JP6082434B2 - ガラス基板の製造方法及びガラス基板 - Google Patents
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Description
ガラス基板の熱処理工程を含むガラス基板の製造方法であって、
前記熱処理工程は、
歪点より60℃〜260℃低い温度である熱処理温度で前記ガラス基板全体を熱処理する工程と、
前記熱処理温度から、前記熱処理温度より50℃〜300℃低い中間温度になるまで、第1速度で前記ガラス基板全体を冷却する工程と、
前記熱処理工程後、前記中間温度から室温になるまで、前記第1速度より速い第2速度で前記ガラス基板全体を冷却する工程と、を含むことを特徴とするガラス基板の製造方法。
ガラス基板の熱処理工程を含むガラス基板の製造方法であって、
前記熱処理工程は、
室温から、歪点より60℃〜260℃低い温度である熱処理温度になるまで熱処理するとき、前記室温から、前記熱処理温度より50℃〜300℃低い中間温度になるまで、第3速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程と、
前記中間温度から前記熱処理温度になるまで、前記第3速度より遅い第4速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程と、
前記熱処理温度で前記ガラス基板全体を熱処理する工程と、を含む、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
前記熱処理工程は、
室温から、歪点より60℃〜260℃低い温度である熱処理温度になるまで熱処理するとき、前記室温から、前記熱処理温度より50℃〜300℃低い中間温度になるまで、第3速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程と、
前記中間温度から前記熱処理温度になるまで、前記第3速度より遅い第4速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程、を含み、
前記第1速度と前記第2速度との平均速度は、前記第3速度と前記第4速度との平均速度より遅い、形態1に記載のガラス基板の製造方法。
前記ガラス基板の歪点は655℃以上である、形態1から3のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
前記熱処理工程では、前記ガラス基板をシート体の間に挟んだ状態で厚さ方向に複数枚積層したガラス基板の積層体を熱処理する、形態1から4のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
フラットパネルディスプレイ用の単層のガラス基板の熱処理工程を含むガラス基板の製造方法であって、
前記熱処理工程は、
400℃〜600℃の範囲にある熱処理温度になるまで前記ガラス基板を加熱し、前記熱処理温度を維持する加熱維持工程と、
0.5℃/分以上10℃/分未満の第1降温速度で、前記熱処理温度から前記熱処理温度より50℃〜150℃低い温度である中間温度になるまで前記ガラス基板を冷却した後、10℃/分以上25℃/分未満の第2降温速度で前記ガラス基板を冷却する冷却工程と、を備える、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
前記ガラス基板には、IGZOから構成される半導体層が形成される、形態6に記載のガラス基板の製造方法。
前記冷却工程では、前記第2降温速度で前記ガラス基板を冷却した後、前記第1降温速度で室温になるまで前記ガラス基板をさらに冷却する、形態6又は7に記載のガラス基板の製造方法。
前記熱処理工程では、前記ガラス基板を炉内に水平に載置し、前記加熱工程を行う前に、前記炉内の雰囲気温度が前記熱処理温度になるまで加熱する、形態6から8のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
前記熱処理工程では、複数の前記ガラス基板を1枚ずつ熱処理する枚葉方式の熱処理でもよい。
400℃〜600℃の範囲にある熱処理温度で5分〜30分維持して熱処理した液晶ディスプレイ用のガラス基板であって、
前記ガラス基板を、500℃を第1評価温度、450℃を第2評価温度、550℃を第3評価温度として、それぞれの評価温度で30分維持して再び熱処理したときの熱収縮率を、それぞれ第1熱収縮率C1、第2熱収縮率C2、及び第3熱収縮率C3とした場合に、|C1−C2|/|C3−C1|<0.28
の関係式を満たす、ことを特徴とするガラス基板。
図1は、本実施形態のガラス板の製造方法の流れの一例を示すフローチャートである。製造されるガラス基板は、特に制限されないが、例えば縦寸法及び横寸法のそれぞれが500mm〜3500mmであることが好ましい。ガラス基板の厚さは、0.1〜1.1(mm)、より好ましくは0.75mm以下の極めて薄い矩形形状の板であることが好ましい。
まず、熔融されたガラスが、例えばフュージョン法あるいはフロート法等の公知の方法により、所定の厚さの帯状ガラスであるシートガラスが成形される(ステップS1)。
次に、成形されたシートガラスが所定の長さの素板であるガラス基板に採板される(ステップS2)。採板により得られたガラス基板は、ガラス基板を保護するシート体と交互に積層してガラス基板の積層体を作製する(ステップS3)。次に、このガラス基板の積層体に対して熱処理を行なう(ステップS4)。このステップS3の処理およびステップS4の処理が本実施形態の熱処理であるアニーリング工程である。アニーリング工程の詳細については後述する。
SiO2 55〜80モル%、
Al2O3 8〜20モル%、
B2O3 0〜12モル%、
RO 0〜17モル%(ROはMgO、CaO、SrO及びBaOの合量)。
ROのうち、MgOが0〜10モル%、CaOが0〜10モル%、SrOが0〜10%、BaOが0〜10%であることが好ましい。
また、上記ガラス組成のガラス基板におけるアルカリ金属酸化物の含有率は、0モル%以上0.4モル%以下であってもよい。
また、ガラス中で価数変動する金属の酸化物(酸化スズ、酸化鉄)を合計で0.05〜1.5モル%含み、As2O3、Sb2O3及びPbOを実質的に含まないということは必須ではなく任意である。
さらに、本実施形態で製造されるガラス基板は、高精細ディスプレイに用いるLTPS(Low-temperature poly silicon)・TFTディスプレイ用ガラス基板、あるいは、IGZO(Indium-Gallium-Zinc-Oxide)等の酸化物半導体・TFTディスプレイ用のガラス基板として特に好適である。
次に、第1実施形態のアニーリング工程について詳細に説明する。
まず、ステップS2で採板された複数のガラス基板11と複数のシート体12とを交互に1枚ずつ積層してガラス基板の積層体10を作製する(ステップS3)。本実施形態では、複数のガラス基板11を積層したガラス基板の積層体10を熱処理する場合を記載するが、ガラス基板11を1枚ずつ搬送しながら熱処理を行う枚葉方式の熱処理でもよい。また、ガラス基板11を積層せずに、複数のガラス基板11同士を所定の距離だけ離間させて、各ガラス基板11を熱処理する方法でもよい。
パレット20は、基台部21と、載置部22と、背面板23と、等を備える。
基台部21、載置部22および背面板23は、例えば鋼鉄等の金属からなり、溶接等により一体に形成されている。
基台21は略長方形の板状であり、端面にフォークリフトの爪を挿入するための開口21aが設けられている。
載置部22は基台21の上部に固定されており、載置部22の上部にガラス基板の積層体10が載せられる。ここで、載置部22の上面は完全に水平である必要はない。例えば、図2に示すように、ガラス基板11を斜めに立てかける場合、ガラス基板11の立てかけ角度に応じて載置部22の上面を傾斜させておいてもよい。
背面板23は略長方形の板状であり、基台21の上部において、載置部22の後端に載置部22とほぼ垂直に固定されている。背面板23は載置部22の上部に載せられる積層体10の積層方向の後端部を支持する。ここで、背面板23は完全に垂直である必要はない。例えば、図2に示すように、ガラス基板11を斜めに立てかける場合、ガラス基板11の立てかけ角度に応じて背面板23を傾斜させておいてもよい。
このようなシート体12の材料として、例えば、カーボングラファイト、アルミナ繊維、シリカ繊維、及び、多孔質セラミックスから選ばれた一種、又は、それらの組合せを選択することができる。
シート体12の厚さは、ガラス基板11の面内方向の熱伝導率を高めるために厚いことが好ましい。一方、積層体10の体積を低減するためにシート体12の厚さは薄いことが好ましい。このため、シート体12の厚さは、0.02mm〜2mm程度であることが好ましい。シート体12の面積は、ガラス基板11同士の密着を防ぐ役割から、ガラス基板11と同程度またはそれ以上であることが好ましい。
また、シート体12として、再生紙、パルプ紙を用いることもできる。
1対の断熱板15a、15bは、積層体10の積層方向の両端部に配置されている。図2では、断熱板15aが後端部に、断熱板15bが前端部に配置されている。断熱材15a、15bは、ガラス基板よりも熱伝導率が低い材料からなる。ガラス基板よりも熱伝導率が低い材料として、例えば、セラミック、アルミナ、シリカ、及び、ロックウールから選ばれた一種、又は、それらの組合せを選択することができる。
断熱板15a、15bの熱抵抗は、断熱性能を維持するために0.1℃/W以上であることが好ましい。一方、積層体10の端部に配置されるガラス基板11の加熱および冷却を妨げないように、断熱板15a、15bの熱抵抗は10℃/W以下であることが好ましい。断熱板15a、15bの厚さは、断熱性能を維持するために厚いことが好ましい。一方、断熱板15a、15bの厚さは、積層体10の体積を低減するために薄いことが好ましい。このため、断熱板15a、15bの厚さは、10〜50mm程度であることが好ましい。断熱板15a、15bの面積は、積層体の積層方向の外側から端部のガラス基板11への同士の密着を防ぐ役割から、ガラス基板11と同程度またはそれ以上であることが好ましい。
積層体10の積層方向の両端部を断熱板15a、15bで挟み込むと、積層体10の前方の端(前端部)に位置するガラス基板11は、雰囲気からこのガラス基板11の主表面を介してガラス基板11に流れる熱が抑えられ、ガラス基板11の積層方向の中央に位置するガラス基板11の主表面の面方向の外側から流れる熱伝導の形態と同様の形態にすることができる。つまり、積層されたすべてのガラス基板11において、ガラス基板11の縁を含む端部領域から熱が入り、端部領域に囲まれた中央領域に向かって熱が伝わる。この結果、積層された複数のガラス基板11を、厚さ方向で熱分布を等しくすることができる。
ステップS3の処理で作製された積層体10に対して、製造ラインから外れたオフラインで熱処理が行われる。この熱処理では、ガラス基板の積層体を回転させながら所定の温度の雰囲気下に所定時間放置し、ガラス基板の端部領域から端部領域により囲まれた中央領域にかけての熱分布を一様にすることで、端部領域から中央領域にかけての歪分布が一様になるように調整する。
熱処理の温度は、ガラス基板11の歪点−60℃の温度から歪点−260℃の温度の温度範囲であることが、熱収縮率を低減させ、ガラス基板の歪分布を一様とする点から好ましい。ここで、歪点とは、一般的なガラスの歪点を言い、1014.5ポワズの粘度に相当する温度である。熱処理の時間は、例えば0.5〜120時間である。熱処理における雰囲気中の温度の時間履歴は特に制限されず、雰囲気の温度が、歪点−560℃の温度から歪点の温度範囲にある時間が少なくとも0.5時間、好ましくは1時間以上あるとよい。0.5時間1時間未満であると、熱収縮率が十分に低下せず、120時間より長いと、熱収縮率は十分低減するが、ガラス基板11の生産効率が低下する。
なお、歪点はガラスの種類によって異なるが、ガラス基板11は、熱収縮を小さくするために、歪点が高いガラス組成を有することが好ましく、ガラス基板11のガラスの歪点は、600℃以上であることが好ましく、より好ましくは655℃以上であり、例えば661℃である。この場合、熱処理温度は、歪点(661℃)−(60℃〜260℃)=601℃〜401℃である。ガラス基板11の熱収縮を小さくして、高精細ディスプレイ用ガラス基板とするためには、上記の温度範囲に限定されず、例えば、熱処理時の最高温度、すなわち熱処理温度は250℃〜700℃でもよく、また300℃〜600℃でもよく、また350℃〜600℃でもよく、400℃〜550℃であってもよい。
ガラス基板の積層体が晒される高温の雰囲気は、特に制限されず、酸素含有率が5〜50%である雰囲気であってもよく、例えば空気からなる大気雰囲気であってもよい。
ここで、積層体10の積層方向の任意の位置に加熱板を配置し、複数のガラス基板11間の熱分布が一様となるように加熱板により積層体10を加熱してもよい。
さらに、シート体12としてガラス基板11よりも高い熱伝導率を有する材料を用いることで、ガラス基板11の面内方向の伝熱を促進し、ガラス基板11の端部領域と中央領域との熱分布を一様にすることができる。このため、ガラス基板11の面方向での熱収縮率のばらつきが抑制され、熱収縮率の差によって発生する歪の発生も抑制され、ガラス基板の歪分布を一様にすることができる。
また、積層体10の積層方向における厚さに応じて、昇温速度、降温速度を変更することもできる。例えば、積層体10の積層方向における厚さが50cm以下の場合には、積層方向に熱が早く伝わるため、昇温速度S1=90℃/時間〜300℃/時間、昇温速度S2=30℃/時間〜90℃/時間、最高温度Tm3を維持する時間t3−t2=0.5時間〜3時間、降温速度S4=−30℃/時間〜−90℃/時間、降温速度S5=−90℃/時間〜−300℃/時間とすることもできる。積層体10の積層方向における厚さが薄いほど、昇温速度、降温速度を速め、積層方向に積層したガラス基板11が1枚、つまり、枚葉方式の場合には、上述した昇温速度、降温速度で熱処理することもできる。積層体10の積層方向における厚さが薄くなっても、昇温速度、降温速度の大小関係を変えずに、熱処理することができる。
次に、第2実施形態のアニーリング工程について詳細に説明する。第2実施形態は、ガラス基板を1枚ずつ熱処理する枚葉方式の熱処理の形態である。第2実施形態におけるガラス基板の製造方法も、図1に示す流れで行なわれる。この場合、ステップS3のガラス基板の積載では、後述する図6(a)に示すガラス基板を支持する支持部材に支持されるようにガラス基板11は載置される。
なお、ガラス基板11を支持する支持部材112の数、各支持部材112の間隔、ガラス基板11を支持する位置は、任意である。また、ガラス基板11を熱処理すると、ガラス基板11が膨張して変形するため、支持部材112は柔軟性を有することが好ましい。
まず、発熱装置141を制御して、炉140内の雰囲気温度が、熱処理温度になるよう処理する。ここで、熱処理温度とは、高精細ディスプレイに用いるLTPS、IGZOから構成される半導体層をガラス基板11に形成する形成温度であり、具体的には400℃〜600℃の範囲の温度である。高精細ディスプレイを製造する際のガラス基板11の加工処理温度は、ガラスの歪点(1014.5ポワズの粘度に相当する温度、例えば661℃)より低い温度である。この加工処理温度より低い温度領域において、ガラス基板の熱収縮率が大きいと、ガラス基板は高精細ディスプレイを製造するためのガラス基板として適さない。このため、高精細ディスプレイを製造するガラス基板の加工処理温度と略等しい温度領域である400℃〜600℃の範囲の熱処理温度において、ガラス基板11を熱処理し、熱処理温度以下の温度領域において、熱収縮率が0〜15ppm、好ましくは0〜10ppm、より好ましくは0〜6ppm、さらに好ましくは0〜3ppmとなるようにする。
なお、ガラス基板11の温度と炉140内の雰囲気温度との差があり、ガラス基板11を炉140内に載置した際にガラス基板11が急激に熱変形(熱膨張)する場合には、ガラス基板11を予め加熱してから、炉140内に載置することもできる。ガラス基板11を予め加熱することにより、ガラス基板11が急激に熱変形することを抑制でき、ガラス基板11に発生する歪、反り、窪み等を低減することができる。また、ガラス基板11と支持部材112とがこすれることにより、ガラス基板11に発生する傷を抑制することもできる。
加熱工程、維持工程、各冷却工程における速度、時間の範囲を以下に示す。
(1)加熱工程:t1−t0=5分〜20分、Tm4−Tm1=400℃〜600℃、昇温速度S1=(Tm4−Tm1)/(t1−t0)=20℃/分〜120℃/分、
(2)維持工程:t2−t1=5分〜120分、Tm4−Tm4=0、速度S2=(Tm4−Tm4)/(t2−t1)=0℃/分、
(3)第1冷却工程:t3−t2=15分〜100分、Tm4−Tm3=50℃〜150℃、降温速度S3(第1降温速度)=(Tm4−Tm3)/(t3−t2)=0.5℃/分〜10℃/分
(4)第2冷却工程:t4−t3=10分〜15分、Tm3−Tm2=150℃〜250℃、降温速度S4(第2降温速度)は、(Tm3−Tm2)/(t4−t3)=10℃/分〜25℃/分、
(5)第3冷却工程:t5−t4=15分〜100分、Tm2−Tm1=50℃〜150℃、降温速度S5(第1降温速度)=(Tm2−Tm1)/(t5−t4)=0.5℃/分〜10℃/分。
ここで、室温は、25℃に限定されず、例えば、0℃〜30℃である。また、熱処理温度は、500℃に限定されず、400℃〜600℃の任意の温度であり、第1中間温度は、400℃に限定されず、熱処理温度−(50℃〜150℃)の任意の温度である。第2中間温度は、150℃〜250℃の範囲の温度であり、200℃と固定してもよい。また、昇温速度・降温速度は、ガラス基板11全体を昇温・降温する平均速度である。
なお、歪点はガラスの種類によって異なるが、ガラス基板11は、熱収縮を小さくするために、歪点が高いガラス組成を有することが好ましく、ガラス基板11のガラスの歪点は、600℃以上であることが好ましく、より好ましくは655℃以上であり、例えば661℃である。
なお、第3冷却工程は、ガラス基板11の熱収縮に対する影響が小さいため、第2冷却工程の降温速度S4でガラス基板11を冷却することもできる。第3冷却工程において、降温速度S4で冷却することにより、ガラス基板11の生産効率を高めることができる。
熱処理が完了したガラス基板11の評価では、熱処理炉に投入して再び熱処理を行う。評価する温度は、(1)500℃である第1評価温度、(2)第1評価温度より50℃低い第2評価温度(450℃)、(3)第1評価温度より50℃高い第3評価温度(550℃)、である。オフラインアニーリング後における熱収縮率は、場合によっては、高精細ディスプレイに用いるLTPS、IGZOから構成される半導体層をガラス基板11に形成するのに適さない場合がある。特に、高精細ディスプレイを製造するガラス基板11の半導体層形成時の温度(この温度を加工処理温度という)と略等しい温度領域である400℃〜600℃の範囲近傍におけるガラス基板11の熱収縮率を抑制することは重要である。このため、高精細ディスプレイを製造するガラス基板11における半導体層形成時の温度と等しい温度領域において、ガラス基板11の熱収縮率を評価する。
関係式:|C1−C2|/|C3−C1|<0.28
ただし、C1=第1評価温度で30分維持したときの第1熱収縮率、C2=第2評価温度で30分維持したときの第2熱収縮率、C3=第3評価温度で30分維持したときの第3熱収縮率。
第1実施形態の効果を確認するために、下記ガラス組成を有するガラス基板をフュージョン法の1つであるオーバーフローダウンドロー法により複数作製した。ガラス基板の歪点は660℃であった。
SiO2 67.0モル%、
Al2O3 10.6モル%、
B2O3 11.0モル%、
RO 11.4モル%(ROはMgO、CaO、SrO及びBaOの合量)。
このガラス基板に対し、第1実施形態の方法で熱処理(アニーリング)を行った。実施例では、ガラス基板を積層し、300℃から熱処理温度の最高温度500℃までの温度領域では、300℃から室温までの温度領域に比べて、昇温速度、降温速度を遅くして、昇温時間、降温時間が長くなるよう熱処理を行なった。比較例では、ガラス基板の積層体を形成し、温度領域によって、昇温速度、降温速度を変化させずに、すなわち、昇温速度及び降温速度のそれぞれを一定の速度に固定して熱処理を行った(従来例)。
熱処理前に所定のサイズの長方形にガラス基板を切りだし、長辺両端部にケガキ線を入れ、短辺中央部で半分に切断し、2つのガラスサンプルを得る。このうちの一方のガラスサンプルを、熱処理(昇温速度が10℃/分、450℃で1時間放置)する。熱処理をしない他方のガラスサンプルの長さを計測する。さらに、熱処理したガラスサンプルと未処理のガラスサンプルとをつき合わせてケガキ線のずれ量を、レーザ顕微鏡等で測定して、ガラスサンプルの長さの差分を求めることでサンプルの熱収縮量を求めることができる。この熱収縮量である差分と、熱処理前のガラスサンプルの長さを用いて、以下の式により熱収縮率が求められる。このガラスサンプルの熱収縮率をガラス基板の熱収縮率とした。
熱収縮率(ppm)=(差分)/(熱処理前のガラスサンプルの長さ)×106
アニーリング後のガラス基板について熱収縮率を調べたところ、実施例では、積層方向の端部のガラス基板の熱収縮率は2ppm、積層方向の中央部のガラス基板の熱収縮率は3ppmであった。一方、従来例では、積層方向の端部のガラス基板の熱収縮率は10ppm、積層方向の中央部のガラス基板の熱収縮率は18ppmであった。
また、実施例では、ガラス基の縁領域と中央領域との熱履歴の差が低減されて、縁領域の熱収縮率は2ppm、中央領域の熱収縮率は3ppmであった。一方、従来例では、縁領域の熱収縮率は11ppm、中央領域の熱収縮率は18ppmであった。
このように、温度領域によって昇温速度、降温速度を変化させることにより、熱処理工程において複数のガラス基板間の熱分布を均等に調整することで、熱処理後のガラス基板の熱収縮率のばらつきを低減することができる。
第2実施形態の効果を確認するために、第1実施形態の実験例と同じガラス組成を有するガラス基板をオーバダウンドロー法により複数作製した。ガラス基板の板厚は、0.5mmであり、ガラス基板の歪点は660℃であった。
このガラス基板に対し、第2の実施形態による熱処理の方法で熱処理を行った。実施例では、ガラス基板一枚を支持部材上に載置し、第1中間温度から第2中間温度までの温度領域に比べて、熱処理温度500℃から第1中間温度までの温度領域の降温速度が遅くなるよう熱処理を行なった。比較例では、実施例と同様に、ガラス基板一枚を支持部材上に載置し、第1中間温度から第2中間温度までの温度領域に比べて、熱処理温度500℃から第1中間温度までの温度領域の降温速度が速くなるように熱処理を行った。
熱収縮率の測定は、第1実施形態における熱収縮率の測定と同じ方法で行なった。熱処理前のガラスサンプルの熱収縮率は、40〜50ppmであった。
11 ガラス基板
12 シート体
15a、15b 断熱板
20 パレット
21 基台部
22 載置部
23 背面板
40,140 炉
41,141 発熱装置
112 支持部材
Claims (10)
- ガラス基板の熱処理工程を含むガラス基板の製造方法であって、
前記熱処理工程は、
歪点より60℃〜260℃低い温度である熱処理温度で前記ガラス基板全体を熱処理する工程と、
前記熱処理温度から、前記熱処理温度より50℃〜300℃低い中間温度になるまで、第1速度で前記ガラス基板全体を冷却する工程と、
前記熱処理工程後、前記中間温度から室温になるまで、前記第1速度より速い第2速度で前記ガラス基板全体を冷却する工程と、を含むことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - ガラス基板の熱処理工程を含むガラス基板の製造方法であって、
前記熱処理工程は、
室温から、歪点より60℃〜260℃低い温度である熱処理温度になるまで熱処理するとき、前記室温から、前記熱処理温度より50℃〜300℃低い中間温度になるまで、第3速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程と、
前記中間温度から前記熱処理温度になるまで、前記第3速度より遅い第4速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程と、
前記熱処理温度で前記ガラス基板全体を熱処理する工程と、を含む、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記熱処理工程は、
室温から、歪点より60℃〜260℃低い温度である熱処理温度になるまで熱処理するとき、前記室温から、前記熱処理温度より50℃〜300℃低い中間温度になるまで、第3速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程と、
前記中間温度から前記熱処理温度になるまで、前記第3速度より遅い第4速度で前記ガラス基板全体を加熱する工程、を含み、 前記第1速度と前記第2速度との平均速度は、前記第3速度と前記第4速度との平均速度より遅い、請求項1に記載のガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス基板の歪点は655℃以上である、請求項1から3のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記熱処理工程では、前記ガラス基板をシート体の間に挟んだ状態で厚さ方向に複数枚積層したガラス基板の積層体を熱処理する、請求項1から4のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
- フラットパネルディスプレイ用の単層のガラス基板の熱処理工程を含むガラス基板の製造方法であって、
前記熱処理工程は、
400℃〜600℃の範囲にある熱処理温度になるまで前記ガラス基板を加熱し、前記熱処理温度を維持する加熱維持工程と、
0.5℃/分以上10℃/分未満の第1降温速度で、前記熱処理温度から前記熱処理温度より50℃〜150℃低い温度である中間温度になるまで前記ガラス基板を冷却した後、10℃/分以上25℃/分未満の第2降温速度で前記ガラス基板を冷却する冷却工程と、を備える、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス基板には、IGZOから構成される半導体層が形成される、請求項6に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記冷却工程では、前記第2降温速度で前記ガラス基板を冷却した後、前記第1降温速度で室温になるまで前記ガラス基板をさらに冷却する、請求項6又は7に記載のガラス基板の製造方法。
- 前記熱処理工程では、前記ガラス基板を炉内に水平に載置し、前記加熱工程を行う前に、前記炉内の雰囲気温度が前記熱処理温度になるまで加熱する、請求項6から8のいずれか1項に記載のガラス基板の製造方法。
- 昇温速度が10℃/分で、450℃で1時間放置する測定条件における熱収縮率が11ppm以下である液晶ディスプレイ用のガラス基板であって、
前記ガラス基板を、500℃を第1評価温度、450℃を第2評価温度、550℃を第3評価温度として、それぞれの評価温度で30分維持して再び熱処理したときの熱収縮率を、それぞれ第1熱収縮率C1、第2熱収縮率C2、及び第3熱収縮率C3とした場合に、|C1−C2|/|C3−C1|<0.28
の関係式を満たす、ことを特徴とするガラス基板。
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