JP6164186B2 - 検査装置、検査プログラム、検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、検査装置、検査プログラム、および検査方法に関するものである。

従来、主軸を回転させてマイクロチップに遠心力を作用させる検査装置が特許文献１などにより知られている。この特許文献に開示された検査装置は、ＤＣモータとエンコーダとを備える回転駆動源、光源、検出器、および制御部を備える。マイクロチップに設けられた吸光光度測定部が、光源と検出器とに対応する停止位置に停止する前に、マイクロチップの内部において、血液から分離された血漿と試薬とが混合され、測定対象液が得られる。吸光光度測定部が、光源と検出器とに対応する停止位置に停止するよう制御部は、回転駆動源を制御する。停止位置に停止されたマイクロチップの吸光光度測定部に光源からの光が透過される。この透過光を検出器が検出して測定対象液の吸光光度が測定される。

特開２００８−８８７５号公報

吸光光度測定部を停止位置に正確に停止させるために、制御部は、停止位置に停止させる前に、任意の位置に一端停止させ、その位置でエンコーダから検出された位置情報に基づき、停止位置まで停止させる駆動信号をモータに出力することが考えられる。一方、停止位置に停止させる前に、マイクロチップの内部では、血液から分離された血漿と試薬とが混合される。よって、血漿と試薬とが混合された混合時点から、光源から発光された光による吸光光度測定の開始時点までの期間が測定毎にばらつくと、測定毎の測定精度が低下する可能性がある。すなわち、任意の位置から停止位置までの移動時間がばらつくと、混合時点から、吸光光度測定の開始までの期間がばらつくので、測定精度が低下する可能性がある。

本発明は、上述した問題を解決するためになされたものであり、測定開始までの期間のばらつきを抑え、測定精度の低下を抑えることが出来る検査装置、検査プログラム、および検査方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成する為に、請求項１記載の検査装置は、検査チップを保持するホルダと、前記ホルダを、主軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転機構により回転される前記ホルダの位置を検出する位置検出部と、測定光を発光する発光部と、前記発光部により発光された測定光が、前記ホルダに保持された検査チップを透過した透過光を受光する受光部と、前記回転機構による回転を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、予め定められた一定期間以内に、前記位置検出部により検出された位置から前記測定光が前記ホルダに保持された前記検査チップを透過可能な測定位置まで、任意の位置に停止したホルダを回転させ、前記一定期間後に前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始することを特徴とする。

請求項１記載の検査装置によれば、任意の位置に停止したホルダは、検出された位置から測定位置まで予め定められた一定期間以内に移動され、一定期間後に測定が開始される。従って、任意の位置にホルダがあっても、測定が開始されるまでの期間が一定となる。従って、測定毎の測定開始までの期間のばらつきを抑え、測定精度の低下を抑えることが出来る。

また、前記制御部は、予め定められた時計回り、または反時計回りのいずれか一方の第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させてもよい。
測定毎に、ホルダが、第１回転方向で回転されて測定位置に停止される、または第１回転方向と反対方向の第２回転方向で回転されて測定位置に停止されると、主軸を回転させるモータのコギングにより測定位置への停止精度が異なるので、測定毎の測定精度が低下する。本開示によれば、ホルダは、第１回転方向で回転されて測定位置に停止される。従って、測定毎の測定精度が低下する可能性を低減できる。

また、前記制御部は、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させてもよい。
本開示によれば、第２回転方向から第１回転方向へ途中で逆回転することなく、ホルダは回転される。従って、途中で逆回転することにより、慣性、もしくは、停止によりホルダにより保持される検査チップに注入された液体が飛び出すことを低減できる。従って測定精度の低下の可能性を低減できる。

また、前記制御部は、前記一定期間で、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる場合の回転速度を算出し、算出された回転速度で、前記検出された位置から前記第１回転方向に前記ホルダを回転させてもよい。
本開示によれば、算出された回転速度でホルダが回転されるので、検出された位置から測定位置まで予め定められた一定期間以内により確実に移動される。従って、任意の位置にホルダがあっても、測定が開始されるまでの期間がより確実に一定となる。従って、測定毎の測定開始までの期間のばらつきを抑え、測定精度の低下をより抑えることが出来る。

また、前記制御部は、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる第１ルートと、前記検出された位置から、前記第１回転方向と反対方向の第２回転方向に回転させて、前記測定位置を通過させ、所定の折返し位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる第２ルートと、のいずれかを前記位置検出部より検出された位置により決定し、決定されたルートで回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させてもよい。
本開示によれば、第１ルートと第２ルートとのいずれかで測定位置までホルダを移動させることが可能なので、回転速度を低速化することができ、消費電力の低下、および回転速度が高速化することによって検査チップに注入された液体が飛び出すことを低減できる。従って、測定精度の低下の可能性を低減できる。

また、前記制御部は、前記一定期間で、前記第１ルートで前記ホルダを回転させると決定した場合、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる場合の回転速度を算出し、算出された回転速度で、前記検出された位置から前記第１回転方向に前記ホルダを回転させ、前記第２ルートで前記ホルダを回転させると決定した場合、前記検出された位置から前記第２回転方向に回転させて、前記ホルダを前記折返し位置に停止させ、前記折返し位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる場合の回転速度を前記一定期間の残り時間に基づき算出し、算出された回転速度で、前記折返し位置から前記第１回転方向に前記ホルダを回転させてもよい。
本開示によれば、算出された回転速度でホルダが回転されるので、検出された位置から測定位置まで予め定められた一定期間以内により確実に移動される。従って、任意の位置にホルダがあっても、測定が開始されるまでの期間がより確実に一定となる。従って、測定毎の測定開始までの期間のばらつきを抑え、測定精度の低下をより抑えることが出来る。

また、前記制御部は、前記ホルダが前記測定位置に停止された状態において、前記一定期間が経過したか否かを判断し、前記一定期間が経過したと判断した場合に、前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始してもよい。
本開示によれば、一定期間が経過したと判断した場合に測定が開始されるので、測定が開始されるタイミングがより正確になる。従って、測定毎の測定開始までの期間のばらつきを抑え、測定精度の低下をより抑えることが出来る。

また、前記制御部は、前記測定位置とは異なる位置に前記ホルダを停止させる際は、前記検出された位置から前記指定位置まで、時計回り、または反時計回りのいずれか一方の第１回転方向と前記第１回転方向と反対方向の第２回転方向との近い方のルートで、ホルダを指定位置に回転させてもよい。
本開示によれば、指定位置に移動させる際は、近い方のルートでホルダが移動されるので、より早く、指定位置に移動させることが出来る。

上記目的を達成する為に、本開示の検査プログラムは、検査チップを保持するホルダと、前記ホルダを、主軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転機構により回転される前記ホルダの位置を検出する位置検出部と、測定光を発光する発光部と、前記発光部により発光された測定光が、前記ホルダに保持された検査チップを透過した透過光を受光する受光部と、前記回転機構による回転を制御する制御部と、を備える検査装置のコンピュータに、予め定められた一定期間以内に、前記位置検出部により検出された位置から前記測定光が前記ホルダに保持された前記検査チップを透過可能な測定位置まで、任意の位置に停止したホルダを回転させる回転ステップと、前記一定期間後に前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始させる測定ステップとを実行させることを特徴とする。
また、本開示の検査方法は、検査チップを保持するホルダと、前記ホルダを、主軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転機構により回転される前記ホルダの位置を検出する位置検出部と、測定光を発光する発光部と、前記発光部により発光された測定光が、前記ホルダに保持された検査チップを透過した透過光を受光する受光部と、前記回転機構による回転を制御する制御部と、を備える検査装置の検査方法であって、予め定められた一定期間以内に、前記位置検出部により検出された位置から前記測定光が前記ホルダに保持された前記検査チップを透過可能な測定位置まで、任意の位置に停止したホルダを回転させる回転ステップと、前記一定期間後に前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始させる測定ステップと、を備えることを特徴とする。
本開示の検査プログラム、および検査方法によれば、任意の位置に停止したホルダは、検出された位置から測定位置まで予め定められた一定期間以内に移動され、一定期間後に測定が開始される。従って、任意の位置にホルダがあっても、測定が開始されるまでの期間が一定となる。従って、測定毎の測定開始までの期間のばらつきを抑え、測定精度の低下を抑えることが出来る。

検査装置１の構成を示す斜視図である。 図１のII−II線矢視方向断面図、及び、検査チップ２の斜視図である。 上部筐体１１を外した状態の検査システム３の上部の拡大斜視図である。 検査装置１の電気的構成を示すブロック図である。 実施形態における検査処理の流れを示すフローチャートである。 平面視のホルダ６１の回転制御を説明する説明図である。 変形例における検査処理の流れを示すフローチャートである。

＜１．検査システム３の概略構造＞
本開示を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。図１〜図３を参照して、検査システム３の概略構造について説明する。本実施形態の検査システム３は、液体である検体及び試薬を収容可能な図２に示す検査チップ２と、検査チップ２を用いて検査を行う検査装置１とを含む。図２及び図３に示すように、検査チップ２は、検査装置１のホルダ６１に支持される。検査装置１がホルダ６１と検査チップ２とから離間した垂直軸線Ａ１を中心としてホルダ６１及び検査チップ２を回転させると、遠心力がホルダ６１及び検査チップ２に作用する。検査装置１が水平軸線Ａ２を中心にホルダ６１及び検査チップ２を回転させると、ホルダ６１及び検査チップ２に作用する遠心力の方向である遠心方向が検査チップ２に対して切り替えられる。

＜２．検査装置１の構造＞
図１〜図３を参照して、検査装置１の構造について説明する。以下の説明では、図２の上方、下方、右方、左方、紙面手前側、及び、紙面奥側を、夫々、検査装置１の上方、下方、前方、後方、左方、及び、右方とする。本実施形態では、垂直軸線Ａ１の方向は検査装置１の上下方向であり、水平軸線Ａ２の方向は、ホルダ６１及び検査チップ２が垂直軸線Ａ１を中心として回転される際の速度の方向である。なお、図３の斜視図は、検査装置１の図１に示す上部筐体１１及び一対の側部筐体１３が取り除かれた状態を示す。

図１に示すように、検査装置１は筐体１０を備える。筐体１０は箱状のフレーム構造を有する。筐体１０は、上部筐体１１、下部筐体１２、及び、一対の側部筐体１３を備える。一対の側部筐体１３は、上下方向に長い長方形の板材である。一対の側部筐体１３の夫々の面は左右方向を向く。一対の側部筐体１３は左右方向に離隔する。下部筐体１２は、一対の側部筐体１３の夫々の下端、前端の下側、及び、後端の下側の間に架け渡された板材である。上部筐体１１は、一対の側部筐体１３の夫々の上端、前端の上側、及び、後端の上側の間に架け渡された板材である。上部筐体１１には、前側部分と上側部分との間に亘って穴部１１Ａが形成されている。上部筐体１１は、長方形の板材である蓋部材１１Ｂの一端部を、回転可能に支持する。蓋部材１１Ｂの一端部と対向する他端部が、回転によって上部筐体１１に近接した場合、蓋部材１１Ｂは穴部１１Ａを覆う。又、上部筐体１１の上側部分の右側に、電源スイッチ及び複数の操作スイッチを含む操作部９４が設けられる。

図２及び図３に示すように、検査装置１は、ケース８０、上板３２、ターンテーブル３３、角度変更機構３４、ホルダ６１、及び、図３に示す制御装置９０を、図１に示す筐体１０の内部に備える。上板３２は、下部筐体１２の前側の上端と後側の上端との間に架け渡された、長方形の板材である。ターンテーブル３３は、上板３２の上側に回転可能に設けられた円盤である。後述する検査チップ２は、ターンテーブル３３の上方に配置されたホルダ６１に支持される。

図２に示すように、検査チップ２は、透明な合成樹脂の板材２０を主体とする。板材２０の一方側の面は、シート２９１により封止され、板材２０の他方側の面は、シート２９２により封止されている。シート２９１、２９２は透明の合成樹脂の薄板である。板材２０とシート２９１との間、及び、板材２０とシート２９２との間には、検査チップ２に封入された液体が流動可能な図示外の液体流路が形成されている。シート２９１，２９２は、板材２０の流路形成面を封止する。検査チップ２に注入された試薬及び検体は、液体流路を流動する過程で定量又は混合され、混合液が生成される。混合液は、液体流路のうち一部分に形成された測定部２９３に貯留される。検査チップ２は、厚み方向が前後方向、及び左右方向に延びる向きで、ホルダ６１に保持される。

角度変更機構３４は、ターンテーブル３３に設けられた駆動機構である。この角度変更機構３４は、水平軸線Ａ２を中心にホルダ６１を回転させることで検査チップ２を回転させる。ケース８０は、上板３２の上側に設けられ、ターンテーブル３３、角度変更機構３４、及び、ホルダ６１を覆う。検査チップ２に対して光学測定を行う図３に示す測定部７の光源７１、および光センサ７２は、上板３２の上側、且つ、ケース８０の外部に設けられている。制御装置９０は、検査装置１の各種処理を制御するコントローラである。図３に示すように、制御装置９０は、上板３２の下側に配置される。上板３２の下部には、垂直軸線Ａ１を中心にターンテーブル３３を回転させる回転機構が、次のように設けられている。

図２に示すように、筐体１０内の中央部の下方寄りに、ターンテーブル３３を回転させるための駆動力を供給する主軸モータ３５、及び、下部筐体１２の内部から上方に延びる主軸５７が設置されている。主軸モータ３５はＤＣモータである。主軸モータ３５の軸３６は、上方に突出し、主軸５７に連結している。主軸５７は、上板３２を貫通して、上板３２の上側に突出している。主軸５７の上端部は、ターンテーブル３３の中央部に接続されている。主軸モータ３５が軸３６を回転させると、駆動力が主軸５７に伝達される。このとき、主軸５７の回転に連動して、ターンテーブル３３が主軸５７を中心に回転する。また、主軸モータ３５の下側にエンコーダ９６が配置され、主軸モータ３５の上側に原点センサ９７が配置される。図２において、エンコーダ９６、および原点センサ９７の回転円板は図示されているが、これらの発光部、および受光部は図示されていない。

主軸５７は、内部が中空の筒状体である。内軸４０は、主軸５７の内部において上下方向に移動可能な軸である。図３に示すように、内軸４０は、主軸５７内を貫通してターンテーブル３３の上方に延び、後述する一対のラックギア４３に接続されている。

図２に示すように、筐体１０の中央部の後方寄りには、内軸４０を上下動させるためのステッピングモータ５１が固定されている。ステッピングモータ５１の軸５８は右方に向けて突出している。軸５８の先端には、図示外のピニオンギアが固定されている。ピニオンギアは、図示外のラックギアに噛み合っている。主軸５７には、上下方向に延びるスリット５７Ａが設けられる。スリット５７Ａを介して主軸５７の外側から内側に延びる図示外の連結部が設けられる。連結部の内側の端部は、内軸４０に接続する。ステッピングモータ５１が軸５８を回転させると、軸５８の先端に固定されたピニオンギアの回転に連動して、連結部が、スリット５７Ａに沿って上下動する。内軸４０は、連結部に連動して上下動する。

角度変更機構３４の詳細構造を説明する。角度変更機構３４は、一対のラックギア４３を備えている。一対のラックギア４３は、金属製の板状部材である。図３に示すように、一対のラックギア４３は、夫々、角柱形状を有する内軸４０における互いに対向する面の上端に固定される。一方のラックギア４３は、上側から見て内軸４０から上下方向に垂直な一方向側に延び、他方のラックギア４３は、一方向側とは反対側に延びる。図２に示すように、一対のラックギア４３における内軸４０側とは反対側の端部には、ギア４３１が上下方向に形成されている。ラックギア４３は、内軸４０の上下動に伴って上下動する。

図３に示すように、上側から見て各ラックギア４３の反時計回り方向側には、夫々、支持部４７が設けられている。支持部４７は、ホルダ６１を回転可能に支持する。より詳細には、図２及び図３に示すように、支持部４７は、２つの円柱部４７１、延伸部４７２、及び支軸４７３を備えている。２つの円柱部４７１は、ラックギア４３に沿って並べて配置され、上下方向に延びる。延伸部４７２は、円柱部４７１の上端から、ラックギア４３に沿って内軸４０から離れる方向に延び、その先端が支軸４７３を固定する。支軸４７３は、延伸部４７２との固定位置から上側から見て時計回り方向側に延び、その先端が、ホルダ６１に形成されたギア部７６の内側に配置されている。ギア部７６は、ラックギア４３のギア４３１と噛み合っている。ラックギア４３の上下動に伴ってギア部７６が支軸４７３を中心に回転することで、ホルダ６１が回転する。故に、ホルダ６１に保持された検査チップ２が支軸４７３を中心に回転する。

本実施形態では、主軸モータ３５がターンテーブル３３を回転駆動するのに伴って、ホルダ６１及び検査チップ２が垂直軸である主軸５７を中心に回転して、ホルダ６１及び検査チップ２に遠心力が作用する。ホルダ６１及び検査チップ２の垂直軸線Ａ１を中心とした回転を、公転と呼ぶ。一方、ステッピングモータ５１が内軸４０を上下動させるのに伴って、ホルダ６１及び検査チップ２が水平軸である支軸４７３を中心に回転して、ホルダ６１及び検査チップ２に作用する遠心力の遠心方向が相対変化する。ホルダ６１及び検査チップ２の水平軸線Ａ２を中心とした回転を、自転と呼ぶ。

ケース８０の詳細構造を説明する。図３に示すように、ケース８０は、上側が閉塞した円筒部材である。ケース８０は、側面部８０Ａ及び上面部８０Ｂを有する。側面部８０Ａの前方上側から上面部８０Ｂの前方に亘って穴部８０Ｃが形成されている。ケース８０は、上板３２の上側に設置されている。より詳細には、ケース８０は、ターンテーブル３３の回転中心にある主軸５７からみて、ホルダ６１及び検査チップ２が回転される回転範囲の外側に設けられている。ケース８０は、回転範囲を上側から覆う。以下、ケース８０内の領域を回転領域８１という。

ケース８０の側面部８０Ａの右斜め後側に、穴部８０Ｄが形成される。ケース８０の側面部８０Ａの左斜め後側に、穴部８０Ｅが形成される。検査チップ２に対して光学測定を行う測定部７は、測定光を発光する発光部としての光源７１と、光源７１から発せられた測定光を検出する受光部としての光センサ７２とを有する。光源７１は、図示しない固定部材により、光源７１からの測定光が穴部８０Ｄ、および穴部８０Ｅを通過する高さ、および穴部８０Ｄの右側に配置されている。光センサ７２は、図示しない固定部材により、穴部８０Ｄ、および穴部８０Ｅを通過した測定光を受光する高さ、および穴部８０Ｅの左側に配置されている。

本実施形態では、検査チップ２の公転可能範囲のうちで主軸５７の後側位置が、検査チップ２に測定光が照射される測定位置である。検査チップ２が測定位置にある場合、光源７１と光センサ７２とを結ぶ測定光７０が、検査チップ２の図２に示すシート２９１、２９２に対して略垂直に交差する。ホルダ６１には、図２に示す検査チップ２が装着された状態で測定部２９３に近接する位置に、穴部６１Ａが形成されている。光源７１からから射出した測定光７０は、測定位置にある検査チップ２の測定部２９３を通過し、更に、ホルダ６１の穴部６１Ａを通過して、光センサ７２によって検出される。以上のようにして、測定部７による光学測定が行われる。

本実施形態では、検査チップ２の公転可能範囲のうちで、主軸５７の前側位置が、検査チップ２が、上部筐体１１に形成された穴部１１Ａ、およびケース８０の穴部８０Ｃを介してホルダ６１から取り出される取出位置である。この取出位置は、穴部１１Ａ、および穴部８０Ｃを介してホルダ６１に検査チップ２が挿入される位置でもある。測定位置と取出位置とは主軸５７に対して反転した位置関係を有する。

＜３．制御装置９０の電気的構成＞
図４を参照して、制御部としての制御装置９０の電気的構成について説明する。制御装置９０は、検査装置１の主制御を司るＣＰＵ９１と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ９２と、パラメータを記憶したフラッシュメモリ９３と、制御プログラムを記憶したＲＯＭ９５とを有する。ＣＰＵ９１には、操作部９４が接続されている。制御装置９０としては、検査装置１に外部から接続されるパーソナルコンピュータを用いてもよいし、検査装置１に外部から接続される専用の制御装置を用いてもよい。ＣＰＵ９１はタイマー機能を有する。以降の記載において、タイマー機能をタイマーと記載する。

更に、ＣＰＵ９１には、主軸モータ３５であるＤＣモータ、位置検出部としてのエンコーダ９６、光源７１としてのＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）、および光センサ７２としてのＰＤ（Ｐｈｏｔｏ Ｄｉｔｅｃｔｅｒ）が接続されている。ＣＰＵ９１は、主軸モータ３５を回転駆動させる制御信号を図示しないモータドライバを介して主軸モータ３５に送信することによって、ホルダ６１及び検査チップ２の公転を制御する。エンコーダ９６が、円周上に複数の光学的スリットを並列して設けられた回転円板に、光をスリットを通して当て、その光を検出することによって、ＣＰＵ９１は回転角度、および回転速度を測定する。この測定値に基づいて、ＣＰＵ９１から主軸モータ３５に制御信号を送ることによって、ターンテーブル３３を所望の速度で回転させ、所望の角度に停止させる。尚、ＣＰＵ９１は、原点センサ９７からの信号を検出し、エンコーダ９６の各光学的スリットと回転領域８１におけるホルダ６１の位置とを関連付けて、ホルダ６１の公転を制御する。原点センサ９７は、一例として、径が異なる領域を有する回転円板を有する。この回転円板が回転されると、受光部において、発光部からの光が遮光される期間と発光部からの光が受光される期間とが生じる。この遮光期間と受光期間との境界において、エンコーダ９６の発光部からの光が通過する光学的スリットの位置が原点とされる。この原点を基準に、ホルダ６１の回転領域８１における公転制御が実行される。また、以降の説明において、エンコーダ９６の光学的スリットの数、すなわち総パルス数は２８１２パルスとして説明する。ＣＰＵ９１は、ステッピングモータ５１を回転駆動させる制御信号を図示しないモータドライバを介してステッピングモータ５１に送信することによって、ホルダ６１及び検査チップ２の自転を制御する。

ＣＰＵ９１は、制御信号を送信することによって、光源７１の発光タイミング、および発光強度を制御する。また、ＣＰＵ９１は、光センサ７２からの信号強度を受信する。

＜４．検査処理の流れ＞

図５に示すフローチャートを参照して、本実施形態の検査処理の流れを説明する。図５に示すフローチャートは、ユーザーが操作部９４の電源スイッチを操作し、電力が検査装置１に供給された場合にＣＰＵ９１が実行する処理を示す。本実施形態では、検査装置２は、２つのホルダ６１を備える。この２つのホルダ６１は、主軸に対して反転した位置に設けられる。以下の記載において、一方のホルダ６１に保持される検査チップ２について説明する。また図５に示すフローチャートを実行させる検査プログラムは、ＲＯＭ９５に記憶される。この検査プログラムは、検査装置１の出荷時にＲＯＭ９５に記憶されてもよいし、出荷後に、検査装置１がインターネットに接続され、図示しないサーバからダウンロードされて、ＲＯＭ９５に記憶されてもよい。

Ｓ１において、指定位置への移動指示があるか否かを判断する。指定位置への移動指示は、以下の３つの場合において、ＣＰＵ９１から主軸モータ３５に送られる制御信号である。１つ目は、検査チップ２Ａをホルダ６１に挿入させる場合である。この場合、ホルダ６１を、後述する取出し位置に位置させるように主軸モータ３５に制御信号を送信する。２つ目は、検査チップ２に対して、主軸モータ３５、およびステッピングモータ５１に制御信号を送信する所定の遠心処理を実行した後に、ホルダ６１を後述する測定位置に位置させる場合である。所定の遠心処理とは、検査チップ２に注入された試薬及び検体を混合させ、生成された混合液を測定部２９３に貯留させる処理である。３つ目は、検査チップ２Ａをホルダ６１から取り出させる場合である。この場合、ホルダ６１を、後述する取出し位置に位置させるように主軸モータ３５に制御信号を送信する。指定位置への移動指示があると、Ｓ２へ処理を移行する。指定位置への移動指示が無いと判断すると、再び、Ｓ１の処理を実行する。

Ｓ２において、主軸モータ３５が停止しているか否かを判断する。この判断は、エンコーダ９６からの信号に基づき実行される。主軸モータ３５が停止していると判断すると、Ｓ４へ処理を移行する。主軸モータ３５が停止していないと判断すると、Ｓ３に処理を移行する。

Ｓ３において、主軸モータ３５の停止制御を実行する。この停止制御は、主軸モータ３５にホルダ６１の公転を停止させる制御信号を送信することである。例えば、主軸モータ３５に逆パルスを送信することで、ホルダ６１の公転を減速する。検査チップ２に注入された試薬及び検体を混合させる際のホルダ６１の回転速度は、おおよそ４０００ｒｐｍであるが、この回転速度から１秒間に１０００ｒｐｍ減速させて、公転を停止させる。主軸モータ３５の両端子を、モータドライバ、またはリレー等でショートさせる事により急ブレーキをかける制御を実行し、ホルダ６１を急停止させてもよい。また、図示しないストッパを主軸５７に連結させて、ホルダ６１を急停止させてもよい。停止制御の実行を終了すると、Ｓ４へ処理を移行する。

Ｓ４において、停止位置を取得する。この停止位置について、図６に示す模式図を参照して説明する。図６に示すように、ホルダ６１は、回転領域８１のうちの任意の位置に停止している。一般に、回転しているホルダ６１をある特定の位置に停止させるためには、徐々に回転速度を落とし、エンコーダ９６からの信号に基づき、回転速度、回転時間などを制御する必要がある。しかし、徐々に回転速度を落とし、例えば、主軸モータ３５の回転速度が２０ｒｐｍなどの低速回転である状況では、主軸モータ３５がスムーズに回転せず、エンコーダ９６からの信号に基づいて、回転中のホルダ６１の位置、および回転速度が正確に検出できない可能性がある。この結果、回転しているホルダ６１を、回転を止めずにある特定の位置に精度よく停止させるのが困難になる可能性がある。また、ある特定の位置に精度よく停止させるのに時間がかかる可能性がある。特に、鉛直方向に延びる主軸５７の主軸モータ３５の制御においては、ホルダ６１に保持された検査チップ２のシート２９１、２９２に対して略垂直に測定光７０が交差する位置に停止させるのは、困難である。更に、ホルダ６１の回転速度を４０００ｒｐｍといった高速に回転させる主軸モータ３５において、回転を停止させずに、精度よくホルダ６１を停止させるのは、困難である。本実施形態では、回転しているホルダ６１を任意の位置にいったん停止させ、その任意の位置に停止したホルダ６１の位置の位置情報をエンコーダ９６から受信する。そして、任意の位置に停止したホルダ６１の位置の位置情報に基づき、測定位置Ｐｍ、または取出位置Ｐ１へ移動させる回転制御を実行することにより、より正確に、またより早く所望の位置にホルダ６１を移動させることが出来る。本実施形態では、回転領域８１をエリア１、エリア２、エリア３に分割して処理を実行する。尚、測定位置Ｐｍは、図３に示すようにホルダ６１に保持された検査チップ２に測定光が照射される測定位置である。この測定位置Ｐｍにおいて光源７１からの測定光７０が、検査チップ２の図２に示すシート２９１、２９２に対して略垂直に交差する。また取出位置Ｐ１は、カバー８０の穴部８０Ｃからホルダ６１に保持された検査チップ２を取り出し、および挿入可能な位置であり、主軸５７に対して測定位置Ｐｍと反転した位置である。エリア１は、測定位置Ｐｍから反時計回りに取出位置Ｐ１までの領域である。エリア２は、取出位置Ｐ１から反時計回りに後述する分岐位置Ｐ２までの領域である。エリア３は分岐位置Ｐ２から反時計回りに測定位置Ｐｍまでの領域である。エンコーダ９６からの信号に基づき、任意の位置に停止したホルダ６１の停止位置を示すデータをＲＡＭ９２に記憶する。この際、停止位置がエリア１に含まれる場合は、停止位置を示すデータを、エリア１を示すデータと関連付けて記憶する。同様に、停止位置がエリア２に含まれる場合は、停止位置を示すデータを、エリア２を示すデータと関連付けて記憶する。停止位置がエリア３に含まれる場合は、停止位置を示すデータを、エリア３を示すデータと関連付けて記憶する。停止位置の取得が終了すると、Ｓ５に処理を移行する。

図５に示すように、Ｓ５において、測定位置へ移動するか否かを判断する。この判断は、Ｓ１において判断した指定位置への移動指示が、測定位置への移動指示であるか否かによって実行される。測定位置への移動指示であると判断すると、Ｓ６へ処理を移行する。測定位置への移動指示でない、すなわち取出位置への移動指示と判断すると、Ｓ２１へ処理を移行する。

Ｓ６において、タイマーをリセットする。すなわち、タイマーが示す時間ｔはゼロである。タイマーのリセットが終了すると、Ｓ７へ処理を移行する。

Ｓ７において、タイマーをスタートする。タイマーのスタートを終了すると、Ｓ８へ処理を移行する。

Ｓ８において、Ｓ４において、取得された停止位置が、エリア３であるか否かを判断する。停止位置がエリア３であると判断すると、Ｓ９へ処理を移行する。停止位置がエリア３でない、すなわち、停止位置がエリア１、またはエリア２であると判断すると、Ｓ１１へ処理を移行する。

ここで、任意の位置に停止したホルダ６１の測定位置Ｐｍまでの移動制御について説明する。Ｓ４において取得された停止位置がエリア１である場合、図６に示すように、測定位置Ｐｍまで時計回り（Ｃｌｏｃｋｗｉｓｅ）で移動したほうが、移動距離が短い。一方、Ｓ４において取得された停止位置がエリア２、またはエリア３である場合、図６に示すように、測定位置Ｐｍまで反時計回り（ＣｏｕｎｔｅｒＣｌｏｃｋｗｉｓｅ）で移動したほうが、移動距離が短い。一般に、時計回りでホルダ６１が回転されて測定位置Ｐｍに停止する場合と、反時計まわりでホルダ６１が回転されて測定位置Ｐｍに停止する場合とでは、主時モータ３５の一例であるＤＣモータのコギングにより停止精度が異なる。よって、任意の停止位置から測定位置Ｐｍまでの移動を、停止位置に応じて時計回りと反時計回りとで制御すると、測定毎の測定位置Ｐｍに対する停止位置の位置ずれの分布が大きくなる。この結果、測定毎の測定精度のばらつきが生じる。本実施形態において、任意の停止位置から測定位置Ｐｍまでの移動を、停止位置によらず時計回りの一通りで制御する。よって、本実施形態において、停止位置がエリア３である場合、反時計回りでホルダ６１を移動させた後、時計回りでホルダ６１を移動させて測定位置Ｐｍに停止させる。すなわち、図６に示すように、エリア３に含まれる停止位置から折返し位置Ｐｒまで反時計回りで移動させ、折返し位置Ｐｒから時計回りで移動させて、測定位置Ｐｍに停止させる。この移動方法が、本発明の第２ルートの一例である。停止位置がエリア２である場合、反時計回りで測定位置Ｐｍまで移動させた方が、移動距離は短くなるが、エリア２に含まれる停止位置から時計回りでホルダ６１を移動させ、測定位置Ｐｍに停止させる。停止位置がエリア１である場合、エリア１に含まれる停止位置から時計回りでホルダ６１を移動させ、測定位置Ｐｍに停止させる。停止位置がエリア１、またはエリア２である場合に、停止位置から、測定位置まで時計回りで移動させる移動方法が本発明の第１ルートの一例である。

折返し位置Ｐｒについて説明する。図４に示す主軸モータ３５であるＤＣモータの回転制御は、パルス制御によって制御される。一般に、ＤＣモータの微少な回転動作は時間を要するため、大きく位置変更させるよりも小さく位置変更させる方が時間を要する。例えば、エンコーダ９６により検出される１パルス分の距離だけ移動させる様にＤＣモータにＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）信号を送信して、位置変更させると、長時間要することになる。本実施形態では、測定位置Ｐｍから±２パルス分の位置ずれが生じても、測定位置Ｐｍに停止しているとして処理を進める。この結果、測定位置Ｐｍから３パルス分だけ位置ずれが生じた場合に、測定位置Ｐｍに移動させる制御を再度実行する。これにより、位置変更させる際に最も少ないパルス数は、３パルスとなり、位置変更に要する時間を短縮させる。従って、折返し位置Ｐｒは、測定位置Ｐｍから反時計回りに３パルス分だけずれた位置に設定される。例えば、ホルダ６１を、回転領域８１を一周させるのに要するパルス数が２８１２パルスである場合、
（３パルス／２８１２パルス）＊３６０°＝０．３８４°・・・（１）
式（１）から、主軸５７を中心として測定位置Ｐｍから０．３８４°分、反時計回りに角度変更された位置が折返し位置Ｐｒである。尚、エンコーダ９６により検出される３パルス分の距離だけ移動させる様に主軸モータ３５にＰＷＭ信号を送信してホルダ６１を移動させた場合、１００ｍｓ程度時間を要する。

分岐位置Ｐ２について説明する。本実施形態において、分岐位置Ｐ２を境に、任意の停止位置から反時計回りでホルダ６１が移動されるか、時計回りでホルダ６１を移動されるかが制御される。折返し位置Ｐｒが測定位置Ｐｍから３パルス分だけ反時計回りにずれた位置であるので、分岐位置Ｐ２は、取出し位置Ｐ１から３パルス分だけ、反時計回りにずれた位置であってもよいが、折返し位置Ｐｒにおいて反時計回りから時計回りに回転方向を変更するのに要する時間が必要なので、以下のように分岐位置Ｐ２を設定する。分岐位置Ｐ２は、分岐位置Ｐ２から時計回りで移動させて、測定位置Ｐｍに停止させるのに要する時間が、分岐位置Ｐ２から反時計回りで折返し位置Ｐｒまで移動させるのに要する時間と、反時計回りから時計回りに回転方向を変更するのに要する時間と、折返し位置Ｐｒから時計回りで測定位置Ｐｍまで移動させるのに要する時間との和と等しくなる位置である。例えば、分岐位置Ｐ２は、最大回転数Ｘｒｐｍ、折返し位置Ｐｒにおける停止時間、および折返し位置Ｐｒから時計回りで測定位置Ｐｍまで移動するのに要する時間により、予め定められる。最大回転数Ｘｒｐｍは、停止精度良く、停止させられる主軸モータ３５の最大回転数であり、例えば２０ｒｐｍ程度である。折返し位置Ｐｒにおける停止時間は、予め、反時計回りから時計回りに回転方向を変更するのに要する時間が測定され、ＦＬＡＳＨ９３に記憶されている。この停止期間は、例えば０．２秒である。折返し位置Ｐｒから時計回りで測定位置Ｐｍまで移動するのに要する時間は、予め測定され、ＦＬＡＳＨ９３に記憶されている。この移動に要する時間は、例えば０．１秒である。エンコーダ９６の総パルス数が２８１２パルスであり、、測定位置Ｐｍに対応するエンコーダ９６のパルス位置が０パルス、そこから時計回りにパルス数が増加し、分岐位置Ｐ２に対応するパルス位置がαとした場合、分岐位置Ｐ２から反時計回りで折返し位置Ｐｒまで移動させるのに要する時間は、式（２）で表され、分岐位置Ｐ２から反時計回りで折返し位置Ｐｒまで移動させるのに要する時間が式（３）で表される。
（１／Ｘ）×（（２８１２−α）／２８１２）・・・（２）
（１／Ｘ）（α／２８１２）・・・（３）
最大回転数、式（２）、式（３）、折返し位置Ｐｒにおける停止時間である０．２秒、および折返し位置Ｐｒから時計回りで測定位置Ｐｍまで移動するのに要する時間である０．１から式（４）が導出される。
（１／Ｘ）×（（２８１２−α）／２８１２）＝（１／Ｘ）（α／２８１２）＋０．２＋０．１・・・（４）
この式（４）を満たすαが、分岐位置Ｐ２を示す。

すなわち、Ｓ８において、以降の処理において、反時計回りで回転させるか、時計回りで回転させるかを判断するため、Ｓ４において取得された停止位置が、エリア３であるか否かを判断する。以下、任意の停止位置から測定位置Ｐｍまでの移動時間を短縮化しつつ、測定毎の測定精度のばらつきを抑える検査処理の流れを説明する。

Ｓ９において、目標位置を折返し位置Ｐｒに設定する。設定が終了すると、Ｓ１０へ処理を移行する。

Ｓ１０において、回転方向を反時計回りに設定する。設定が終了すると、Ｓ１１へ処理を移行する。反時計回りが本発明の第２回転方向の一例である。

Ｓ１１において、到達時間を測定モードに設定する。本実施形態において、測定モードとは、
予め設定された、任意の停止位置から折返し位置Ｐｒまでの移動時間である。この移動時間は、例えば、主軸モータの回転速度を、予め設定された速度に設定し、この回転速度でホルダ６１を回転させた際に、検査チップ２の測定部２９３に貯留された混合液が、遠心力により測定部２９３から流出しない程度の速度のうちの最高速度に基づく。到達時間を測定モードに設定すると、Ｓ１２に処理を移行する。

Ｓ１２において、目標位置への移動を開始させる。すなわち、Ｓ９において折返し位置Ｐｒが目標位置に設定されているので、折返し点への移動を開始させる。折返し位置Ｐｒへの移動は、Ｓ１０において設定された反時計回りの回転方向、およびＳ１１において設定された到達時間で主軸を回転させる。折返し位置Ｐｒへの移動を開始させると、Ｓ１３へ処理を移行する。

Ｓ１３において、目標位置に到達したか否かを判断する。すなわち、Ｓ９において、折返し位置Ｐｒが目標位置に設定されているので、折返し位置Ｐｒに到達したか否かを判断する。この判断は、エンコーダ９６からの信号に基づき実行される。折返し位置Ｐｒに到達したと判断すると、Ｓ１４に処理を移行する。到達していないと判断すると、Ｓ１３に処理を移行する。

Ｓ１４において、目標位置を測定位置Ｐｍに設定する。設定が終了すると、Ｓ１５へ処理を移行する。

Ｓ１５において、回転方向を時計回りに設定する。設定が終了すると、Ｓ１６へ処理を移行する。時計回りが本発明の第１回転方向の一例である。

Ｓ１６において、到達時間を（３−ｔ）秒に設定する。時間ｔは、Ｓ１６においてタイマーが示す時間である。Ｓ１６においてタイマーが示す時間は、Ｓ７においてタイマーをスタートした時点からの経過時間である。すなわち、以降の測定位置Ｐｍへの移動時間は、（３−ｔ）秒で実施される。すなわち、任意の停止位置から測定位置Ｐｍへ移動し、測定を開始するまでの時間は３秒である。Ｓ１６において、エンコーダ９６により検出された位置、すなわちＳ４において検出された位置、または折返し位置Ｐｒから測定位置Ｐｍまで（３−ｔ）秒でホルダ６１を移動させる回転速度を算出する。従って、本実施形態において、任意の位置に停止したホルダ６１を測定位置Ｐｍまで予め定められた一定期間で移動させる。本実施形態では、この測定開始までの時間を予め３秒と設定されているが、５秒、１０秒、１秒など任意の時間が予め設定されればよい。

Ｓ１７において、タイマーを停止する。タイマーを停止すると、Ｓ１８に処理を移行する。

Ｓ１８において、目標位置への移動を開始させる。すなわち、Ｓ１４において測定位置Ｐｍが目標位置に設定されているので、測定位置Ｐｍへの移動を開始させる。測定位置Ｐｍへの移動は、Ｓ１５において設定された時計回りの回転方向、およびＳ１６において設定された到達時間（３−ｔ）、すなわち算出された回転速度で主軸５７を回転させることによって実行される。測定位置Ｐｍへの移動を開始させると、Ｓ１９へ処理を移行する。

Ｓ１９において、目標位置に到達したか否かを判断する。すなわち、Ｓ１４において、測定位置Ｐｍが目標位置に設定されているので、測定位置Ｐｍに到達したか否かを判断する。この判断は、エンコーダ９６からの信号に基づき実行される。測定位置Ｐｍに到達したと判断すると、Ｓ２０に処理を移行する。到達していないと判断すると、Ｓ１９に処理を再度実行する。

Ｓ２０において、測定を開始する。すなわち、光センサ７２において得られた受光強度が、測定データとして採用される。よって、Ｓ１６において、任意の位置に停止したホルダ６１を測定位置Ｐｍまで予め定められた一定期間で移動させるので、測定の開始は、予め定められた一定期間後である。測定データを取り終えると、Ｓ１に処理を移行させる。

一方、Ｓ５において、取出位置Ｐ１への移動指示と判断すると、Ｓ２１において、取出位置Ｐ１が目標位置に設定される。設定が終了すると、Ｓ２２に処理を移行する。

Ｓ２２において、Ｓ４において取得された停止位置が、エリア１であるか否かを判断する。測定位置Ｐｍに対して停止位置が位置ずれする場合に比べて、取出位置Ｐ１に対して停止位置が位置ずれしてもよいので、以降の処理においては、Ｓ４において取得された停止位置から、取出位置Ｐ１まで、移動距離が短くなるように制御が実行される。よって、Ｓ４において取得された停止位置が、エリア１であるか、エリア２、またはエリア３であるかを判断する。エリア１であると判断すると、Ｓ２２に処理を移行する。エリア１でない、すなわち停止位置が、エリア２、またはエリア３であると判断すると、Ｓ２４に処理を移行する。

Ｓ２３において、回転方向を反時計回りに設定する。すなわち、停止位置がエリア１であるので、反時計回りで回転したほうが時計回りで回転するよりも、取出位置Ｐ１に早く到達できる。設定が終了すると、Ｓ２５に処理を移行する。

一方、Ｓ２４において、回転方向を時計回りに設定する。すなわち、停止位置がエリア２、またはエリア３であるので、時計回りで回転したほうが反時計回りで回転するよりも、取出位置Ｐ１に早く到達できる。設定が終了すると、Ｓ２５に処理を移行する。

Ｓ２５において、到達時間を取出モードに設定する。本実施形態において、取出モードとは、予め設定された、任意の停止位置から測定位置Ｐ１までの移動時間である。この移動時間は、例えば、設定可能な主軸モータ３５の回転速度の最高速度に基づく。到達時間を測定モードに設定すると、Ｓ２６に処理を移行する。

Ｓ２６において、目標位置への移動を開始させる。すなわち、Ｓ２１において取出位置Ｐ１が目標位置に設定されているので、取出位置Ｐ１への移動を開始させる。取出位置Ｐ１への移動は、Ｓ２３において設定された反時計回り、またはＳ２４において設定された時計回りの回転方向で主軸５７を回転させる。また、Ｓ２５において設定された到達時間で主軸５７を回転させる。取出位置Ｐ１への移動を開始させると、Ｓ２７へ処理を移行する。

Ｓ２７において、目標位置に到達したか否かを判断する。すなわち、Ｓ２１において、取出位置Ｐ１が目標位置に設定されているので、取出位置Ｐ１に到達したか否かを判断する。この判断は、エンコーダ９６からの信号に基づき実行される。取出位置Ｐ１に到達したと判断すると、Ｓ２８に処理を移行する。到達していないと判断すると、Ｓ２７の処理を再実行する。

Ｓ２８において、取出し可能通知を通知する。この取出し可能通知は、図示しない表示部が検査装置１に設けられた場合は、この表示部に表示させる、蓋部材１１Ｂを開いて取出し可能である旨のメッセージが一例である。このほかにも、検査装置１に外部から接続されるパーソナルコンピュータの表示部に表示させる同様のメッセージでもよい。取出し可能通知を通知すると、Ｓ１に処理を移行する。

上記実施形態では、Ｓ８において、任意の位置に停止したホルダ６１がエリア３に位置する場合、折返し位置Ｐ１まで移動させ、折返し位置Ｐｒから測定位置Ｐｍまで移動させたが、これに限られない。Ｓ７においてタイマーをスタートさせると、Ｓ１４に移行してもよい。すなわち、任意の位置から測定位置Ｐｍまで予め定められた一定期間でホルダ６１を時計回りで移動させてもよい。

上記実施形態では、時計回りを第１回転方向、反時計回りを第２回転方向として説明したが、
時計回りが第２回転方向、反時計回りが第１回転方向であってもよい。また、折返し位置Ｐｒは、測定位置Ｐｍから反時計回りに３パルス分だけずれた位置として説明したが、折返し位置Ｐｒは、測定位置Ｐｍから時計回りに数パルス分だけずれた位置であってもよい。

＜変形例＞
上記実施形態では、Ｓ４において、取得された任意の停止位置から測定位置Ｐｍまでの移動時間が予め所定の時間に設定され、エリア１に含まれる任意の停止位置、または折返し位置Ｐｒから測定位置まで、（３−ｔ）秒で移動するように、主軸５７の回転速度が決定されたが、これに限られない。例えば、任意の停止位置から測定を開始するまでの時間を一定とし、測定位置Ｐｍに到達してから、予め定められた測定開始時間まで待機してもよい。以下、図７に示すフローチャートを参照して変形例の検査処理の流れを説明する。

図７に示すフローチャートにおいて、Ｓ１〜Ｓ１５、およびＳ２１〜Ｓ２８は図５に示すフォローチャートと同一なので、説明を省略する。図７に示すＳ１５において、回転方向を時計回りに設定すると、Ｓ１６Ａへ処理を移行する。

Ｓ１６Ａにおいて、到達時間を測定モードに設定する。変形例における、測定モードとは、予め設定された、任意の停止位置から測定位置Ｐｍまでの移動時間である。この移動時間は、例えば、主軸モータの回転速度を、予め設定された速度に設定し、この回転速度でホルダ６１を回転させた際に、検査チップ２の測定部２９３に貯留された混合液が、遠心力により測定部２９３から流出しない程度の速度のうちの最高速度に基づく。また、移動時間が予め定められた一定期間以内になるように回転速度が算出される。到達時間を測定モードに設定すると、Ｓ１７Ａに処理を移行する。

Ｓ１７Ａにおいて、目標位置への移動を開始させる。すなわち、Ｓ１４において測定位置Ｐｍが目標位置に設定されているので、測定位置Ｐｍへの移動を開始させる。測定位置Ｐｍへの移動は、Ｓ１５において設定された時計回りの回転方向、およびＳ１６Ａにおいて設定された予め設定された回転速度で主軸５７を回転させることによって実行される。測定位置Ｐｍへの移動を開始させると、Ｓ１８Ａへ処理を移行する。

Ｓ１８Ａにおいて、目標位置に到達したか否かを判断する。すなわち、Ｓ１４において、測定位置Ｐｍが目標位置に設定されているので、測定位置Ｐｍに到達したか否かを判断する。この判断は、エンコーダ９６からの信号に基づき実行される。測定位置Ｐｍに到達したと判断すると、Ｓ１９Ａに処理を移行する。到達していないと判断すると、Ｓ１９に処理を再度実行する。

Ｓ１９Ａにおいて、タイマーが示す時間が３秒より長いか否かを判断する。長いと判断する、すなわち３秒であると判断すると、Ｓ２０Ａに処理を移行する。短いと判断すると、Ｓ１９Ａの処理を再実行する。

Ｓ２０Ａにおいて、タイマーを停止する。タイマーを停止すると、Ｓ２１Ａに処理を移行する。

Ｓ２１Ａにおいて、測定を開始する。すなわち、光センサ７２において得られた受光強度が、測定データとして採用される。よって、Ｓ１６Ａにおいて、移動時間が予め定められた一定期間以内になるように回転速度が算出され、Ｓ１９Ａにおいて、タイマーが示す時間が３秒であると判断されると、Ｓ２０Ａにおいて、測定が開始される。従って、一定期間が経過したと判断した場合に測定が開始されるので、測定が開始されるタイミングがより正確になる。従って、測定毎の測定開始までの期間のばらつきを抑え、測定精度の低下をより抑えることが出来る。測定データを取り終えると、Ｓ１に処理を移行させる。

１ 検査装置
２ 検査チップ
３ 検査システム
７ 測定部
２０ 板材
２９３ 測定部
３３ ターンテーブル
３４ 角度変更機構
３５ 主軸モータ
４０ 内軸
５７ 主軸
６１ ホルダ
７０ 測定光
７１ 光源
７２ 光センサ
８１ 回転領域
９０ 制御部
９１ ＣＰＵ
９６ エンコーダ
Ａ１ 垂直軸線
Ａ２ 水平軸線

Claims (10)

1. 検査チップを保持するホルダと、
   前記ホルダを、主軸を中心に回転させる回転機構と、
   前記回転機構により回転される前記ホルダの位置を検出する位置検出部と、
   測定光を発光する発光部と、
   前記発光部により発光された測定光が、前記ホルダに保持された検査チップを透過した透過光を受光する受光部と、
   前記回転機構による回転を制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、
   予め定められた一定期間以内に、前記位置検出部により検出された位置から前記測定光が前記ホルダに保持された前記検査チップを透過可能な測定位置まで、任意の位置に停止したホルダを回転させ、
   前記一定期間後に前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始すること
   を特徴とする検査装置。
2. 前記制御部は、予め定められた時計回り、または反時計回りのいずれか一方の第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させること
   を特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 前記制御部は、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させること
   を特徴とする請求項２記載の検査装置。
4. 前記制御部は、前記一定期間で、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる場合の回転速度を算出し、算出された回転速度で、前記検出された位置から前記第１回転方向に前記ホルダを回転させること
   を特徴とする請求項３記載の検査装置。
5. 前記制御部は、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる第１ルートと、前記検出された位置から、前記第１回転方向と反対方向の第２回転方向に回転させて、前記測定位置を通過させ、所定の折返し位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる第２ルートと、のいずれかを前記位置検出部より検出された位置により決定し、決定されたルートで回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させること
   を特徴とする請求項２記載の検査装置。
6. 前記制御部は、
   前記一定期間で、前記第１ルートで前記ホルダを回転させると決定した場合、前記検出された位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる場合の回転速度を算出し、算出された回転速度で、前記検出された位置から前記第１回転方向に前記ホルダを回転させ、
   前記第２ルートで前記ホルダを回転させると決定した場合、前記検出された位置から前記第２回転方向に回転させて、前記ホルダを前記折返し位置に停止させ、前記折返し位置から前記第１回転方向に回転させて、前記ホルダを前記測定位置に停止させる場合の回転速度を前記一定期間の残り時間に基づき算出し、算出された回転速度で、前記折返し位置から前記第１回転方向に前記ホルダを回転させること
   を特徴とする請求項５記載の検査装置。
7. 前記制御部は、前記ホルダが前記測定位置に停止された状態において、前記一定期間が経過したか否かを判断し、
   前記一定期間が経過したと判断した場合に、前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始すること
   を特徴とする請求項５記載の検査装置。
8. 前記制御部は、前記測定位置とは異なる位置に前記ホルダを停止させる際は、前記検出された位置から前記指定位置まで、時計回り、または反時計回りのいずれか一方の第１回転方向と前記第１回転方向と反対方向の第２回転方向との近い方のルートで、ホルダを指定位置に回転させること
   を特徴とする請求項１〜７のいずれか記載の検査装置。
9. 検査チップを保持するホルダと、前記ホルダを、主軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転機構により回転される前記ホルダの位置を検出する位置検出部と、測定光を発光する発光部と、前記発光部により発光された測定光が、前記ホルダに保持された検査チップを透過した透過光を受光する受光部と、前記回転機構による回転を制御する制御部と、を備える検査装置のコンピュータに、
   予め定められた一定期間以内に、前記位置検出部により検出された位置から前記測定光が前記ホルダに保持された前記検査チップを透過可能な測定位置まで、任意の位置に停止したホルダを回転させる回転ステップと、
   前記一定期間後に前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始させる測定ステップと
   を実行させることを特徴とする検査プログラム。
10. 検査チップを保持するホルダと、前記ホルダを、主軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転機構により回転される前記ホルダの位置を検出する位置検出部と、測定光を発光する発光部と、前記発光部により発光された測定光が、前記ホルダに保持された検査チップを透過した透過光を受光する受光部と、前記回転機構による回転を制御する制御部と、を備える検査装置の検査方法であって、
    予め定められた一定期間以内に、前記位置検出部により検出された位置から前記測定光が前記ホルダに保持された前記検査チップを透過可能な測定位置まで、任意の位置に停止したホルダを回転させる回転ステップと、
    前記一定期間後に前記受光部が受光した透過光に基づき、測定を開始させる測定ステップと、を備えることを特徴とする検査方法。

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