JP2006276001A - X線検査装置及びx線検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プリント基板10はプリント基板側半田4b、プリント基板側ランド6、基材5、プリント基板側レジスト7などを備え、プリント基板側ランド6に対して間隔を隔ててプリント基板側レジスト7が設けられる構造である。また、回路素子20は、インターポーザ1のプリント基板側半田4bに対応する位置に形成される回路素子側ランド2、その回路素子側ランド2上に形成される回路素子側半田4a(半田ボール)などを備える。そして、この回路素子20をプリント基板10に実装した状態において、透過型の3次元X線検査装置を用いてプリント基板側ランド6及びプリント基板側ランド6の周辺の水平断層画像を作成して半田接続部の検査を行う。
【選択図】図4
Description
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。図1(a)は本発明の第1の実施の形態におけるプリント基板の概略構成を示す部分的な断面図であり、(b)は本発明の第1の実施の形態における回路素子の概略構成を示す部分的な断面図である。図2は、本発明の第1の実施の形態における回路素子をプリント基板に実装した状態の概略構成を示す部分的な断面図である。
なお、上述の実施の形態においては、水平断層画像を作成するためにカメラ60を回転させる例を用いて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。変形例として、カメラ60を回転させるかわりに、電子装置30と共にステージ40を回転させるようにしてもよい。
次に、本発明の第2の実施の形態を図に基づいて説明する。図7(a)は本発明の第2の実施の形態における回路素子をプリント基板に実装した状態の概略構成を示す部分的な断面図であり、(b)は本発明の第2の実施の形態におけるプリント基板の概略構成を示す部分的な平面図である。図8は、本発明の第2の実施の形態における回路素子及びプリント基板の反り補正マークを別の位置に配置した場合の部分的な断面図である。図9は、本発明の第2の実施の形態における反り測定装置の概略構成を示す説明図である。
Claims (26)
- 複数の半田ボールを備えた回路素子とレジストと離間して設けられるランドを備えたプリント基板との半田接続部の接続状態を検査するX線検査装置であって、
前記X線検査装置は、
前記回路素子が前記プリント基板に実装された状態において前記半田接続部にX線を照射するX線照射手段と、
前記半田接続部を透過したX線を検出して検出信号を出力するX線検出手段と、
前記検出信号に基づいて前記ランドの側面に半田が存在するか否かを示す水平断層画像を作成して出力する画像作成手段と、
を備えることを特徴とするX線検査装置。 - 前記画像作成手段は、前記ランド毎に水平断層画像を作成して出力することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記画像作成手段は、複数のランド単位で水平断層画像を作成して出力することを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記画像作成手段は、前記ランドの側面を含む当該ランドの周囲を含む所定の範囲の前記水平断層画像を作成して出力するものであり、当該所定の範囲の水平断層画像における前記ランドの側面の半田の占有率によって前記半田接続部の接続状態の良否判定を行う判定手段を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のX線検査装置。
- 前記画像作成手段は、前記ランド上面を検出し、当該上面から前記回路素子とは反対方向における複数点の前記水平断層画像を作成し、当該複数点の水平断層画像を作成して出力することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のX線検査装置。
- 前記画像作成手段は、前記半田接続部の3次元画像から前記水平断層画像を作成することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のX線検査装置。
- プリント基板の反り量を測定して、当該反り量を示す反り信号を出力する反り測定手段を備え、前記画像生成手段は、前記反り信号に応じて前記水平断層画像を補正することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のX線検査装置。
- 前記プリント基板は、表面に少なくとも3つの反り補正マークを備え、前記反り測定手段は、前記補正マークにレーザを照射することによってプリント基板の反り量を測定するレーザ測定手段を備えることを特徴とする請求項7に記載のX線検査装置。
- 前記反り補正マークは、前記回路素子の近傍に設けることを特徴とする請求項8に記載のX線検査装置。
- 前記反り補正マークは、前記回路素子の実装面とは反対面に設けることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載のX線検査装置。
- 前記反り補正マークは、前記回路素子の実装面に設けることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載のX線検査装置。
- 回路素子とプリント基板との半田接続部の接続状態をX線検査装置にて検査するX線検査方法であって、前記回路素子は、前記プリント基板と対向する面に配置された複数の半田ボールを備え、前記プリント基板は、前記半田ボールに対応する位置にレジストと離間して設けられるランドを備え、前記回路素子を前記プリント基板に実装した状態において、前記X線検査装置にて前記半田接続部にX線を照射して、当該回路素子と当該プリント基板とを透過したX線にて前記ランドの側面に半田が存在するか否かを示す水平断層画像を作成して出力することを特徴とするX線検査方法。
- 前記ランドの厚さは、略40μmとすることを特徴とする請求項12に記載のX線検査方法。
- 前記ランドと前記レジストとの間隔は、略20μmとすることを特徴とする請求項12又は請求項13に記載のX線検査方法。
- 前記ランドと前記レジストとの間隔は、略30μmとすることを特徴とする請求項12又は請求項13に記載のX線検査方法。
- 前記ランドと前記レジストとの間隔は、略75μm±30μmとすることを特徴とする請求項12又は請求項13に記載のX線検査方法。
- 前記ランド毎に検査を行うことを特徴とする請求項12乃至請求項16のいずれかに記載のX線検査方法。
- 複数のランド単位で検査を行うことを特徴とする請求項12乃至請求項16のいずれかに記載のX線検査方法。
- 前記ランドと当該ランドの周囲を含む所定の範囲の前記水平断層画像における半田の占有率によって検査を行うことを特徴とする請求項12乃至請求項18のいずれかに記載のX線検査方法。
- 前記ランド上面を検出し、当該上面から前記回路素子とは反対方向における複数点の前記水平断層画像を作成し、当該複数点の水平断層画像によって検査を行うことを特徴とする請求項12乃至請求項19のいずれかに記載のX線検査方法。
- 前記X線検査装置は、透過型の3次元X線検査装置であり、当該透過型の3次元X線検査装置にて得られる前記半田接続部の3次元画像から前記水平断層画像を作成することを特徴とする請求項12乃至請求項20のいずれかに記載のX線検査方法。
- 前記プリント基板の反り量を測定して、当該反り量に応じて前記水平断層画像を補正することを特徴とする請求項12乃至請求項21のいずれかに記載のX線検査方法。
- 前記プリント基板は、表面に少なくとも3つの反り補正マークを備え、前記反り補正マークにレーザ光を照射することによって前記プリント基板の反り量を測定することを特徴とする請求項22に記載のX線検査装置。
- 前記反り補正マークは、前記回路素子の近傍に設けることを特徴とする請求項22に記載のX線検査装置。
- 前記反り補正マークは、前記回路素子の実装面とは反対面に設けることを特徴とする請求項22又は請求項23に記載のX線検査装置。
- 前記反り補正マークは、前記回路素子の実装面に設けることを特徴とする請求項22又は請求項23に記載のX線検査装置。
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