JP6092590B2 - 光偏向器の製造方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 61
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 77
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003087 TiOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N tioxidazole Chemical compound CCCOC1=CC=C2N=C(NC(=O)OC)SC2=C1 HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
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Claims (3)
- 表側にミラー面を有するミラー部と、該ミラー部を収容する表側空間部分と該ミラー部の変位を許容する裏側空間部分とを画成する支持体とを備える光偏向器の製造方法であって、
表側から裏側へ順番にSOI層、BOX層及びハンドル層を有するウェハに対し、その表側からのSOI層のエッチングにより、ウェハの各区画の表側に前記表側空間部分と前記ミラー部の表側部分とを形成する第1工程と、
第1工程後のウェハに対し、その表側に、所定の溶液に対して可溶性である液状被覆剤を塗布して被覆剤層を形成し、該被覆剤層の表側を覆う支持基板を当てる第2工程と、
第2工程後のウェハに対し、前記被覆剤層を介して前記支持基板を固着するとともに前記被覆剤層を固化する第3工程と、
第3工程後のウェハに対し、その裏側からのハンドル層及びBOX層のエッチングにより、ウェハの各区画の裏側に前記裏側空間部分と前記ミラー部の裏側部分とを形成する第4工程と、
第4工程後のウェハに対し、その支持基板の表側に表側テープを貼着してから、該ウェハの裏側からウェハの各区画線に沿ってダイシングを行う第5工程と、
第5工程後のウェハに対し、その裏側に、粘着力が紫外線照射により低下する裏側テープを貼着する第6工程と、
第6工程後のウェハに対し、前記裏側空間部分の周輪郭よりも周輪郭が小さい開口を有するステンシルマスクを、該開口が前記裏側空間部分の内側になるように、前記裏側テープの裏側に当てる第7工程と、
第7工程後のウェハに対し、裏側から紫外線を照射してから前記ステンシルマスクを分離する第8工程と、
第8工程後のウェハに対し、該ウェハを前記所定の溶液に浸漬して前記被覆剤層及び前記支持基板を除去する第9工程とを備えることを特徴とする光偏向器の製造方法。 - 請求項1記載の光偏向器の製造方法において、
前記第4工程で形成する前記ミラー部の裏側部分はリブであることを特徴とする光偏向器の製造方法。 - 請求項1又は2記載の光偏向器の製造方法において、
前記光偏向器は、前記ミラー部と前記支持体との間に介在して前記ミラー部と共に変位する可動構造部を備え、
該可動構造部は、前記第1工程において前記ミラー部の表側部分と共に形成される表側部分と、前記第4工程において前記ミラー部の裏側部分と共に形成される裏側部分とを有していることを特徴とする光偏向器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012253818A JP6092590B2 (ja) | 2012-11-20 | 2012-11-20 | 光偏向器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012253818A JP6092590B2 (ja) | 2012-11-20 | 2012-11-20 | 光偏向器の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014102361A JP2014102361A (ja) | 2014-06-05 |
JP6092590B2 true JP6092590B2 (ja) | 2017-03-08 |
Family
ID=51024928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012253818A Active JP6092590B2 (ja) | 2012-11-20 | 2012-11-20 | 光偏向器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6092590B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004333887A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光スイッチ装置の製造方法 |
JP5414187B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2014-02-12 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
JP2012198298A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ricoh Co Ltd | 光偏向装置並びにこれを備えた光走査装置、画像投影装置、画像読取装置および画像形成装置 |
-
2012
- 2012-11-20 JP JP2012253818A patent/JP6092590B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014102361A (ja) | 2014-06-05 |
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