JP6083662B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
まず、搬送容器4の搬送容器本体4aから容器扉4bを取り外し、この容器扉4b上にマスクMをセットしてから、この容器扉4bを搬送容器本体4aに取り付けて、このマスクMを搬送容器4にセットする。
次いで、このマスクMがセットされた搬送容器4の容器扉4b側を下側に向けた状態とし、この搬送容器4をマスクアライナ1の前室2cのドッキングポート2dに嵌合させる。このとき、例えば手動モード等において、Zステージ3cおよびレベル調整機構3eを適宜駆動させ、露光ステージ3fの水平出しを行う。
次いで、露光処理前のウェハWが収容された搬送容器4を用意し、この搬送容器4の容器扉4b側を下側に向けて、マスクアライナ1のドッキングポート2dに嵌合させる。
そして、これらマスクMとウェハWとを密着させて重ねた後、例えば操作スイッチ(図示せず)を操作等して、駆動機構にてカメラ移動ステージ9を移動させ、これらマスクMおよびウェハW上にUV照射ユニット8を移動させる。
この後、露光ステージ3fをZステージ3cにてウェハ受け渡し位置へ移動させる。このとき、この露光ステージ3fは、マスクMとウェハWとのアライメント調整によって、露光ステージ3fの位置が微調整されているため、このアライメント調整前のウェハ受け渡し位置へ移動させる必要がある。
この後、空の搬送容器4を用意し、この搬送容器4の容器扉4b側を下側に向けて、マスクアライナ1のドッキングポート2dに嵌合させる。この状態で、このドッキングポート2dの装置扉2daを下方に移動させて、この装置扉2daとともに搬送容器4の容器扉4bを下方に移動させ、この搬送容器4から容器扉4bを取り外して開放させる。
上述のように、上記一実施形態のマスクアライナ1においては、マスクMおよびウェハWを同サイズとして、これらマスクMおよびウェハWの搬送容器4を同一とし、マスクアライナ1内へのマスクMとウェハWとの出入り口を同一とし、前室2cも1つであって、ウェハ処理室2eと前室2cとの間の、マスクMおよびウェハWを搬送する搬送装置5も同一であるため、これらに係る機械メカニズムについては、マスクMおよびウェハWのためにそれぞれ独立させて設ける場合に比べ、おおよそ1/2の機械メカニズムにすることができる。これにより、装置製造コスト、装置制御コスト、工場内装置搬送コストを大幅に削減することが可能であり、かつ装置内メカニズムが簡単にできるため、微粒子の発生源も1/2の量にでき、製造歩留まりを向上させることができる。さらに、マスクアライナ1内の搬送制御システムおよび工場搬送システムが1系統で済むので、システムがシンプルにできるとともに、応答を速くでき、かつバグを発生しにくくできる。
なお、上記一実施形態においては、マスクアライナ1の露光ユニット3にて露光するウェハWとマスクMとを等しい大きさの直径12.5mmの円盤状とした。ところが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばマスクMの大きさをウェハWより一回り大きくしたり、製造する半導体の大きさ等に適合させて、これらマスクMおよびウェハWそれぞれの大きさをより大きくしたり小さくしたりすることもできる。
2 筐体
2a 装置上部
2b 装置下部
2c 前室
2d ドッキングポート
2da 装置扉
2e ウェハ処理室
3 露光ユニット
3a 枠体
3b マスクホルダ
3ba マスク吸着固定機構
3c Zステージ
3d ロードセル
3e レベル調整機構
3ea 球面摺動部
3eb 保持部
3f 露光ステージ
3fa 試料吸着固定機構
4 搬送容器
4a 搬送容器本体
4b 容器扉
5 搬送装置
6 ワーク検出用カメラ
7 モニタリングカメラ
8 UV照射ユニット
8a 集光レンズ筒
8b インテグレータレンズ筒
8c LED光源
8d 第1集光レンズ
8e 第2集光レンズ
8f 第3集光レンズ
8g 第4集光レンズ
8h インテグレータレンズ
8i ロッドレンズ
9 カメラ移動ステージ
10 単位処理装置
12 ガイドウェイ
14 搬送手段
17 レイアウト装置
17a ガイドレール
17b 単位処理装置運搬部
A ボール待機位置
B ボール挿入位置
M マスク
W ウェハ
Claims (4)
- ウェハおよびマスクが同一サイズで、前記ウェハを前記マスクを介して露光する露光装置であって、
前記ウェハが設置される露光ステージと、
この露光ステージの前記ウェハが設置される側に対向して取り付けられ前記ウェハに対向する側に前記マスクが設置されるマスクホルダと、
このマスクホルダを介して前記露光ステージに対向して取り付けられ紫外線光を発する発光ダイオードにて構成された露光光源と、
前記マスクおよび前記ウェハのそれぞれを、前記露光ステージと前記マスクホルダとの間に別個に搬送する搬送装置と、を備え、
前記露光ステージは、前記ウェハを位置決め固定させるためのウェハ吸着手段を有し、
前記マスクホルダは、前記マスクを位置決め固定させるためのマスク吸着手段を有する
ことを特徴とする露光装置。 - 請求項1記載の露光装置において、
前記露光ステージを、前記マスクホルダに向けて進退可能な昇降機構を備えている
ことを特徴とする露光装置。 - 請求項1または2記載の露光装置において、
前記露光光源から発した紫外線光を集光させる集光レンズと、
この集光レンズにて集光された紫外線光の紫外線光照射面の照射分布を均一化させるインテグレータレンズと
を備えていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜3いずれかに記載の露光装置において、
前記ウェハ吸着手段は、前記露光ステージの前記マスクホルダに対向する側の一側面に前記ウェハを吸着固定させ、
前記マスク吸着手段は、前記マスクホルダの前記露光ステージに対向する側の一側面に前記マスクを吸着固定させる
ことを特徴とする露光装置。
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