JP6068971B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
該第二流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、該流体供給パイプは、該第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと該第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成される。
したがって、被加工物のサイズに合わせて洗浄水の噴出幅を変更することが可能となるため、小さいサイズの被加工物の外周側にまで過剰に洗浄水9を供給するおそれがなくなり、洗浄水の供給量を低減することが可能となるとともに、大きいサイズの被加工物に対しては必要な範囲で十分な洗浄水を噴出することができる。
2:装置ベース 2a:上面 3:カセット 4:搬入出手段 5:仮置き領域
6,6a:保持手段 7:クランプ部 8:搬送手段 9:洗浄水
10:移動板 11:切削送り手段 12:切削手段 13:スピンドル
14:切削ブレード
20:洗浄水供給手段(流体供給手段)
21:洗浄水供給パイプ 22:第一流体供給部
23:第二流体供給部 24:仕切り部 25:第一の流路 26:第二の流路
27:第一流体供給孔 28:第二流体供給孔 29:ツマミ部
30:固定接続部 31:流体供給路 32:バルブ 33:洗浄水供給源
34:支持片 35:貫通孔
40:第一の向き 41:第二の向き
50:乾燥エアー供給手段(流体供給手段)
51:乾燥エアー供給パイプ 52:第一流体供給部 53:第二流体供給部
54:仕切り部 55:第一の流路 56:第二の流路
57:第一流体供給孔 58:第二流体供給孔 59:乾燥エアー
60:洗浄水供給手段 61:流体供給パイプ 62:第一流体供給孔
63:第二流体供給孔 64:流路 65:規制カバー 66:ツマミ部
W1:第一被加工物 W2:第二被加工物 Wc:外周部 D:デバイス
P1:搬入出領域
P2:切削領域
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と該保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段と
を備えた切削装置であって、
該保持手段を切削送り方向に移動させる切削送り手段と、
該切削送り方向における該保持手段の移動経路に交差して配設され、該保持手段に保持された被加工物に流体を供給する流体供給手段と、を備え、
該流体供給手段は、第一のサイズを有する第一被加工物に対応する第一流体供給部と、
該第一流体供給部と切り替え可能に配設され、第二のサイズを有する第二被加工物に対応する第二流体供給部と、を有し、
該流体供給手段は、流体供給源に接続され該移動経路に交差した交差方向に伸長し、該交差方向を軸に回転可能に配設された流体供給パイプを有し、
該第一流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第一流体供給孔を含み、
該第二流体供給部は、該流体供給パイプに形成され該交差方向に整列した複数の第二流体供給孔を含み、
該流体供給パイプは、該第一流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第二流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第一の向きと該第二流体供給孔から被加工物に流体を噴出するとともに該第一流体供給孔からの被加工物への流体噴出を規制する第二の向きとに選択的に向くように構成される切削装置。
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