JP5643019B2 - チャックテーブル - Google Patents
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Description
また、ウエーハを薄く研削すると、ウエーハの外周に形成された面取り部がナイフエッジになり危険であるとともに欠けが生じることから、ウエーハを研削する前に外周部を1〜2mm除去する技術が提案されているが、この場合にも同様の問題が生ずる。
多孔性部材によって円盤状に形成された主吸引保持部材と該吸引保持部材の外周に隔壁を介して配設されウエーハの大きさの誤差を調整するための環状の補助吸引保持部材とからなる吸着チャックと、該吸着チャックを嵌合する円形状の嵌合凹部を上面に備えた枠体とを具備し、
該枠体の該嵌合凹部を形成する底壁には、該主吸引保持部材に対応する位置に主吸引通路が設けられているとともに、該環状の補助吸引保持部材に対応する位置に開口するとともに下面に開口する補助吸引通路が設けられており、
該補助吸引通路の下面側は、盲栓が着脱可能に装着できるように構成されている、
ことを特徴とするチャックテーブルが提供される。
図示の実施形態における研削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。装置ハウジング2の図1において右上端には、静止支持板21が立設されている。この静止支持板21の内側面には、上下方向に延びる2対の案内レール22、22および23、23が設けられている。一方の案内レール22、22には粗研削手段としての粗研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されており、他方の案内レール23、23には仕上げ研削手段としての仕上げ研削ユニット4が上下方向に移動可能に装着されている。
図示の実施形態におけるチャックテーブル機構6は、図2および図3に示すように支持基台61と、該支持基台61の上面に配設されるチャックテーブル62とからなっている。支持基台61は、ステンレス鋼等の金属材によって形成されており、図3に示すように上面に負圧室となる円形状の凹部611が形成され、該円形状の凹部611を囲繞する環状支持部612を備えている。上記負圧室となる円形状の凹部611を形成する底壁613の中央部には吸引通路614が設けられており、該吸引通路614が図示しない吸引手段に接続されている。従って、図示しない吸引手段が作動することにより、吸引通路614を介して負圧室となる円形状の凹部611に負圧が作用せしめられる。また、円形状の凹部611を形成する底壁613には、吸引通路612の周りに上記環状支持部612の上面と同一高さを有する4個の補助支持部615が設けられている。なお、上記環状支持部612には、4個の雌ねじ穴616が形成されている。
カセット7に収容された研削加工前の半導体ウエーハWを研削するに際しては、カセット7に収容された半導体ウエーハWの大きさを確認し、半導体ウエーハWの大きさに対応してチャックテーブル62を構成する吸着チャック63における吸引領域を設定し、上述したようにチャックテーブル62を構成する枠体64に形成された補助吸引通路645a、645b、645cの連通を遮断する位置を選定して、選定した補助吸引通路に盲栓となるボルト65を装着する。なお、カセット7に収容された半導体ウエーハWのロッドは、直径が同一に形成されている。
3:粗研削ユニット
33:粗研削ホイール
36:研削送り手段
4:仕上げ研削ユニット
43:仕上げ研削ホイール
46:研削送り手段
5:ターンテーブル
6:チャックテーブル機構
61:支持基
62:チャックテーブル
63:吸着チャック
631:主吸引保持部材
632:補助吸引保持部材
64:チャックテーブルの枠体
645a、645b、645c:補助吸引通路
65:盲栓となるボルト
7:第1のカセット
8:第2のカセット
9:中心合わせ手段
11:スピンナー洗浄手段
12:被加工物搬送手段
13:被加工物搬入手段
14:被加工物搬出手段
W:半導体ウエーハ
T:保護テープ
Claims (2)
- ウエーハを保持するチャックテーブルであって、
多孔性部材によって円盤状に形成された主吸引保持部材と該吸引保持部材の外周に隔壁を介して配設されウエーハの大きさの誤差を調整するための環状の補助吸引保持部材とからなる吸着チャックと、該吸着チャックを嵌合する円形状の嵌合凹部を上面に備えた枠体とを具備し、
該枠体の該嵌合凹部を形成する底壁には、該主吸引保持部材に対応する位置に主吸引通路が設けられているとともに、該環状の補助吸引保持部材に対応する位置に開口するとともに下面に開口する補助吸引通路が設けられており、
該補助吸引通路の下面側は、盲栓が着脱可能に装着できるように構成されている、
ことを特徴とするチャックテーブル。 - 該環状の補助吸引保持部材は隔壁を介して複数配設されており、該補助吸引通路は複数の環状の補助吸引保持部材にそれぞれ対応して設けられている、請求項1記載のチャックテーブル。
Priority Applications (1)
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JP2010170972A JP5643019B2 (ja) | 2010-07-29 | 2010-07-29 | チャックテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010170972A JP5643019B2 (ja) | 2010-07-29 | 2010-07-29 | チャックテーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012033640A JP2012033640A (ja) | 2012-02-16 |
JP5643019B2 true JP5643019B2 (ja) | 2014-12-17 |
Family
ID=45846725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010170972A Active JP5643019B2 (ja) | 2010-07-29 | 2010-07-29 | チャックテーブル |
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-
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- 2010-07-29 JP JP2010170972A patent/JP5643019B2/ja active Active
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