JP6112688B2 - ダイ供給装置調整システム及び調整用治具 - Google Patents

Description

本発明は、ダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体からダイを吸着ノズルで吸着して供給するダイ供給装置の調整に使用されるダイ供給装置調整システム及び調整用治具に関する発明である。

近年、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、ダイを供給するダイ供給装置を部品実装機にセットして、部品実装機でダイを回路基板に実装するようにしたものがある。このダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートをダイシングフレームに張設したウエハパレット（ウエハ張設体）と、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンとを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。

特開２０１０−１２９９４９号公報

ところで、吸着ノズルを下降させてダイシングシート上のダイを吸着する際に、吸着ノズルの下降動作の停止位置（下降ストロークの下限位置）の高さが低くなり過ぎると、吸着ノズルの下端がダイシングシート上のダイに強く当たり過ぎてダイが傷付いたり、割れてしまう可能性があり、反対に、吸着ノズルの下降動作の停止位置の高さが高くなり過ぎると、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない。従って、吸着ノズルにダイを傷付けずに安定して吸着するためには、吸着ノズルの下降動作の停止位置の高さを精密に調整する必要がある。

また、突き上げピンの突き上げ高さ（上端の高さ）が高くなり過ぎると、吸着ノズルの下端がダイシングシート上のダイに強く当たり過ぎてダイが傷付いたり、割れてしまう可能性があり、反対に、突き上げピンの突き上げ高さが低くなり過ぎると、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない。従って、吸着ノズルにダイを傷付けずに安定して吸着するためには、突き上げピンの突き上げ高さを精密に調整する必要がある。

また、近年、ダイが益々微細化する傾向があり、吸着ノズルと突き上げピンとの水平方向（ＸＹ方向）の位置ずれが大きくなると、吸着ノズルの吸着位置に対して突き上げピンの突き上げ位置がずれて吸着ノズルにダイを安定して吸着できない。従って、吸着ノズルにダイを安定して吸着するためには、吸着ノズルと突き上げピンとの水平方向の位置ずれ量を許容範囲内に収めるように吸着ノズルや突き上げピンの水平方向の位置を調整する必要がある。

このように、ダイ供給装置においては、吸着ノズルの下降動作の停止位置の高さや、突き上げピンの突き上げ高さや、両者の水平方向の位置を調整する必要があるが、従来の調整作業は、生産開始前に、吸着ノズルの下降動作の停止位置の高さや、突き上げピンの突き上げ高さや、両者の水平方向の位置を手作業で計測して、それらの位置ずれ量が許容範囲を越えていることが判明すれば、装置の構成部品を組み付け直すなどして再び手作業で計測するという手間のかかる作業を行っていた。このため、調整作業に多くの時間を費やすことがあり、これが生産性を低下させる一因となっていた。

また、ダイ供給装置のマガジン内のウエハパレット（ウエハ張設体）をパレット引き出しテーブル上に引き出すときに、ウエハパレットの向きが水平方向に僅かに傾く場合がある。この場合、吸着ノズルの吸着位置とダイシングシート上の各ダイの位置との関係がずれて、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない可能性がある。従って、吸着ノズルにダイを安定して吸着するためには、ウエハパレットの傾きに応じてダイシングシート上の各ダイの吸着位置を調整することが望ましいが、従来、ウエハパレットの傾きについてはその影響が無視されていたため、ウエハパレットの傾きが大きくなると、吸着ノズルにダイを安定して吸着できない可能性があった。

そこで、本発明の目的は、上述した課題のうちの少なくとも１つを解決できるようにすることである。

本発明は、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体をセットし、吸着ヘッドに着脱可能に保持された吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を、その下方に配置された突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、前記吸着ヘッドに前記吸着ノズルと交換可能に保持される調整用治具を備え、前記調整用治具は、前記ダイの表面に押印するスタンプ部を有し、該スタンプ部は、該ダイへの押し付け量が大きくなるほど該ダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるように弾性変形可能な材料により形成され、前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記ダイの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該ダイの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該ダイの表面に該スタンプ部の押し付け量に応じたサイズのスタンプマークを押印し、そのスタンプマークのサイズに基づいて該吸着ヘッドの下降動作の停止位置（下降ストロークの下限位置）の高さが分かるように構成したものである。

この構成では、吸着ヘッドに、吸着ノズルに代えて調整用治具を保持させて、該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させてダイの表面に該調整用治具のスタンプ部を押し付けることで、該ダイの表面に該スタンプ部の押し付け量に応じたサイズのスタンプマークを押印する。この場合、調整用治具のスタンプ部は、ダイへの押し付け量（スタンプ部の下降量）が大きくなるほど該ダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるように形成されているため、該ダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるほど、ダイへのスタンプ部の押し付け量（下降量）が大きくなること、すなわち、吸着ヘッドの下降動作の停止位置の高さが低くなることが分かる。これにより、ダイの表面に押印されたスタンプマークのサイズから吸着ヘッド（吸着ノズル）の下降動作の停止位置の高さを簡単に精度良く計測できる。

ところで、ダイの種類によっては、スタンプマークを押印できないダイが存在したり、スタンプマークを押印したダイが実装不可になる場合がある。

このような場合には、ウエハが貼着されていないシートを張設したシート張設体を用意して、ウエハ張設体に代えて前記シート張設体をセットし、吸着ヘッドに保持された調整用治具を前記シート張設体のシートの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該シートの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該シートの表面に該スタンプ部の押し付け量に応じたサイズのスタンプマークを押印し、そのスタンプマークのサイズに基づいて該吸着ヘッドの下降動作の停止位置の高さが分かるように構成するようにしても良い。このように、ウエハ張設体に代えてシート張設体をセットして、該シート張設体のシートの表面にスタンプマークを押印するようにすれば、ダイの表面にスタンプマークを押印せずに済む利点がある。

ここで、スタンプ部は、弾性変形可能であれば、円柱状等、どの様な形状であっても良いが、例えば、スタンプ部を、弾性変形可能な多孔質材料により下側ほど細くなる形状に形成し、調整用治具に、前記スタンプ部にインクを供給するインクタンク部を設けた構成とすると良い。スタンプ部を、弾性変形可能な多孔質材料により下側ほど細くなる形状（例えばテーパ状、球面状等）に形成すれば、ダイへのスタンプ部の押し付け量（下降量）に対するスタンプマークのサイズの変化率が大きくなり、吸着ヘッド（吸着ノズル）の下降動作の停止位置の高さの計測精度を向上できる。しかも、調整用治具に、スタンプ部にインクを供給するインクタンク部を設けた構成とすれば、押印動作前にスタンプ部にインクを付着させる作業（動作）を省略することができ、計測作業を能率良く行うことができる。

本発明は、作業者がスタンプマークのサイズを目視又は定規等の計器で計測するようにしても良いが、この作業を自動化しても良い。具体的には、ダイ又はシートの表面に押印したスタンプマークを撮像するカメラと、前記カメラで撮像した画像を処理することで前記スタンプマークを認識する画像処理手段と、前記画像処理手段により認識した前記スタンプマークのサイズに基づいて前記吸着ヘッドの下降動作の停止位置の高さを演算する演算手段とを備えた構成としても良い。このようにすれば、吸着ヘッドの下降動作の停止位置の高さを計測する作業を完全に自動化することができ、生産性を向上できる。

また、吸着ヘッドと突き上げピンとの水平方向の位置関係を計測する場合は、ウエハが貼着されていないシートを張設したシート張設体と、前記シート張設体のシートの表面に押印するスタンプ部を有する調整用治具とを使用し、前記ウエハ張設体に代えて前記シート張設体をセットし、前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記シート張設体のシートの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該シートの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該シートの表面にスタンプマークを押印すると共に、前記突き上げピンを突き上げ動作させて該突き上げピンで該シートを突き上げることで、該シートに突き上げ跡を作り、該スタンプマークと該突き上げ跡との水平方向の位置関係に基づいて該吸着ヘッドと該突き上げピンとの水平方向の位置関係が分かるように構成しても良い。このようにすれば、シートの表面に押印されたスタンプマークと突き上げ跡との水平方向の位置関係に基づいて吸着ヘッドと突き上げピンとの水平方向の位置関係を簡単に精度良く計測できる。

この場合も、スタンプ部の形状は、どの様な形状であっても良いが、例えば、スタンプ部を、弾性変形可能な多孔質材料により押印するスタンプマークが円形又は円環となるように形成し、調整用治具には、前記スタンプ部にインクを供給するインクタンク部を設けた構成とすると良い。スタンプマークの形状が円環である場合は、スタンプマークが大きくても、突き上げ跡がスタンプマークと重ならず、突き上げ跡を認識しやすくなる利点がある。

作業者がスタンプマークと突き上げ跡との水平方向の位置関係を目視又は定規等の計器で計測するようにしても良いが、この作業をカメラを用いた画像処理により自動化しても良い。この場合、画像処理手段により認識したスタンプマークの位置と突き上げ跡の位置に基づいて吸着ヘッドの水平方向の位置と突き上げピンの水平方向の位置及び／又は両者の水平方向の位置ずれ量を演算手段により演算するようにすれば良い。

更に、吸着ヘッドと突き上げピンをそれぞれ水平方向に移動させる移動機構の水平方向の基準位置を前記演算手段の演算結果に基づいて補正する基準位置補正手段を備えた構成としても良い。このようにすれば、吸着ヘッドと突き上げピンの水平方向の位置ずれを自動的に補正できる。

或は、前記演算手段の演算結果を表示する表示手段と、吸着ヘッドと突き上げピンをそれぞれ水平方向に移動させる移動機構の水平方向の基準位置の補正量を作業者が入力する入力手段とを備えた構成としても良い。このように、演算手段の演算結果を表示手段に表示させれば、その表示から作業者が水平方向の基準位置の適正な補正量を容易に決めることができる。

また、突き上げピンの突き上げ高さを計測する場合は、調整用治具のスタンプ部を、突き上げピンによるダイシングシートの突き上げ高さが高くなるほど該ダイシングシート上のダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるように弾性変形可能な材料により形成し、吸着ヘッドに保持された調整用治具を前記ダイの上方に位置させて該吸着ヘッドを下降動作させて、該調整用治具のスタンプ部を該ダイの表面に接触又は接近させた状態で、該調整用治具の真下に位置する前記突き上げピンを突き上げ動作させて該突き上げピンで前記ダイシングシートを突き上げて該ダイシングシートの突き上げ部分上のダイを該スタンプ部に押し付けて該ダイの表面にスタンプマークを押印し、該スタンプマークのサイズに基づいて該突き上げピンの突き上げ高さが分かるように構成しても良い。この場合、調整用治具のスタンプ部は、突き上げピンによるダイシングシートの突き上げ高さが高くなるほど該ダイシングシート上のダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるように形成されているため、該ダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるほど突き上げピンの突き上げ高さが高くなることが分かる。これにより、突き上げピンの突き上げ高さを簡単に精度良く計測できる。

この場合、ウエハが貼着されていないシートを張設したシート張設体を使用し、ウエハ張設体に代えて前記シート張設体をセットし、吸着ヘッドに保持された調整用治具をシート張設体のシートの上方に位置させて該吸着ヘッドを下降動作させて、該調整用治具のスタンプ部を該シートの表面に接触又は接近させた状態で、該調整用治具の真下に位置する前記突き上げピンを突き上げ動作させて該突き上げピンで該シートを突き上げて該シートの突き上げ部分を該スタンプ部に押し付けて該シートの突き上げ部分にスタンプマークを押印し、該スタンプマークのサイズに基づいて該突き上げピンの突き上げ高さが分かるように構成しても良い。このように、ウエハ張設体に代えて、シート張設体のシートの表面にスタンプマークを押印するようにすれば、ダイの表面をスタンプマークで汚さずに済む利点がある。

また、調整用治具のスタンプ部を、ダイの表面に押印されるスタンプマークの向きが特定される形状に形成し、吸着ヘッドに保持された調整用治具をダイの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該ダイの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該ダイの表面にスタンプマークを押印し、そのスタンプマークの向きに基づいてダイシングシート上の各ダイの水平方向の傾き角度が分かるように構成しても良い。このようにすれば、ダイシングシート上の各ダイの水平方向の傾き角度を簡単に精度良く計測できる。

この場合、作業者がスタンプマークの向きを目視又は分度器等の計器で計測するようにしても良いが、この作業をカメラの撮像画像を用いた画像処理により自動化しても良い。

図１は本発明の実施例１におけるダイ供給装置の外観斜視図である。 図２は突き上げユニットとその周辺部分の外観斜視図である。 図３はウエハパレットの外観斜視図である。 図４は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大図である。 図５は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。 図６はダイ供給装置の制御系の構成を示すブロック図である。 図７（ａ）、（ｂ）は調整用治具の縦断正面図と下面図である。 図８（ａ）、（ｂ）はダイへのスタンプ部の押し付け量とスタンプマークのサイズとの関係を説明する図である。 図９は本発明の実施例２に用いるシートパレットの外観斜視図である。 図１０は本発明の実施例３におけるカメラの撮像画像の一例を示す図である。 図１１は本発明の実施例４におけるカメラの撮像画像の一例を示す図である。 図１２（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例５における突き上げピンの突き上げ高さ（スタンプ部の押し付け量）とスタンプマークのサイズとの関係を説明する図である。 図１３（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例６における突き上げピンの突き上げ高さ（スタンプ部の押し付け量）とスタンプマークのサイズとの関係を説明する図である。 図１４（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例７で使用する調整用治具の正面図と下面図である。 図１５（ａ）、（ｂ）はウエハパレットの傾きが有る場合と無い場合のスタンプマークの押印例を示す平面図である。

以下、本発明を実施するための形態を具体化した７つの実施例１〜７を説明する。

本発明の実施例１を図１乃至図８に基づいて説明する。
まず、図１を用いてダイ供給装置１１の構成を概略的に説明する。

ダイ供給装置１１は、マガジン保持部２２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル２３、ＸＹ移動機構２５、突き上げユニット２８（図２参照）等を備え、パレット引き出しテーブル２３を部品実装機（図示せず）に差し込んだ状態にセットされる。

ダイ供給装置１１のマガジン保持部２２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ウエハ張設体３０を装着したウエハパレット３２が多段に積載され、生産中にマガジンからウエハパレット３２がパレット引き出し機構５６（図６参照）によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出されるようになっている。図３に示すように、ウエハ張設体３０は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成したダイ３１を貼着した伸縮可能なダイシングシート３４を、円形の開口部を有するダイシングフレーム３３にエキスパンドした状態で装着したものであり、該ダイシングフレーム３３がパレット本体３５にねじ止め等により取り付けられている。

突き上げユニット２８（図２参照）は、ウエハパレット３２のダイシングシート３４下方の空間領域をＸＹ方向（水平方向）に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９（図４、図５参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。

この突き上げユニット２８は、サーボモータ５５（図６参照）を駆動源として突き上げユニット２８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット２８が上昇して突き上げポット３７の上面がウエハパレット３２のダイシングシート３４に接触又は接近する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット２８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット３７の上面から突き上げピン３９（図４、図５参照）が上方に突出して、ダイシングシート３４のうちのピックアップしようとするダイ３１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータ５５の回転量を調整することで、突き上げピン３９の突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。

図１に示すように、ＸＹ移動機構２５には、吸着ヘッド４１とカメラ４２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド４１には、ダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する吸着ノズル４３（図４、図５参照）が上下動するように設けられている。カメラ４２は、ダイシングシート３４上のダイ３１を上方から撮像してその撮像画像をダイ供給装置１１の制御装置５１（図６参照）で画像処理することで、吸着ノズル４３に吸着しようとするダイ３１の位置を認識できるようになっている。

図６に示すように、ダイ供給装置１１の制御装置５１（演算手段）には、各種制御プログラムやデータ等を記憶した記憶装置５２と、マウス、キーボード、タッチパネル等の入力装置５３（入力手段）と、各種の情報を表示する表示装置５４（表示手段）等が接続されている。この制御装置５１は、吸着ヘッド４１の吸着動作や突き上げピン３９の突き上げ動作を制御する制御手段として機能すると共に、画像処理手段としても機能し、ダイシングシート３４上のダイ３１のうち、吸着しようとするダイ３１をカメラ４２で撮像して得られた画像を処理して該ダイ３１の位置を認識して、該ダイ３１の突き上げ位置及び吸着位置を決定し、図５に示すように、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせながら、該ダイ３１を吸着ノズル４３に吸着してピックアップする。そして、今回吸着動作を行ったダイ３１の認識位置を基準にして次に吸着するダイ（以下「次吸着ダイ」という）３１の位置を推定し、推定した次吸着ダイ３１の位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイ３１をカメラ４２で撮像して該次吸着ダイ３１の位置を認識して上述した突き上げ動作及び吸着動作を実行するという処理を繰り返すことで、ダイシングシート３４上のダイ３１を所定の順序で吸着していく。

ところで、吸着ノズル４３を下降させてダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する際に、吸着ノズル４３の下降動作の停止位置（下降ストロークの下限位置）の高さが低くなり過ぎると、吸着ノズル４３の下端がダイシングシート３４上のダイ３１に強く当たり過ぎてダイ３１が傷付いたり、割れてしまう可能性があり、反対に、吸着ノズル４３の下降動作の停止位置の高さが高くなり過ぎると、吸着ノズル４３にダイ３１を安定して吸着できない。従って、吸着ノズル４３にダイ３１を傷付けずに安定して吸着するためには、吸着ノズル４３（吸着ヘッド４１）の下降動作の停止位置の高さを精密に調整する必要がある。また、微小なダイ３１を吸着する場合は、吸着ノズル４３（吸着ヘッド４１）の水平方向（ＸＹ方向）の位置も精密に調整する必要がある。

そこで、本実施例１では、生産開始前に、図７に示す調整用治具６１を用いて吸着ヘッド４１の下降動作の停止位置の高さと水平方向の位置を計測する。以下、この計測方法を説明する。

調整用治具６１の上端部には、該調整用治具６１を吸着ヘッド４１に位置決めして保持させるための保持部６２が設けられている。この調整用治具６１の保持部６２は、吸着ノズル４３上端の保持部（図示せず）と同じ構造となっており、吸着ヘッド４１に対して調整用治具６１が吸着ノズル４３と交換可能に吸着又は係合手段により着脱可能に保持されるようになっている。

調整用治具６１は、吸着ノズル４３と高さ寸法が同じノズル形状に形成され、その下部に、ダイ３１の表面に押印するスタンプ部６３が設けられている。このスタンプ部６３は、多孔質ゴム、発泡弾性樹脂材料等の弾性変形可能な多孔質材料により下側ほど細くなる形状（例えばテーパ状、球面状等）に形成され、ダイ３１への押し付け量が大きくなるほど該ダイ３１の表面に押印されるスタンプマーク６６（図８参照）のサイズが大きくなり、且つスタンプマーク６６の中心のＸＹ座標が吸着ヘッド４１の中心のＸＹ座標と一致するように設計されている。本実施例１では、スタンプマーク６６は円形であり、予め、ダイ３１へのスタンプ部６３の押し付け量（吸着ヘッド４１の下降動作の停止位置の高さ）とスタンプマーク６６のサイズ（例えば直径）との関係を規定するテーブルデータ又は数式が実験データ等により作成されて記憶装置５２に記憶されている。

スタンプ部６３は、保持部６２の下面から下方に突出する円筒状のインクタンク部６４の下端部に取り付けられ、該インクタンク部６４内に充填されたインク６５がスタンプ部６３に少しずつ染み込むことで、スタンプ部６３にインク６５が自動的に供給されるようになっている。尚、インクタンク部６４の上端開口を閉鎖する保持部６２を着脱可能に構成して、ユーザーがインクタンク部６４から保持部６２を取り外してインクタンク部６４内にインク６５を補給できるようにしても良いし、勿論、ユーザーがインクタンク部６４内にインク６５を補給できない使い捨ての構成としても良い。

以上のように構成した調整用治具６１を用いて吸着ヘッド４１の下降動作の停止位置の高さと水平方向の位置を計測する動作は、ダイ供給装置１１の制御装置５１によって次のように制御される。まず、ダイ供給装置１１の吸着ヘッド４１に調整用治具６１を保持させる。この調整用治具６１の保持作業は作業者が手作業で行っても良いし、或は、ダイ供給装置１１に交換用の吸着ノズル４３と調整用治具６１とを保管するノズル置き場（図示せず）が設けられている場合は、ＸＹ移動機構２５により吸着ヘッド４１をノズル置き場へ移動させて該吸着ヘッド４１に自動的に調整用治具６１を保持させるようにしても良い。

そして、ダイ供給装置１１のマガジンからウエハパレット３２をパレット引き出し機構５６によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出す。この後、ＸＹ移動機構２５により吸着ヘッド４１に保持された調整用治具６１をウエハパレット３２上のダイ３１の上方へ移動させて該吸着ヘッド４１をダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具６１を下降させて、図８に示すように、該ダイ３１の表面に該調整用治具６１のスタンプ部６３を押し付けて、該ダイ３１の表面に該スタンプ部６３の押し付け量に応じたサイズのスタンプマーク６６を押印する。

この際、突き上げピン３９の突き上げ動作は、行わないようにしても良いし、ダイ吸着動作と同様に突き上げピン３９の突き上げ動作を行いながら、ダイ３１の表面にスタンプ部６３を押し付けてスタンプマーク６６を押印するようにしても良い。後者の場合は、突き上げピン３９の突き上げ動作によるダイ３１の突き上げ高さを考慮してスタンプ部６３の押し付け量（吸着ヘッド４１の下降動作の停止位置の高さ）を計測すれば良い。

スタンプマーク６６の押印後、調整用治具６１を元の高さまで上昇させた後、ＸＹ移動機構２５によりカメラ４２をスタンプマーク６６の上方へ移動させてカメラ４２でスタンプマーク６６を撮像し、その画像信号を制御装置５１に送信する。制御装置５１は、受信した画像信号を処理することでスタンプマーク６６を認識して、該スタンプマーク６６のサイズ（例えば直径）を計測し、記憶装置５２に記憶されている前記テーブルデータ又は数式を用いて、スタンプマーク６６のサイズからスタンプ部６３の押し付け量ひいては吸着ヘッド４１の下降動作の停止位置の高さを演算して表示装置５４に表示する。

また、制御装置５１は、認識したスタンプマーク６６の中心のＸＹ座標を計測し、このＸＹ座標を吸着ヘッド４１の中心のＸＹ座標（吸着ヘッド４１の水平方向の位置）として表示装置５４に表示する。

以上説明した本実施例１では、調整用治具６１のスタンプ部６３は、ダイ３１への押し付け量（スタンプ部６３の下降量）が大きくなるほど該ダイ３１の表面に押印されるスタンプマーク６６のサイズが大きくなるように形成されているため、吸着ヘッド４１に吸着ノズル４３に代えて調整用治具６１を保持させて、該吸着ヘッド４１をダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具６１を下降させてダイ３１の表面に該調整用治具６１のスタンプ部６３を押し付けるようにすれば、該ダイ３１の表面に該スタンプ部６３の押し付け量に応じたサイズのスタンプマーク６６を押印することができる。ダイ３１の表面に押印されたスタンプマーク６６のサイズが大きくなるほど、ダイ３１へのスタンプ部６３の押し付け量が大きくなること、すなわち、吸着ヘッド４１の下降動作の停止位置の高さが低くなることを意味するため、ダイ３１の表面に押印されたスタンプマーク６６のサイズから吸着ヘッド４１（吸着ノズル４３）の下降動作の停止位置の高さを簡単に精度良く計測できる。尚、本発明は、作業者がダイ３１の表面に押印されたスタンプマーク６６のサイズを目視又は定規等の計器で計測するようにしても良い。

また、本実施例１では、スタンプ部６３を、弾性変形可能な多孔質材料により下側ほど細くなる形状（例えばテーパ状、球面状等）に形成したので、ダイ３１へのスタンプ部６３の押し付け量（下降量）に対するスタンプマーク６６のサイズの変化率が大きくなり、吸着ヘッド４１（吸着ノズル４３）の下降動作の停止位置の高さの計測精度を向上できる。但し、スタンプ部６３の形状は、先細形状に限定されず、弾性変形可能であれば、円柱状等、どの様な形状であっても良く、要は、ダイ３１への押し付け量が大きくなるほど該ダイ３１の表面に押印されるスタンプマーク６６のサイズが大きくなるように形成したものであれば良い。また、スタンプマーク６６の形状も円形に限定されず、正方形、正多角形等、スタンプマーク６６の中心の位置が一義的に特定される形状であれば、どの様な形状であっても良い。

また、本実施例１では、調整用治具６１に、スタンプ部６３にインク６５を供給するインクタンク部６４を設けたので、スタンプ部６３にインクを付着させる作業（動作）を省略することができ、計測作業を能率良く行うことができる。但し、本発明は、調整用治具６１にインクタンク部６４を設けない構成としても良く、この場合には、押印動作前にスタンプ部６３にインクを付着させる作業を自動又は手動で行うようにすれば良い。

ところで、ダイ３１の種類によっては、スタンプマーク６６を押印できないダイ３１が存在したり、スタンプマーク６６を押印したダイ３１が実装不可になる場合がある。

そこで、本発明の実施例２では、ウエハパレット３２に代えて、図９に示すシートパレット６８を用いて、吸着ヘッド４１（吸着ノズル４３）の下降動作の停止位置の高さを計測するようにしている。以下、前記実施例１と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として前記実施例１と異なる部分について異符号を付して説明する。

本実施例２で使用するシートパレット６８は、ウエハパレット３２と共通のパレット本体３５にシート張設体６９をねじ止め等により取り付けたものであり、シート張設体６９は、ウエハ張設体３０と共通のダイシングフレーム３３にダイ３１が貼着されていないシート７０を装着したものである。ここで、シート７０は、ダイシングシート３４を用いても良いし、市販のシート（フィルムや紙等）を用いても良く、要は、スタンプマーク６６を鮮明に押印しやすく且つ画像処理でスタンプマーク６６を認識しやすいシートを用いれば良い。

シートパレット６８を用いて吸着ヘッド４１（吸着ノズル４３）の下降動作の停止位置の高さを計測する場合は、作業者がダイ供給装置１１のマガジン内にシートパレット６８をセットして、該マガジンからシートパレット６８をパレット引き出し機構５６によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出す。この後、ＸＹ移動機構２５により吸着ヘッド４１に保持された調整用治具６１をシートパレット６８のシート張設体６９のシート７０の上方に移動させて該吸着ヘッド４１をダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具６１を下降させて、該シート７０の表面に該調整用治具６１のスタンプ部６３を押し付けて、該シート７０の表面に該スタンプ部６３の押し付け量に応じたサイズのスタンプマーク６６を押印する。この際、突き上げピン３９の突き上げ動作は行われず、突き上げピン３９でシート７０が突き上げられないようにしている。また、シート７０の表面にスタンプ部６３を押し付ける際に、シート７０が下方に凹まないようにシート７０の下面側がプレート（図示せず）等で補強されている。

スタンプマーク６６の押印後、調整用治具６１を元の高さ位置まで上昇させて、ＸＹ移動機構２５によりカメラ４２をスタンプマーク６６の上方へ移動させてカメラ４２でスタンプマーク６６を撮像し、その画像を制御装置５１で処理することでスタンプマーク６６を認識して、該スタンプマーク６６のサイズ（例えば直径）を計測し、記憶装置５２に記憶されている前記テーブルデータ又は数式を用いて、スタンプマーク６６のサイズからスタンプ部６３の押し付け量ひいては吸着ヘッド４１の下降動作の停止位置の高さを演算して表示装置５４に表示する。

以上説明した本実施例２では、シートパレット６８のシート７０の表面にスタンプマーク６６を押印するようにしているため、ダイ３１の表面にスタンプマーク６６を押印せずに済む利点がある。その他、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。

尚、本実施例２では、ウエハパレット３２とシートパレット６８の構成部品を共通化したが、シートパレットは、例えば、パレット引き出し機構５６により引き出し可能に構成された板状のパレット本体上にシートを取替え可能に固定した構成としても良い。

次に、図１０を用いて本発明の実施例３を説明する。但し、前記実施例１，２と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化する。

本実施例３では、前記実施例２で使用したシートパレット６８を用いて、吸着ヘッド４１と突き上げピン３９の水平方向（ＸＹ方向）の位置情報を次のようにして計測する。但し、シートパレット６８のシート７０の下面側はプレート等で補強されず、突き上げピン３９でシート７０を突き上げて該シート７０に突き上げ跡７１を作ることができるようになっている。

まず、作業者がダイ供給装置１１のマガジン内にシートパレット６８をセットして、該マガジンからシートパレット６８をパレット引き出し機構５６によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出す。この後、ＸＹ移動機構２５により吸着ヘッド４１に保持された調整用治具６１をシートパレット６８のシート７０の上方に移動させて該吸着ヘッド４１をダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具６１を下降させて、該シート７０の表面に該調整用治具６１のスタンプ部６３を押し付けて、該シート７０の表面にスタンプマーク６６を押印するすると共に、突き上げピン３９を突き上げ動作させて該突き上げピン３９で該シート７０を突き上げることで、該シート７０に突き上げ跡７１を形成する。

この後、調整用治具６１を元の高さ位置まで上昇させて、ＸＹ移動機構２５によりカメラ４２をスタンプマーク６６と突き上げ跡７１の両方を視野に収める位置へ移動させてカメラ４２でスタンプマーク６６と突き上げ跡７１を撮像し、その画像を制御装置５１で処理することでスタンプマーク６６と突き上げ跡７１を認識して、吸着ヘッド４１の水平方向の位置と突き上げピン３９の水平方向の位置を計測すると共に、画像の中心（位置ずれが無い場合の吸着ヘッド４１と突き上げピン３９の水平方向の位置）からの吸着ヘッド４１の水平方向の位置ずれ量と突き上げピン３９の水平方向の位置ずれ量を演算する。

更に、制御装置５１（基準位置補正手段）は、吸着ヘッド４１と突き上げピン３９の水平方向の位置ずれ量が許容範囲内であるか否かを判定し、吸着ヘッド４１の水平方向の位置ずれ量が許容範囲を越えていると判定した場合は、その位置ずれ量に基づいて、吸着ヘッド４１を水平方向に移動させるＸＹ移動機構２５の水平方向の基準位置を補正し、補正後の基準位置を基準にして吸着ヘッド４１の水平方向の位置を制御する。また、突き上げピン３９の水平方向の位置ずれ量が許容範囲を越えていると判定した場合は、その位置ずれ量に基づいて、突き上げユニット２８を水平方向に移動させる移動機構（図示せず）の水平方向の基準位置を補正し、補正後の基準位置を基準にして突き上げユニット２８の水平方向の位置を制御する。このようにすれば、吸着ヘッド４１と突き上げピン３９の水平方向の位置ずれを自動的に補正できる。

また、計測した吸着ヘッド４１と突き上げピン３９の位置ずれの情報を表示装置５４に表示する。本実施例３では、吸着ヘッド４１と突き上げピン３９の水平方向の位置ずれ（基準位置のずれ）を自動的に補正する自動補正モードと、作業者が入力装置５３を操作して位置ずれの補正量を手動設定する手動補正モードとを切り替え可能となっており、作業者が手動補正モードを選択した場合は、作業者が表示装置５４に表示された位置ずれの情報を見て、位置ずれの補正量を決めて手動設定する。

以上説明した本実施例３では、シート７０の表面に押印されたスタンプマーク６６と突き上げ跡７１との水平方向の位置関係に基づいて吸着ヘッド４１と突き上げピン３９との水平方向の位置関係を簡単に精度良く計測できる。

尚、スタンプマーク６６の形状は、円形に限定されず、正方形、正多角形等、スタンプマーク６６の中心の位置が一義的に特定される形状であれば、どの様な形状であっても良い。

また、シート７０の表面に押印されたスタンプマーク６６と突き上げ跡７１との水平方向の位置関係を作業者が目視又は定規等の計器で計測するようにしても良い。

図１１に示す本発明の実施例４では、調整用治具６１のスタンプ部６３を円環状のスタンプマーク７２となるように形成し、この調整用治具６１を使用して、前記実施例３と同様の方法で、吸着ヘッド４１と突き上げピン３９の水平方向（ＸＹ方向）の位置情報を計測する。

本実施例４のように、スタンプマーク７２の形状が円環である場合は、スタンプマーク７２が大きくても、突き上げ跡７１がスタンプマーク７２と重ならず、突き上げ跡７１を認識しやすくなる利点がある。

尚、本実施例４で使用する調整用治具６１は、前記実施例１，２で使用しても良い。ダイ３１が微小の場合は、複数のダイ３１の跨がって円環状のスタンプマーク７２を押印するようにしても良い。

次に、図１２を用いて本発明の実施例５を説明する。但し、前記実施例１〜３と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化する。

本実施例５では、突き上げピン３９の突き上げ高さを次のようにして計測する。前記実施例１と同様に、ダイ供給装置１１のマガジンからウエハパレット３２をパレット引き出し機構５６によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出すと共に、ＸＹ移動機構２５により吸着ヘッド４１に保持された調整用治具６１をウエハパレット３２上のダイ３１の上方に移動させて該吸着ヘッド４１を下降動作させて該調整用治具６１のスタンプ部６３を該ダイ３１の表面に接触又は接近させた状態で、該調整用治具６１の真下に位置する突き上げピン３９を突き上げ動作させて該突き上げピン３９でダイシングシート３４を突き上げて該ダイシングシート３４の突き上げ部分上のダイ３１を該スタンプ部６３に押し付けて該ダイ３１の表面にスタンプマーク６６を押印する。

この際、突き上げピン３９によるダイシングシート３４の突き上げ高さが高くなるほど該ダイシングシート３４上のダイ３１の表面に押印されるスタンプマーク６６のサイズが大きくなる。予め、ダイ３１へのスタンプ部６３の押し付け量（突き上げピン３９の突き上げ高さ）とスタンプマーク６６のサイズ（例えば直径）との関係を規定するテーブルデータ又は数式が実験データ等により作成されて記憶装置５２に記憶されている。

スタンプマーク６６の押印後、カメラ４２でスタンプマーク６６を撮像し、その撮像画像を制御装置５１で処理してスタンプマーク６６のサイズ（例えば直径）を計測し、記憶装置５２に記憶されている前記テーブルデータ又は数式を用いて、スタンプマーク６６のサイズからスタンプ部６３の押し付け量ひいては突き上げピン３９の突き上げ高さを演算して表示装置５４に表示する。

尚、スタンプマーク６６のサイズが予め指定されたサイズとなるように突き上げピン３９の突き上げ高さを所定量ずつ変更して、突き上げピン３９の突き上げ高さを計測する動作を複数回繰り返して、突き上げピン３９の突き上げ高さを目標とする高さに自動調整する自動突き上げ高さ調整モードが設定されている。その他、作業者が入力装置５３を操作して突き上げピン３９の突き上げ高さを調整する手動突き上げ高さ調整モードが設定され、作業者が手動突き上げ高さ調整モードを選択した場合は、作業者が表示装置５４に表示された計測値を見て、入力装置５３を操作して突き上げピン３９の突き上げ高さを任意に調整できるようになっている。

以上説明した本実施例５では、突き上げピン３９の突き上げ高さを簡単に精度良く計測できる。

尚、本発明は、作業者がダイ３１の表面に押印されたスタンプマーク６６のサイズを目視又は定規等の計器で計測して突き上げピン３９の突き上げ高さを計測するようにしても良い。

次に、図１３を用いて本発明の実施例６を説明する。但し、前記実施例１〜５と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化する。

前述したように、ダイ３１の種類によっては、スタンプマーク６６を押印できないダイ３１が存在したり、スタンプマーク６６を押印したダイ３１が実装不可になる場合がある。また、割れやすいダイ３１の場合は、該ダイ３１を突き上げピン３９で突き上げてスタンプ部６３に強く押し付け過ぎると、該ダイ３１が割れる可能性がある。

そこで、本実施例６では、前記実施例３で使用したシートパレット６８を用いて、突き上げピン３９の突き上げ高さを次のようにして計測する。尚、図１３の例では、調整用治具６１のスタンプ部６３の形状を円柱状としているが、前記実施例１と同様のテーパ形状や球面形状等であっても良い。

前記実施例３と同様に、作業者がダイ供給装置１１のマガジン内にシートパレット６８をセットして、該マガジンからシートパレット６８をパレット引き出し機構５６によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出す。この後、ＸＹ移動機構２５により吸着ヘッド４１に保持された調整用治具６１をシートパレット６８のシート７０の上方に移動させて該吸着ヘッド４１を下降動作させて該調整用治具６１のスタンプ部６３を該シート７０の表面に接触又は接近させた状態で、該調整用治具６１の真下に位置する突き上げピン３９を突き上げ動作させて該突き上げピン３９でシート７０を突き上げて該シート７０の突き上げ部分を該スタンプ部６３に押し付けて該シート７０の表面にスタンプマーク６６を押印する。

この後、カメラ４２でスタンプマーク６６を撮像し、その撮像画像を制御装置５１で処理してスタンプマーク６６のサイズ（例えば直径）を計測し、記憶装置５２に記憶されている前記テーブルデータ又は数式を用いて、スタンプマーク６６のサイズからスタンプ部６３の押し付け量ひいては突き上げピン３９の突き上げ高さを演算して表示装置５４に表示する。

以上説明した本実施例６では、シートパレット６８のシート７０の表面にスタンプマーク６６を押印するようにしているため、ダイ３１の表面にスタンプマーク６６を押印せずに済む利点がある。その他、前記実施例５と同様の効果を得ることができる。

次に、図１４及び図１５を用いて本発明の実施例７を説明する。但し、前記実施例１と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化する。

本実施例７では、調整用治具６１のスタンプ部８２を、ダイ３１の表面に押印されるスタンプマーク８３の向きが特定される形状に形成している。具体的には、調整用治具６１のインクタンク部６４の下部に、２本のスタンプ部８２をＸ方向又はＹ方向に所定間隔で設け、インクタンク部６４内のインクを各スタンプ部８２に供給するように構成している。２本のスタンプ部８２は、弾性変形可能な多孔質材料により同一形状に形成され、下方への突出寸法が同一となっている。各スタンプ部８２の形状は、円柱状、テーパ状、球面状等、どのような形状であっても良く、要は、２本のスタンプ部８２でダイ３１の表面に押印される押印されるスタンプマーク８３の向きを特定可能な形状であれば良い。従って、２本のスタンプ部８２を設ける構成に限定されず、調整用治具６１に１本のスタンプ部のみを設ける構成であっても、ダイ３１の表面に押印される押印されるスタンプマークの向きを特定可能な形状（例えば細長い長方形）に形成すれば良い。

ダイ供給装置１１のマガジンからウエハパレット３２をパレット引き出し機構５６によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出す際に、ウエハパレット３２の向きが水平方向に僅かに傾く場合がある。この場合、吸着ノズル４３の吸着位置とダイシングシート３４上の各ダイ３１の位置との関係がずれて、吸着ノズル４３にダイ３１を安定して吸着できない可能性がある。

そこで、本実施例７では、図１４に示す調整用治具６１を用いて、ウエハパレット３２上の各ダイ３１の水平方向の傾き角度を次のようにして計測する。

前記実施例１と同様に、ダイ供給装置１１のマガジンからウエハパレット３２をパレット引き出し機構５６によりパレット引き出しテーブル２３上に引き出すと共に、吸着ヘッド４１に保持された調整用治具６１をウエハパレット３２上のダイ３１の上方に位置させて該吸着ヘッド４１をダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具６１を下降させて該ダイ３１の表面に２本のスタンプ部８２を押し付けることで、該ダイ８２の表面に２個のスタンプマーク８３を押印する。

この後、カメラ４２で２個のスタンプマーク８３が押印された２個のダイ３１を撮像し、その撮像画像を制御装置５１で処理して２個のスタンプマーク８３と２個のダイ３１を認識し、２個のスタンプマーク８３の中心を結ぶ線を基準にして２個のダイ３１の中心を結ぶ線の水平方向の傾き角度を演算する。

そして、制御装置５１（演算手段及び吸着位置補正手段）は、水平方向の傾き角度が許容範囲内であるか否かを判定し、水平方向の傾き角度が許容範囲を越えていると判定した場合は、水平方向の傾き角度に基づいてダイシングシート３４上の各ダイ３１の水平方向の位置ずれ量を演算し、その演算結果に基づいてダイシングシート３４上の各ダイ３１の吸着位置のずれを補正する。このようにすれば、ウエハパレット３２の傾きによるダイシングシート３４上の各ダイ３１の吸着位置のずれを自動的に補正できる。

また、計測した水平方向の傾き角度や位置ずれの情報を表示装置５４に表示する。本実施例７では、ウエハパレット３２の傾きによるダイシングシート３４上の各ダイ３１の吸着位置のずれを自動的に補正する自動補正モードと、作業者が入力装置５３を操作して吸着位置の補正量を手動設定する手動補正モードとを切り替え可能となっており、作業者が手動補正モードを選択した場合は、作業者が表示装置５４に表示された情報を見て、吸着位置の補正量を決めて手動設定できるようになっている。

以上説明した本実施例７では、スタンプマーク８３の向きが特定される形状のスタンプ部８２でダイ３１の表面に押印することで、スタンプマーク８３の向き（水平方向の傾き角度）からダイ３１の水平方向の傾き角度を簡単に精度良く計測できる。

尚、作業者がスタンプマーク８３の向き（水平方向の傾き角度）を目視又は分度器等の計器で計測するようにしても良い。

また、各実施例１〜７で使用するダイ供給装置１１は、ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成したが、吸着ヘッド４１とカメラ４２がＸ方向のみに移動し、且つ、ウエハパレット３２がパレット引き出しテーブル２３上をＹ方向に移動することで、撮像対象・吸着対象となるダイ３１の位置がＸＹ方向に移動するように構成しても良い。

その他、本発明は、ダイ供給装置１１の構成やウエハパレット３２の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。

１１…ダイ供給装置、２２…マガジン保持部、２３…パレット引き出しテーブル、２５…ＸＹ移動機構、２８…突き上げユニット、３０…ウエハ張設体、３１…ダイ、３２…ウエハパレット、３３…ダイシングフレーム、３４…ダイシングシート、３７…突き上げポット、３９…突き上げピン、４１…吸着ヘッド、４２…カメラ、４３…吸着ノズル、５１…制御装置（演算手段，画像処理手段，基準位置補正手段，吸着位置補正手段）、５２…記憶装置、５３…入力装置（入力手段）、５４…表示装置（表示手段）、５５…サーボモータ、５６…パレット引き出し機構、６１…調整用治具、６２…保持部、６３…スタンプ部、６４…インクタンク部、６５…インク、６６…スタンプマーク、６８…シートパレット、６９…シート張設体、７０…シート、７１…突き上げ跡、７２…スタンプマーク、８２…スタンプ部、８３…スタンプマーク

Claims (18)

1. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体をセットし、吸着ヘッドに着脱可能に保持された吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を、その下方に配置された突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
   前記吸着ヘッドに前記吸着ノズルと交換可能に保持される調整用治具を備え、
   前記調整用治具は、前記ダイの表面に押印するスタンプ部を有し、該スタンプ部は、該ダイへの押し付け量が大きくなるほど該ダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるように弾性変形可能な材料により形成され、
   前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記ダイの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該ダイの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該ダイの表面に該スタンプ部の押し付け量に応じたサイズのスタンプマークを押印し、そのスタンプマークのサイズに基づいて該吸着ヘッドの下降動作の停止位置の高さが分かるように構成したことを特徴とするダイ供給装置調整システム。
2. 前記ウエハが貼着されていないシートを張設したシート張設体を備え、
   前記ウエハ張設体に代えて前記シート張設体をセットし、
   前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記シート張設体のシートの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該シートの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該シートの表面に該スタンプ部の押し付け量に応じたサイズのスタンプマークを押印し、そのスタンプマークのサイズに基づいて該吸着ヘッドの下降動作の停止位置の高さが分かるように構成したことを特徴とする請求項１に記載のダイ供給装置調整システム。
3. 前記スタンプ部は、弾性変形可能な多孔質材料により下側ほど細くなる形状に形成され、
   前記調整用治具には、前記スタンプ部にインクを供給するインクタンク部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイ供給装置調整システム。
4. 前記スタンプマークを撮像するカメラと、
   前記カメラで撮像した画像を処理することで前記スタンプマークを認識する画像処理手段と、
   前記画像処理手段により認識した前記スタンプマークのサイズに基づいて前記吸着ヘッドの下降動作の停止位置の高さを演算する演算手段と
   を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のダイ供給装置調整システム。
5. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体をセットし、吸着ヘッドに着脱可能に保持された吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を、その下方に配置された突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
   前記ウエハが貼着されていないシートを張設したシート張設体と、
   前記シート張設体のシートの表面に押印するスタンプ部を有する調整用治具とを備え、
   前記ウエハ張設体に代えて前記シート張設体をセットし、
   前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記シート張設体のシートの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該シートの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該シートの表面にスタンプマークを押印すると共に、前記突き上げピンを突き上げ動作させて該突き上げピンで該シートを突き上げることで、該シートに突き上げ跡を作り、該スタンプマークと該突き上げ跡との水平方向の位置関係に基づいて該吸着ヘッドと該突き上げピンとの水平方向の位置関係が分かるように構成したことを特徴とするダイ供給装置調整システム。
6. 前記スタンプ部は、弾性変形可能な多孔質材料により押印するスタンプマークが円形又は円環となるように形成され、
   前記調整用治具には、前記スタンプ部にインクを供給するインクタンク部が設けられていることを特徴とする請求項５に記載のダイ供給装置調整システム。
7. 前記シートの表面に押印されたスタンプマークと前記突き上げ跡を撮像するカメラと、
   前記カメラで撮像した画像を処理することで前記スタンプマークと前記突き上げ跡を認識する画像処理手段と、
   前記画像処理手段により認識した前記スタンプマークの位置と前記突き上げ跡の位置に基づいて前記吸着ヘッドの水平方向の位置と前記突き上げピンの水平方向の位置及び／又は両者の水平方向の位置ずれ量を演算する演算手段と
   を備えていることを特徴とする請求項５又は６に記載のダイ供給装置調整システム。
8. 前記吸着ヘッドと前記突き上げピンをそれぞれ水平方向に移動させる移動機構の水平方向の基準位置を前記演算手段の演算結果に基づいて補正する基準位置補正手段を備えていることを特徴とする請求項７に記載のダイ供給装置調整システム。
9. 前記演算手段の演算結果を表示する表示手段と、
   前記吸着ヘッドと前記突き上げピンをそれぞれ水平方向に移動させる移動機構の水平方向の基準位置の補正量を作業者が入力する入力手段と
   を備えていることを特徴とする請求項７又は８に記載のダイ供給装置調整システム。
10. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体をセットし、吸着ヘッドに着脱可能に保持された吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を、その下方に配置された突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
    前記吸着ヘッドに前記吸着ノズルと交換可能に保持される調整用治具を備え、
    前記調整用治具は、前記ダイの表面に押印するスタンプ部を有し、該スタンプ部は、前記突き上げピンによる前記ダイシングシートの突き上げ高さが高くなるほど該ダイシングシート上のダイの表面に押印されるスタンプマークのサイズが大きくなるように弾性変形可能な材料により形成され、
    前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記ダイの上方に位置させて該吸着ヘッドを下降動作させて、該調整用治具のスタンプ部を該ダイの表面に接触又は接近させた状態で、該調整用治具の真下に位置する前記突き上げピンを突き上げ動作させて該突き上げピンで前記ダイシングシートを突き上げて該ダイシングシートの突き上げ部分上のダイを該スタンプ部に押し付けて該ダイの表面にスタンプマークを押印し、該スタンプマークのサイズに基づいて該突き上げピンの突き上げ高さが分かるように構成したことを特徴とするダイ供給装置調整システム。
11. 前記ウエハが貼着されていないシートを張設したシート張設体を備え、
    前記ウエハ張設体に代えて前記シート張設体をセットし、
    前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記シート張設体のシートの上方に位置させて該吸着ヘッドを下降動作させて、該調整用治具のスタンプ部を該シートの表面に接触又は接近させた状態で、該調整用治具の真下に位置する前記突き上げピンを突き上げ動作させて該突き上げピンで該シートを突き上げて該シートの突き上げ部分を該スタンプ部に押し付けて該シートの突き上げ部分にスタンプマークを押印し、該スタンプマークのサイズに基づいて該突き上げピンの突き上げ高さが分かるように構成したことを特徴とする請求項１０に記載のダイ供給装置調整システム。
12. 前記スタンプ部は、弾性変形可能な多孔質材料により形成され、
    前記調整用治具には、前記スタンプ部にインクを供給するインクタンク部が設けられていることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のダイ供給装置調整システム。
13. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体をセットし、吸着ヘッドに着脱可能に保持された吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を、その下方に配置された突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置に適用され、
    前記吸着ヘッドに前記吸着ノズルと交換可能に保持される調整用治具を備え、
    前記調整用治具は、前記ダイの表面に押印するスタンプ部を有し、該スタンプ部は、該ダイの表面に押印されるスタンプマークの向きが特定される形状に形成され、
    前記吸着ヘッドに保持された前記調整用治具を前記ダイの上方に位置させて該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させて該調整用治具を下降させて該ダイの表面に前記スタンプ部を押し付けることで、該ダイの表面にスタンプマークを押印し、そのスタンプマークの向きに基づいて前記ダイシングシート上の各ダイの水平方向の傾き角度が分かるように構成したことを特徴とするダイ供給装置調整システム。
14. 前記ダイの表面に押印されたスタンプマークを撮像するカメラと、
    前記カメラで撮像した画像を処理することで前記スタンプマークを認識する画像処理手段と、
    前記画像処理手段により認識した前記スタンプマークの向きに基づいて前記ダイシングシート上の各ダイの水平方向の位置ずれ量を演算する演算手段と
    を備えていることを特徴とする請求項１３に記載のダイ供給装置調整システム。
15. 前記演算手段の演算結果に基づいて前記ダイシングシート上の各ダイの吸着位置を補正する吸着位置補正手段を備えていることを特徴とする請求項１４に記載のダイ供給装置調整システム。
16. 前記演算手段の演算結果を表示する表示手段と、
    前記ダイシングシート上の各ダイの吸着位置の補正量を作業者が入力する入力手段と
    を備えていることを特徴とする請求項１４又は１５に記載のダイ供給装置調整システム。
17. 複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートを張設したウエハ張設体をセットし、吸着ヘッドに着脱可能に保持された吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を、その下方に配置された突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置の調整に使用される調整用治具であって、
    該調整用治具は、前記吸着ヘッドに前記吸着ノズルと交換可能に保持され、該吸着ヘッドをダイ吸着動作と同様に下降動作させることで前記ダイの表面に押印するスタンプ部を有することを特徴とする調整用治具。
18. 前記スタンプ部は、弾性変形可能な多孔質材料により形成され、該スタンプ部にインクを供給するインクタンク部を有することを特徴とする請求項１７に記載の調整用治具。

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