JP6062179B2

JP6062179B2 - センタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプ

Info

Publication number: JP6062179B2
Application number: JP2012171412A
Authority: JP
Inventors: 石井　英樹; 英樹石井; 剛高道
Original assignee: Techno Takatsuki Co Ltd
Current assignee: Techno Takatsuki Co Ltd
Priority date: 2012-08-01
Filing date: 2012-08-01
Publication date: 2017-01-18
Anticipated expiration: 2032-08-01
Also published as: JP2014031733A; US20140037475A1; US9488166B2

Description

本発明は、家庭用洗浄槽の曝気用、養魚用水槽の酸素補給用、泡風呂のエア噴気用、その他応用機器などに利用される、ダイヤフラムを用いた電磁駆動型流体ポンプに関する。さらに詳しくは、ダイヤフラムが、ダイヤフラムを中心部で支持するセンタープレートとともにネジによって振動子に固定される電磁駆動型流体ポンプであって、組み立てる際に、センタープレートとダイヤフラムとが偏心した状態になっても、ネジを締めることによって、センタープレートがセンタリングされながら締め付けられる構造に形成されたセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプに関する。

ダイヤフラムを用いた電磁駆動型流体ポンプは、磁石が固定された振動子の両端部に、たとえばゴム製のダイヤフラムが固定され、ダイヤフラムの外周囲はフレームおよびポンプケーシングに固定されると共に、振動子の磁石と対向するように電磁石が設けられ、その電磁石の周囲はケーシングによって被覆されている。このダイヤフラムの外側は、ポンプケーシングで流路が形成され、電磁石に印加される交流電源の極性の変化に伴う電磁石の極性変化に合せて振動子が振動することにより、ダイヤフラムが振動し、液体や気体などの流体の吸入および吐出を繰り返し行う。

振動子とダイヤフラムとの固定は、たとえば図１０に示されるような構造になっている。すなわち、永久磁石１１０が固定された振動子１０２の支持部材１０３の端部に、取付けネジ部１０７が固着されている。ゴム部材などからなるダイヤフラム１０４は、その中心部に貫通孔１０８が設けられており、その貫通孔１０８内に嵌合するような突出部が形成された内側センタープレート１０５と外側センタープレート１０６とで挟持されている。この内側および外側センタープレート１０５、１０６の中心部に設けられた貫通孔１０９内に、前述の振動子１０２の取付けネジ部１０７を挿入し、ワッシャ１１２を介して外側からナット１１３で締め付けることにより固定されている（たとえば、特許文献１参照）。この内側センタープレート１０５および外側センタープレート１０６は、金属板またはプラスチックからなり、ワッシャ１１２および支持部材１０３の端部よりも広い面でダイヤフラム１０４を挟持して振動子１０２に固定されており、ダイヤフラム１０４が、ワッシャ１１２の周縁部または支持部材１０３の端部の周縁部に、振動によって直接押し付けられることによるダイヤフラム１０４の損耗を防いでいる。

また、小型の電磁駆動型流体ポンプには、たとえば図１１（ａ）に示されるような簡略化した構造が用いられている。この構造では、支持部材１０３の端部１１４がセンタープレート１０６と同じような大きさおよび形状に形成されており、また、端部１１４には、取付けネジ部１０７に代わって雌ネジ孔１１５が設けられている。そして、ダイヤフラム１０４、センタープレート１０６が順に配されて、ネジ１１６が、センタープレート１０６側から雌ネジ孔１１５にねじ込まれることにより、ダイヤフラム１０４が、センタープレート１０６および支持部材１０３の端部１１４により挟み付けて固定されている。

特開２００３−３５２６６号公報

図１１（ａ）に示される例では、ダイヤフラム１０４の中心部に突起部１１７が、センタープレート１０６の中心部に、突起部１１７と嵌り合う貫通孔１０９が、それぞれ設けられており、これらを嵌め合わせることによって、ネジ１１６をねじ込む作業の途中で、ダイヤフラム１０４とセンタープレート１０６とが偏心した状態となることを防ぎ、作業性が低下しないようにしている。

小型のポンプでは、全ての部品が小型化、薄型化し、センタープレートも薄くすることが求められ、センタープレートの厚さが薄くなると貫通孔１０９の軸方向の長さが短くなり、これに応じて突起部１１７の高さも低くすることになるため、この両者の嵌合しろが浅くなり、ネジ１１６のねじ込み作業の途中で嵌合がはずれて、センタープレート１０６とダイヤフラム１０４とが偏心した状態となることが起り易くなる。そのような場合は、再度、突起部１１７と貫通孔１０９とを嵌合させるために作業性が低下するという問題がある。突起部１１７と貫通孔１０９との嵌合が外れないように、ねじ込み作業において何らかの治具を用いることも考えられるが、作業が煩雑になるおそれがある。

一方で、ねじ込み作業中に突起部１１７と貫通孔１０９との嵌合が外れてセンタープレート１０６とダイヤフラム１０４とが偏心状態となっても、作業者が気付かないことも考えられ、そのような場合は、図１１（ｂ）に示されるように、センタープレート１０６が偏心した状態のまま組み付けられてしまう。このように偏心した状態でセンタープレート１０６が支持部材１０３に固定されると、ダイヤフラム１０４の本来の振動動作が得られないこととなり、ポンプの性能の低下や、ダイヤフラムの早期劣化によるポンプの耐久性の低下を招くという問題がある。特に小型ポンプでは、プラスチック製などの薄いセンタープレートを用いるため、偏心していることにより、ねじ込みによって偏った荷重を受けると、センタープレートが破損するという問題もある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、センタープレートを使用してダイヤフラムを固定する場合に、センタープレートがダイヤフラムに対して偏心した位置にずれても、ネジを締めることによって同心位置になるように調整される、センタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプを提供することを目的とする。

本発明のセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプは、支持部に永久磁石が固定されると共に、該支持部の中心部に軸芯を有する振動子と、該振動子の少なくとも一端側に設けられる円盤状のダイヤフラムと、前記永久磁石と対向するように設けられる電磁石と、前記ダイヤフラムを前記振動子に固定するネジ部材と、を含んでいる電磁駆動型流体ポンプであって、前記ダイヤフラムが、前記軸芯の一端側に設けられるストッパ部に当て付けて前記軸芯に挿入されると共に、前記軸芯の軸方向にねじ込まれるネジ部材により固定される構造であり、前記ネジ部材は、該ネジ部材と一体的に形成されたワッシャ部を有し、前記ダイヤフラムは、前記軸芯に挿入されるセンタープレートの中心部に設けられる貫通孔と嵌め合うように形成された外形が円形状の突起部を有し、前記センタープレートは前記ダイヤフラムの前記突起部の周囲と前記ワッシャ部との間に介在しており、かつ、前記ダイヤフラムと反対側の面の前記貫通孔の外周側に前記貫通孔と同心でリング状に形成されたリブを有しており、該ワッシャ部の大きさが、前記センタープレートが前記ダイヤフラムの前記突起部から外れて最大に偏心した場合に、前記リブの一部を押さえ付けると共に、前記リブの底面の内径とほぼ同じ径になるように形成されている。

ここにネジ部材と一体的に形成されたワッシャ部とは、最初からネジ部材と一体として形成されたワッシャ部、ネジ部材とは別にワッシャとして作製された後にネジ部材と接着されて一体化されたワッシャ部、および、ワッシャとして認識できる部分を備えていなくてもワッシャを兼ね得るほどの大きさに形成されたネジ頭部を含む意味である。

前記リブの中心軸側の壁面が、該リブの根元部から頂部へ向かって該リブの直径が大きくなるように断面形状がテーパ状または湾曲状に形成されていることにより、センタープレートを、確実にダイヤフラムと同心位置に合わせることができる。

前記センタープレートの周縁部が前記ダイヤフラム側と反対側に湾曲した形状に形成されていることにより、ダイヤフラムをセンタープレートの周縁部に押し付ける力が和らげられ、ダイヤフラムの寿命を延ばすことができる。

前記センタープレートが樹脂で形成されることにより、型成形など低コストの方法でセンタープレートを作製できる。

本発明によれば、センタープレートにリング状のリブが設けられると共に、ネジ部材がワッシャ部と一体に形成されているため、ダイヤフラムに対してセンタープレートが偏心した位置にずれていても、ネジ部材をねじ込むと、ワッシャ部がリブを部分的に押し込み、偏心状態を矯正する方向に作用させることができ、ダイヤフラムと同心となるようにセンタープレートを移動させることができる。すなわち、センタープレートとダイヤフラムとがずれていると、ネジ部材をねじ込むことにより、ワッシャ部がリブの頂部を押さえながらネジ部材と共に回転するため、リブの頂部には、下方に押し込む力と共に外方に押し出す力が加えられることになり、センタープレートのずれを修正する方向にセンタープレートが移動する。その結果、センタープレートおよびダイヤフラムをネジ部材で固定するときに、ダイヤフラムの突起部とセンタープレートの貫通孔との嵌合が外れて偏心状態になっていても、そのままネジ部材をねじ込むだけで、特別な治具を使わずに、センタープレートをセンタリングすることができ、ダイヤフラムの突起部とセンタープレートの貫通孔とを再度嵌め合わせることなく、自然にセンタリングして、作業性を向上させることができる。

さらに、センタープレートとダイヤフラムとが偏心した状態で固定されることを防ぐことができるため、ダイヤフラムによる本来の動作が確実に得られることとなり、ポンプの性能の低下を防ぐことができるとともに、ダイヤフラムの早期劣化を防いでポンプの耐久性の低下を防ぐことができ、さらに、薄いセンタープレートであっても、ねじ込みの作業において偏った荷重が掛けられることによる破損を防ぐことができる。

本発明の電磁駆動型流体ポンプの一実施形態の断面説明図である。図１の実施形態のセンタープレートと振動子との取付け部分の断面説明図である。本発明のダイヤフラムの説明図である。本発明のセンタープレートの説明図である。本発明のセンタープレートのセンタリング動作の初期状態を説明する図である。図５に示すセンタープレートのリブの断面を拡大した説明図である。本発明のセンタープレートのセンタリング動作の途中の状態を説明する図である。図７に示すセンタープレートのリブの断面を拡大した説明図である。図１に示す電磁振動型流体ポンプの電磁石と永久磁石の部分の模式説明図である。従来の電磁駆動型流体ポンプの振動子とセンタープレートとの取付け部分の一例を示す断面説明図である。従来の電磁駆動型流体ポンプの振動子とセンタープレートとの取り付け部分の他の例を示す断面説明図である。

つぎに、本発明のセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁振動型流体ポンプについて、図面を参照しながら説明する。図１および図２に示されるように、本発明によるセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁振動型流体ポンプ１は、支持部３に永久磁石１１が固定されると共に、この支持部３の中心部に軸芯２１を有する振動子２と、この振動子２の両端にそれぞれ設けられる円盤状のダイヤフラム４と、永久磁石１１と対向するように設けられる電磁石１２とを含んでおり、ダイヤフラム４が、軸芯２１の両端側に設けられるストッパ部２２に当て付けて軸芯２１に挿入されると共に、この軸芯２１に挿入されるセンタープレート６を介して軸芯２１の軸方向にねじ込まれるネジ部材９により固定される構造になっている。本発明では、ダイヤフラム４は、このダイヤフラム４のセンタープレート６側に、このセンタープレート６の中心部に設けられる貫通孔７と嵌め合うように形成された外形が円形状の突起部５を有し、センタープレート６は、貫通孔７の外周側で、ダイヤフラム４と反対側の面に貫通孔７と同心でリング状に形成されたリブ８を有し、ネジ部材９は、このネジ部材９と一体的に形成されたワッシャ部１０を有し、このワッシャ部１０の大きさが、センタープレート６がダイヤフラム４の突起部５から外れて最大に偏心した場合に、リブ８の一部を押さえ付けると共に、このリブ８の底面の内径とほぼ同じ径になるように形成されている。

振動子２は、図１および図２に示されるように、長方形の枠状に形成され、枠内に２つの永久磁石１１が両短辺に近接して固定された支持部３、この支持部３の両短辺の中央部の間を永久磁石１１が固定された部分を除いて貫くと共に、それぞれの短辺から外側に延びるように設けられた円柱状の軸芯２１、および、この軸芯２１の両端部に形成された軸芯２１と同心の円盤状のストッパ部２２から構成されている。

ストッパ部２２の軸芯２１と反対側の面には、ネジ部材９と螺合する雌ネジ穴２３がストッパ部２２の中心部に設けられており、この雌ネジ穴２３の周囲に、後述するダイヤフラム４の貫通孔４１と嵌合する円筒状の***部２４、この***部２４の周囲に、後述するダイヤフラム４のリング状凸部４２および２つの丸棒状突出部４３とそれぞれ嵌合するリング状凹部２５および２つの丸穴部２６を備えている。支持部３、軸芯２１、およびストッパ部２２は、非磁性材料で形成されていることが好ましく、例えば、ＰＡ（ポリアミド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）などのプラスチック材料で形成することができる。

ダイヤフラム４は、図３（ａ）にセンタープレート６側の面が、図３（ｂ）に振動子２側の面が、それぞれ示されるように、円形状の外形に形成され、中心部にストッパ部２２の***部２４が挿通される貫通孔４１、および、その周囲のセンタープレート６側の面に、センタープレート６の貫通孔７と嵌合する平面形状が円形の突起部５が設けられており、振動子２側の面の貫通孔４１の周囲には、ストッパ部２２のリング状凹部に嵌合するリング状凸部４２、およびストッパ部２２の２つの丸穴部２６に挿入され、ストッパ部２２との回転方向の位置ずれを防止する２つの丸棒状突出部４３を備え、周縁部には、ケーシング１５（図１参照）に固定されるフランジ部４４を備えている。ダイヤフラム４の材料は、振動子２の往復動作に応じて、流体が収容された室の容積を変化させることができ、後述するポンプ動作を実現できる柔軟性、およびケーシング１５との界面におけるシール性を備えていれば特に限定されるものではなく、例えば、ポリエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）やフッ素ゴムなどで作製することができる。

センタープレート６は、図４（ａ）にダイヤフラム４側の反対側の面が、図４（ｂ）に周縁部の拡大した断面が、それぞれ示されるように、円形状の外形をなし、外形と同心でダイヤフラム４の突起部５と嵌合する貫通孔７が設けられ、ダイヤフラム４側の反対側の面に貫通孔７と同心のリング状に突出したリブ８が、貫通孔７の外周側に形成されている。センタープレート６の周縁部６１は、ダイヤフラム４側の反対側に湾曲させた形状に形成されており、湾曲させた部分の先端部６２が、リブ８とほぼ同じ高さになるように形成されている。リング形状のリブ８は、底部から頂部に向かってリングの内径が大きくなるように壁面８１の断面形状がテーパ状に形成されており、また、頂部のコーナー部８２は、内径側、外径側ともに丸みを帯びた形状に形成されている。また、本実施形態では、リブ８は、センタープレート６とダイヤフラム４とが最大に偏心したときに、リブ８の中でダイヤフラム４の中心に最も近接している部分が、ダイヤフラム４の突起部５の周縁部５１（図３参照）と、径方向においてほぼ同じ位置となるような大きさで形成されており、さらに、センタープレート６は、リブ８の外径とほぼ同じ位置から外周端までの領域が、前述の湾曲させた形状に形成されている。リブ８の壁面８１の断面形状は、テーパ状の形状に限定されるものではなく、たとえば湾曲状に形成されていてもよい。センタープレート６の材料は、ネジ部材９による締め付け荷重に耐えることができ、振動するダイヤフラム４の中央部を安定して保持できる程度の耐荷重性および剛性を備えていれば特に限定されるものではなく、例えばＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）などのプラスチック材料の他、金属材料で形成することもできる。

ネジ部材９は、図２に示されるように、頭部９１および軸部９２からなるネジ部材本体とワッシャ部１０とで構成されている。ワッシャ部１０は、センタープレート６の貫通孔７がダイヤフラム４の突起部５から外れ、センタープレート６とダイヤフラム４とが、最大限偏心したときに、センタープレート６のリブ８の頂部の少なくとも一部を押さえ付けることができる大きさ、すなわち、ワッシャ部１０の半径と軸部９２の半径の差が、センタープレート６の貫通孔７の半径とリブ８の頂部の内半径の差よりも大きくなるような大きさであって、リブ８の底部の内径とほぼ同じ大きさに形成されており、このワッシャ部１０は、ネジ部材本体と一体的に形成されている。そのため、ネジ部材９が、ねじ込まれることにより軸芯２１とほぼ平行に動くと、ワッシャ部１０は、軸芯２１とほぼ垂直な面を保ったまま移動する。これにより、つぎに詳述するセンタープレート６のセンタリング作用が得られる。ネジ部材本体とワッシャ部１０とは、最初から一体として形成されても、先にワッシャ部およびネジ部材本体が個別に作製され、その後に固着されて一体化されてもよく、さらには、ワッシャとして認識できる部分を備える代わりにワッシャを兼ね得るほどの大きさのネジ頭部９１を備えていてもよい。

つぎに、本実施形態のセンタープレートのセンタリング動作について説明する。センタープレート６の貫通孔７とダイヤフラム４の突起部５の嵌合が外れて、センタープレート６がダイヤフラム４に対して、すなわちネジ部材９に対して、大きく偏心した状態でネジ部材９をねじ込んでいくと、図５（ａ）にワッシャ部１０側の面が、図５（ｂ）にその断面がそれぞれ示されるように、センタープレート６の一部がダイヤフラム４の突起部５の上に乗り、その一方で、ワッシャ部１０がリブ８の一部を押さえ付けるような大きさに形成されているために、ワッシャ部１０の周縁部の一部が、リブ８の頂部の一部である接触部分８３を押す状態となる。さらにネジ部材９を時計回り方向にねじ込むと、図６に示されるように、接触部分８３に、ネジ部材９のねじ込み方向に向かう矢印Ｐ１で示される力と、ワッシャ部１０が接触部８３を押さえながら回転することにより生じる、センタープレート６の外方に向かう矢印Ｐ２で示される力とが働くことになる。矢印Ｐ１で示される力が、センタープレート６を、接触部分８３の位置でダイヤフラム４に押し付け、その一方で、矢印Ｐ２で示される力が、リブ８の頂部である接触部分８３をセンタープレート６の外方向に向かって押すため、センタープレート６は、図５（ｂ）において反時計回りに回転する方向の力を受けることとなり、図７に示されるように、センタープレート６の接触部分８３と反対側の部分が持ち上げられた状態となる。

さらにネジ部材９をねじ込むと、図８に示されるように、ねじ込み方向に向かう矢印Ｐ１で示される力は、センタープレート６の外方に向かう矢印Ｐ３で示される分力と、その垂直方向の矢印Ｐ４で示される分力となって作用する。この結果、前述のＰ２で示される力と矢印Ｐ３で示される力によって、ワッシャ部１０と接しているリブ８の頂部がワッシャ部１０の周端部よりも外側に位置するまで、すなわち、ワッシャ部１０全体がリブ８のリング形の内側に収まるようになるまで、センタープレート６が外周方向に動かされ、さらに、内径がワッシャ部１０とほぼ同径に形成されたリブ８の底部にワッシャ部１０が収まるように、リブ８の壁面８１にガイドされることによって、センタープレート６が、ダイヤフラム４と同心位置にセンタリングされる。

センタープレート６が、ダイヤフラム４に対して、ワッシャ部１０がリブ８の頂部を押さえ付けるほど大きく偏心しておらず、ワッシャ部１０の周端部がリブ８の壁面８１と当接する程度に偏心しているときは、前述の矢印Ｐ１〜Ｐ４で示される力が生じる過程を経ることなく、リブ８の底部にワッシャ部１０が収まるように、リブ８の壁面８１にガイドされることによって、センタープレート６が、ダイヤフラム４と同心位置にセンタリングされる。

本実施形態では、軸芯２１の両端にストッパ部２２が設けられ、振動子２の両端にダイヤフラム４およびセンタープレート６が設けられているが、軸芯２１の一端側だけにストッパ部が設けられ、ダイヤフラムおよびセンタープレートが、ストッパ部が設けられた側だけに設けられて構成されることもできる。

永久磁石１１および電磁石１２は、従来技術と同様の構造で構成されている。永久磁石１１は、図９に示されるように、平板状に形成され、振動子２の支持部３に固定されている。図９に示される実施形態では、左側の永久磁石１１は、電磁石１２ａに対向する側がＮ極、電磁石１２ｂに対向する側がＳ極に、右側の永久磁石１１は、電磁石１２ａに対向する側がＳ極、電磁石１２ｂに対向する側がＮ極に着磁されているが、それぞれ逆の極性に着磁されていても構わない。なお永久磁石１１は、フェライト磁石または稀土類磁石などを用いることができる。

電磁石１２は、図９に示されるように、１対の電磁石１２ａ、１２ｂが、永久磁石１１を挟んで配設されており、電磁石１２ａ、１２ｂは、Ｅ型の電磁石コア１３、および電磁石コア１３に巻回された電磁コイル１４で構成されている。電磁石１２ａ、１２ｂに交流電流を流すと、一方の電磁石（例えば電磁石１２ａ）は、中央部がＮ極、その両側がＳ極となり、他方の電磁石（例えば電磁石１２ｂ）は、中央部がＳ極、その両側がＮ極となり、これらＮ極およびＳ極の変換が繰り返し行なわれる。これによって、振動子２の支持部３に固定された永久磁石１１との間で、磁気的作用による吸引、反発力が反復して生じ、振動子２を軸方向に往復運動させ、これによりダイヤフラム４を振動させる。

本実施形態の電磁駆動型流体ポンプ１のポンプ動作は、従来の構造と同じであり、図１に示されるように、ケーシング１５が、隔壁によりダイヤフラム４側の圧縮室１６ａと、吸入室１６ｂと、吐出室１６ｃとに分割されており、圧縮室１６ａと吸入室１６ｂとの間には吸入弁１７が設けられ、ダイヤフラム４の振動により、圧縮室１６ａの容積が大きくなって圧力が下がると吸入弁１７が開いて吸入室１６ｂから流体が流れ込み、圧縮室１６ａの容積が小さくなって圧力が上がると、吸入弁１７が閉になるように構成されている。一方、圧縮室１６ａと吐出室１６ｃとの間には、吐出弁１８が設けられており、ダイヤフラム４の振動により、圧縮室１６ａの容積が小さくなり、圧力が上がると、この吐出弁１８が開になり、圧縮室１６ａの空気などの流体が、吐出室１６ｃに吐出されるようになっている。

１電磁駆動型流体ポンプ
２振動子
２１軸芯
２２ストッパ部
２３雌ネジ穴
３支持部
４ダイヤフラム
５ダイヤフラムの突起部
６センタープレート
７センタープレートの貫通孔
８リブ
９ネジ部材
１０ワッシャ部
１１永久磁石
１２電磁石

Claims

支持部に永久磁石が固定されると共に、該支持部の中心部に軸芯を有する振動子と、該振動子の少なくとも一端側に設けられる円盤状のダイヤフラムと、前記永久磁石と対向するように設けられる電磁石と、前記ダイヤフラムを前記振動子に固定するネジ部材と、を含んでいる電磁駆動型流体ポンプであって、
前記ダイヤフラムが、前記軸芯の一端側に設けられるストッパ部に当て付けて前記軸芯に挿入されると共に、前記軸芯の軸方向にねじ込まれる前記ネジ部材により固定される構造であり、前記ネジ部材は、該ネジ部材と一体的に形成されたワッシャ部を有し、前記ダイヤフラムは、前記軸芯に挿入されるセンタープレートの中心部に設けられる貫通孔と嵌め合うように形成された外形が円形状の突起部を有し、前記センタープレートは前記ダイヤフラムの前記突起部の周囲と前記ワッシャ部との間に介在しており、かつ、前記ダイヤフラムと反対側の面の前記貫通孔の外周側に前記貫通孔と同心でリング状に形成されたリブを有しており、該ワッシャ部の大きさが、前記センタープレートが前記ダイヤフラムの前記突起部から外れて最大に偏心した場合に、前記リブの一部を押さえ付けると共に、前記リブの底面の内径とほぼ同じ径になるように形成されてなるセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプ。
前記リブの中心軸側の壁面が、該リブの根元部から頂部へ向かって該リブの直径が大きくなるように断面形状がテーパ状または湾曲状に形成されてなる請求項１に記載のセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプ。
前記センタープレートの周縁部が前記ダイヤフラム側と反対側に湾曲した形状に形成されている請求項１または請求項２に記載のセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプ。
前記センタープレートが樹脂で形成されてなる請求項１〜３のいずれか１項に記載のセンタリング機能付きセンタープレート搭載電磁駆動型流体ポンプ。