基準値を超えた場合に警告をする、
付記7に記載の判定方法。
(付記9)
前記重複部分の判定をする場合に、
前記第2の回路の画像と、前記軌跡の画像とに基づいて前記軌跡と前記第2の回路との重複する部分の画素数と、前記軌跡の画素数とを比較して前記重複部分を演算する、
付記6から8いずれか1項に記載の判定方法。
(付記10)
前記重複部分の判定をする場合に、
第2の回路の位置を表す回路数値データと、演算に基づいて求めた前記軌跡の軌跡数値データとに基づいて前記重複部分を演算する、
付記6から8いずれか1項に記載の判定方法。
(付記11)
第1面側において電子部品の電極と第1の回路とが接合部で接合されており、第2面側に第2の回路を備える電子回路基板について、非破壊検査をしたとした場合にその検査結果の信頼度を判定する判定方法をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記判定方法は、前記接合部内の観測点から一定角度で前記第2面側に射影される軌跡を演算し、
前記軌跡と前記第2の回路との重複部分に基づいて前記非破壊検査の評価をすることを含む。
(付記12)
前記判定することは、前記接合部内の複数の観測点からの前記軌跡を演算する場合に、
前記重複部分と、前記軌跡とに基づいて第1の判定値を演算し、前記第1の判定値が第1の基準値を超えた観測点の数と全観測点数とに基づいて第2の判定値を演算し、前記第2の判定値と第2の基準値と比較することを含む、
付記11に記載のプログラム。
(付記13)
前記判定することは、前記第2の判定値と第2の基準値と比較する場合に、
前記第2の判定値が前記第2の基準値を超えた場合に警告をすることを含む、
付記12に記載のプログラム。
(付記14)
前記判定することは、前記重複部分の判定をする場合に、
前記第2の回路の画像と、前記軌跡の画像とに基づいて前記軌跡と前記第2の回路との重複する部分の画素数と、前記軌跡の画素数とを比較して前記重複部分を演算することを含む、
付記11から13いずれか1項に記載のプログラム。
(付記15)
前記判定することは、前記重複部分の判定をする場合に、
第2の回路の位置を表す回路数値データと、演算に基づいて求めた前記軌跡の軌跡数値データとに基づいて前記重複部分を演算することを含む、
付記11から13いずれか1項に記載のプログラム。
2 軌跡算出手段
3 重複部算出手段
4 判定手段
101 X線源
102 検出器
111 部品
112 基板
113 ランド
114 接合部
121 部品
123 ランド
124 接合部
131 回転軸
200 判定装置
201 軌跡演算部
202 重複判定部
211 ランド
311 ランド
CR1 軌跡
CR1a 円CR1とランドパターンの重複部分
PF ランド113上の観測点
PF1 ランド211内の観測点
PR 観測点PFがある面の裏面との交点
PR1 観測点PF1に対する裏面の点
PRa 観測点PFから裏面への射影の交点
Claims (10)
- 第1面側において電子部品の電極と第1の回路とが接合部で接合されており、第2面側に第2の回路を備える電子回路基板について、非破壊検査をしたとした場合にその検査結果の信頼度を判定する判定装置であって、
事前に得た前記電子回路基板の設計データを用いて、前記電子回路基板の前記第1面側におけるランドの位置及び形状情報を抽出するランド抽出手段と、
前記抽出したランドの位置及び形状情報と、前記非破壊検査で使用するX線と前記電子回路基板の前記第1面との角度と、前記電子回路基板の厚さと、を用いて、前記X線が前記接合部内の観測点を前記角度で透過した際に前記第2面側に射影される軌跡を演算する軌跡算出手段と、
前記軌跡と前記第2の回路との重複部分に基づいて前記非破壊検査の評価をする重複判定部と、
を備える非破壊検査の信頼度を判定する判定装置。 - 前記軌跡算出手段が前記接合部内の複数の観測点からの前記軌跡を演算する場合に、
前記重複判定部は、前記重複部分と、前記軌跡とに基づいて第1の判定値を演算し、前記第1の判定値が第1の基準値を超えた観測点の数と全観測点数とに基づいて第2の判定値を演算し、前記第2の判定値と第2の基準値とを比較する、
請求項1に記載の判定装置。 - 前記第2の判定値と第2の基準値とを比較する場合に、
前記第2の判定値が前記第2の基準値を超えた場合に警告をする、
請求項2に記載の判定装置。 - 前記重複部分の判定をする場合に、
前記第2の回路の画像と、前記軌跡の画像とに基づいて前記軌跡と前記第2の回路との重複する部分の画素数と、前記軌跡の画素数とを比較して前記重複部分を演算する、
請求項1から3いずれか1項に記載の判定装置。 - 前記重複部分の判定をする場合に、
第2の回路の位置を表す回路数値データと、演算に基づいて求めた前記軌跡の軌跡数値データとに基づいて前記重複部分を演算する、
請求項1から3いずれか1項に記載の判定装置。 - 第1面側において電子部品の電極と第1の回路とが接合部で接合されており、第2面側に第2の回路を備える電子回路基板について、非破壊検査をしたとした場合にその検査結果の信頼度を判定する判定方法であって、
事前に得た前記電子回路基板の設計データを用いて、前記電子回路基板の前記第1面側におけるランドの位置及び形状情報を抽出し、
前記抽出したランドの位置及び形状情報と、前記非破壊検査で使用するX線と前記電子回路基板の前記第1面との角度と、前記電子回路基板の厚さと、を用いて、前記X線が前記接合部内の観測点を前記角度で透過した際に前記第2面側に射影される軌跡を演算し、
前記軌跡と前記第2の回路との重複部分に基づいて前記非破壊検査の評価をする、
非破壊検査の信頼度を判定する判定方法。 - 前記接合部内の複数の観測点からの前記軌跡を演算する場合に、
前記重複部分と、前記軌跡とに基づいて第1の判定値を演算し、前記第1の判定値が第1の基準値を超えた観測点の数と全観測点数とに基づいて第2の判定値を演算し、前記第2の判定値と第2の基準値とを比較する、
請求項6に記載の判定方法。 - 前記第2の判定値と第2の基準値とを比較する場合に、
前記第2の判定値が前記第2の基準値を超えた場合に警告をする、
請求項7に記載の判定方法。 - 前記重複部分の判定をする場合に、
前記第2の回路の画像と、前記軌跡の画像とに基づいて前記軌跡と前記第2の回路との重複する部分の画素数と、前記軌跡の画素数とを比較して前記重複部分を演算する、
請求項6から8いずれか1項に記載の判定方法。 - 第1面側において電子部品の電極と第1の回路とが接合部で接合されており、第2面側に第2の回路を備える電子回路基板について、非破壊検査をしたとした場合にその検査結果の信頼度を判定する判定方法をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記判定方法は、事前に得た前記電子回路基板の設計データを用いて、前記電子回路基板の前記第1面側におけるランドの位置及び形状情報を抽出し、
前記抽出したランドの位置及び形状情報と、前記非破壊検査で使用するX線と前記電子回路基板の前記第1面との角度と、前記電子回路基板の厚さと、を用いて、前記X線が前記接合部内の観測点を前記角度で透過した際に前記第2面側に射影される軌跡を演算し、
前記軌跡と前記第2の回路との重複部分に基づいて前記非破壊検査の評価をすることを含む。
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