JP2006050787A - リニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 過酷な条件で可動体を駆動してもマグネットが樹脂層から剥離することなく、異音の発生、性能の低下、剥離したマグネットが積層コアに接触し、可動体が破損することがないリニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置を提供すること。
【解決手段】 インナーヨーク３との間に第１の隙間６、および第２の隙間７を構成するアウターヨーク４と、隙間６、７内にマグネット９を備える可動体５とを有するリニアアクチュエータ１において、アウターヨーク４およびインナーヨーク３は、周方向に複数本、配置され、可動体５は、インナーヨーク３とアウターヨーク４との間に各々配置されるマグネット９を備え、かつ、隣接するマグネット９の間には、マグネット９の両端を埋設して保持させるとともに樹脂からなるマグネット保持部５２を有し、このマグネット保持部５２では、マグネット９が軸線方向に樹脂と重なる突出部９１を有している。
【選択図】 図１

Description

本発明は、リニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置に関するものである。

従来、シリンダ内でピストンが直線運動するようなポンプ装置やコンプレッサー装置は、シリンダが形成された本体部と、ピストンを駆動するリニアアクチュエータとから構成されており、リニアアクチュエータが有する駆動部としては、ピストンを軸線方向に往復駆動させるためにリニアモータが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００−３３７７２５号公報

このリニアアクチュエータを、ポンプ装置やコンプレッサー装置の駆動源とした場合、可動体は、作動時の雰囲気温度が８０°Ｃ程度まで上昇する環境において、振幅４〜８ｍｍ、駆動周波数が６０〜８０Ｈｚで駆動される。その場合、過酷な環境下、インサート成形または接着固定された永久磁石群１８に絶えず振動方向の応力がかかるため、永久磁石群１８が樹脂層から剥離する可能性がある。永久磁石群１８が樹脂層から剥離すると、異音や性能の低下が発生したり、最悪の場合には、剥離した永久磁石群１８が内側積層コア２４または外側積層コア１９に接触し、可動体が破損するという問題があった。

そこで、本発明の課題は、過酷な条件で可動体を駆動してもマグネットが樹脂層から剥離することなく、異音の発生、性能の低下、および剥離したマグネットが内側積層コアまたは外側積層コアに接触し、可動体が破損することがないリニアアクチュエータ、それを用いたポンプ装置並びにコンプレッサー装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明では、インナーヨークと、該インナーヨークの外周面との間に軸線方向で離間する第１の隙間および第２の隙間を形成するように当該インナーヨークの周りに配設されたアウターヨークと、前記アウターヨーク、前記第１の隙間、前記インナーヨーク、前記第２の隙間、および前記アウターヨークを磁路として前記第１の隙間および前記第２の隙間に交番磁界を発生させるコイルとからなる駆動部と、前記インナーヨークと前記アウターヨークとの間にマグネットを備え、前記交番磁界に連動して軸線方向に往復駆動される可動体とを有するリニアアクチュエータにおいて、前記アウターヨークおよび前記インナーヨークは、各々対向面をもって周方向に複数本、配置され、前記可動体は、前記インナーヨークと前記アウターヨークとの間に各々配置される複数の前記マグネットを備え、かつ、隣接する前記マグネットの間には、前記マグネットの両端を埋設して保持させる樹脂からなるマグネット保持部を有し、該マグネット保持部において、前記マグネットは、軸線方向に前記樹脂と重なる重なり部を有していることを特徴とする。

本発明において、前記マグネット保持部は、隣接する前記インナーヨークの間、および隣接する前記アウターヨークの間に少なくとも一部が入り込んでいることが好ましい。このように構成すると、マグネット保持部を大きく構成することができ、剛性の確保が図られる。しかも、隣接するインナーヨークや隣接するアウターヨークの間はデッドスペースなので、リニアアクチュエータを大型化させずにすむ。

本発明において、前記重なり部は、軸線方向と交差する方向に突出した突出部によって構成されていることが好ましい。突出部は、軸線方向と交差する方向に突出していれば、厚さ方向の表面や厚さ方向に直交する側等、如何なる場所から突出していてもよい。

本発明において、前記マグネットは四角形の薄板であって、前記重なり部は、隣接する前記マグネットどうしの対向面から隣接する前記マグネット方向へ突出した突出部によって構成されていることが好ましい。このように構成すると、強度、省スペースの点でバランスの良い重なり部を構成することができる。しかも、マグネットを形成する金型として単純な上下型を用いることができる。

本発明において、前記重なり部は、前記マグネットの厚み方向の２面を連通する連通孔によって構成された構成であってもよい。

以上説明したように、マグネットの両端を埋設して保持させるマグネット保持部において、マグネットが、軸線方向に樹脂と重なる重なり部をしている。故に、可動体の振動方向である軸線方向に、樹脂に重なる重なり部によって振動方向の応力を受けることができる。このように振動方向の応力をマグネットと樹脂との接着力の他に物理的にも受けているので、過酷な条件で可動体を駆動してもマグネットが樹脂層から剥離することがない。従って、異音の発生、性能の低下、および剥離したマグネットがインナーヨークまたはアウターヨークに接触し、可動体が破損する不具合を防止することができる。

図面を参照して、本発明を適用したリニアアクチュエータを説明する。

（全体構成）
図１（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータの要部の縦断面図、およびＸ−Ｙ横断面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータの一部を切り欠いて斜め上方から見た斜視図、および可動体の一部を切り欠いて斜め下方から見た斜視図である。図３は、本発明を適用したリニアアクチュエータの要部を拡大した縦断面図である。

図１（Ａ）、（Ｂ）、および図２（Ａ）において、本形態のリニアアクチュエータ１は、各種流体を供給するためのポンプ装置、あるいはコンプレッサー装置等に用いられるもので、ステータ側を軸線方向から挟持するフレーム２を備えた駆動部８７と、この駆動部８７に対して軸線Ｌに沿って往復移動可能な可動体５とから構成されている。

図１に示すように、駆動部８７において、フレーム２のホルダ２２には、円筒状の円筒部１６が形成され、この円筒部１６の上端に対して、リング状に形成された保持体１７に一端が固定されたインナーヨーク３が固定されている。インナーヨーク３は、周方向に等角度間隔に８枚、配置された状態にある。インナーヨーク３は、平板状を有しており、後述のアウターヨーク４との対向面（外側）、およびその裏面（内側）のいずれもが平面になっている。

フレーム２としての一対のホルダ２１、２２の間には、インナーヨーク３の対向面によって軸線方向で離間する位置に第１および第２の隙間６、７を構成するように配置されたブロック状のアウターヨーク４が周方向に隙間８６（図１（Ｂ））を介して等角度間隔に８個、取り付けられている。ここで、アウターヨーク４は、インナーヨーク３との対向面が平面になっている。なお、インナーヨーク３とアウターヨーク４との互いに平面状に形成された対向面は、略３ｍｍ離間して平行に構成されている。

アウターヨーク４は、縦断面がＵ字形状を備えた上下２つのアウターヨーク部材４１、４２から構成されている。各々のアウターヨーク部材４１、４２において、その内側で軸線方向に折れ曲がった部分が、インナーヨーク３に第１および第２の隙間６、７を介して対向する第１および第２の対向部分４１０、４２０になっている。また、その外側で軸線方向に折れ曲がった部分の端部４１９、４２９が当接している。２つのアウターヨーク部材４１、４２はいずれも、複数枚の磁性薄板をその端面がインナーヨーク３の方を向くように立たせたものを積層してブロック体としたものである。このため、アウターヨーク４では渦電流損が比較的小さいという利点がある。

また、アウターヨーク４において、２つのアウターヨーク部材４１、４２の間に構成される空間内には、リング状の平面形状を備えたコイル８がコイルボビン８０に巻回され配置されている。なお、コイル８の外側は、樹脂製のカバー８９で覆われている。ここで、コイル８は、８個のアウターヨーク４全体を取り巻くように巻回された共通のコイルである。アウターヨーク部材４１、４２は、各々コイル８の外周側に位置する部分からコイル８の軸線方向の両端面を通ってその内周側で軸線方向に折れ曲がり、先端側が、上述の対向部４１０、４２０になっている。

このように構成した駆動部８７に対して、本形態では、図２、図５に示すカップ状の可動体５が配置されている。この可動体５は、樹脂成形品であり、図２（Ｂ）に示すように、正８角形の底部５１と、この底部５１の角部分から軸線方向に起立する細長いマグネット保持部５２と、隣接するマグネット保持部５２の側面を閉鎖する側壁部５５とを備えている。本形態の場合、全てのマグネット保持部５２の側面が側壁部５５によって閉鎖され、筒状に構成されている。

側壁部５５は、底部５１側から開放端側に沿って、樹脂壁５３、マグネット９、および樹脂壁５４が一体成形されている。すなわち、可動体５は、マグネット９がインサート形成された樹脂成型品になっている。また、マグネット保持部５２は、計８箇所、形成され、８枚のマグネット９を周方向に等角度間隔に保持している。なお、マグネット９は、厚みが略２ｍｍの平板状を有しており、厚み方向の両面が平面になって外部に露出し、アウターヨーク４との対向面（外側）、およびインナーヨーク３との対向面（内側）になっている。また、樹脂壁５３および樹脂壁５４の内外面は、マグネット９の両対向面とそれぞれ同一平面になるように形成されている。

ここでマグネット９は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石、あるいは樹脂マグネットであって、表裏がそれぞれ反対の極に着磁されており、その平面形状が長方形に形成されている。また、厚み方向の２面が平行な平面に形成された平板であって、隣接するマグネット９どうしの対向面には、隣接するマグネット９方向へ突出して形成された重なり部としての突出部９１が、それぞれ４つづつ形成されている。

また、図１（Ｂ）に示すように、マグネット保持部５２は、軸線方向からみたとき略三角形の平面形状をしており、三角形の頂点に相当する部分は、隣接するインナーヨーク３の間に楔状に入り込んでいる一方、三角形の底辺に相当する部分は、隣接するアウターヨーク４の間に入り込んでいる。

このように構成した可動体５を、図１（Ａ）に示すように、駆動部８７側に配置することにより、８枚のマグネット９を各々、インナーヨーク３とアウターヨーク４との第１よび第２の隙間６、７に位置させる。本形態の場合、インナーヨーク３とアウターヨーク４の間に配設される８枚のマグネット９全てが、アウターヨーク４よりインナーヨーク３に近接配置されるようになっている。すなわち、インナーヨーク３とこのインナーヨーク３に対向したマグネット９の対向面との距離ｄ（図２参照）が、０．４ｍｍに設定されるとともに、アウターヨーク４とこのアウターヨーク４に対向するマグネット９の対向面との距離Ｄ（図２参照）が、０．６ｍｍに設定されている。

（コイルボビンとアウターヨークとの係合構造）
図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明を適用したリニアアクチュエータに用いたコイルボビン、コイルボビンとアウターヨーク、およびコイルボビンとアウターヨークとの係合部との説明図である。

本形態のリニアアクチュエータ１において、コイルボビン８０は、筒状の胴部８１と、胴部８１の両端から半径方向の外方に向かって延設された鍔部８５とから構成されており、胴部８１によりコイル８とアウターヨーク４の第１の対向部分４１０および第２の対向部分４２０との絶縁を確保している。また鍔部８５によりコイル８とこのコイル８の軸線方向の両端面を通るアウターヨーク４との絶縁を確保している。

図３、図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、胴部８１の内周面には、第１の対向部分４１０および第２の対向部分４２０の双方と係合して、第１および第２の対向部分４１０、４２０がマグネット９に吸引されて変位することを防止する係合部として、インナーヨーク３に向かって突出する係合突起８２が形成されている。

ここで、係合突起８２は、図４（Ｃ）に示すように軸線方向に突き出して、胴部８１の内周面とによって軸線方向に開口する凹部８２１、８２２を形成する突起８２３、８２４と、この突起８２３、８２４の軸線方向の中央からインナーヨーク３に向けて突き出した小突起８２５とから構成されている。

これに対して、第１の対向部分４１０の先端部分、および第２の対向部分４２０の先端部分には、内周側突起４１１、４２１と、外周側突起４１２、４２２とがそれぞれ形成され、これらの突起４１１、４１２の間、および突起４２１、４２２の間には軸線方向に開口する凹部４１３、４２３がそれぞれ形成されている。

従って、第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２を軸線方向の両側からコイルボビン８０に重ね、コイル８の外周側において第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２の端部４１９、４２９が当接されると、コイルの内周側において係合突起８２の凹部８２１、８２２に対して、第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２の外周側突起４１２、４２２が嵌るとともに、係合突起８２の突起８２３、８２４に対して、第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２の凹部４１３、４２３が嵌る。さらに、係合突起８２の小突起８２５に対しては、第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２の内周側突起４１１、４２１の先端が当接する。

ここで、コイルボビン８０には、周方向の８箇所にこのような係合突起８２が形成されている。すなわち、係合突起８２がインナーヨーク３を囲むように全周に配設されている。このため、第１の対向部分４１０および第２の対向部分４２０は、マグネット９の吸引力を受けてもコイルボビン８０によって保持されているので、半径方向に変位することがない。

（リニアアクチュエータの組み立て手順およびリニアアクチュエータの連結方法）
図５は、本発明を適用したリニアアクチュエータを構成する各部材を斜め上方からみたときの分解斜視図である。
本形態では、コイル８とアウターヨーク部材４１、４２とは予め組み立てられ組部品１０になっている。この組部品１０は、コイルボビン８０にコイル８を巻回した後、コイルボビン８０を上下で跨ぐようにして、第１および第２のアウターヨーク部材４１、４２を軸線方向の両側から重ねることにより形成される。

本形態のリニアアクチュエータ１を組み立てるには、以下の手順に基づいて行われる。すなわち、最初に、ホルダ２２の円筒部１６の上端に対して、インナーヨーク３の一端を固定する。全てのインナーヨーク３が固定された後、保持体１７をインナーヨーク３の他端に係合するように落とし込む。次に、ホルダ２２に形成されたねじ穴２２１に３つの雄ねじ２３を落とし込み、その後、雄ねじ２３の上から上述の組部品１０を落とし込み、この組部品１０をホルダ２２の所定位置にセットする。

さらに、部組品１０の上からホルダ２１を被せ、その後、ホルダ２１、２２を周方向の３箇所に配設された固定ボルト９０と固定ナット９４とにより固定する。このとき、部組品１０は、ホルダ２１、２２に挟持された状態でホルダ２１、２２に固定される。最後に、可動体５をインナーヨーク３とアウターヨーク４との隙間に落とし込むことにより、リニアアクチュエータ１が完成する。

（動作）
図６（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、このリニアアクチュエータの動作を示す説明図である。

本形態のリニアアクチュエータ１において、マグネット９の内側の面がＳ極に着磁され、外側の面がＮ極に着磁されている場合には、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、実線の矢印Ｂ１、Ｂ２で示す磁界が発生している。この状態でコイル８に交流電流を流したとき、図６（Ａ）に示すように、図面の向こう側から手前側に電流が流れている間では、点線の矢印Ｂ３に示す磁界が発生し、第１の隙間６の側では、マグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが同一であるのに対して、第２の隙間７の側ではマグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが反対である。その結果、マグネット９には、軸線方向における下方（第２の隙間７の方）に向かう力が作用する。

これに対して、図６（Ｂ）に示すように、図面の手前側から向こう側に電流が流れている期間では、点線の矢印Ｂ４に示す磁界が発生し、第１の隙間６の側では、マグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが反対であるのに対して、第２の隙間７の側ではマグネット９からの磁界とコイル８からの磁力線の向きが同一である。その結果、マグネット９には、軸線方向における上方（第１の隙間６の方）に向かう力が作用する。

このようにしてマグネット９には、コイル８による交番磁界の向きに対応して、軸線方向に加わる力の向きが入れ代わるので、それと一体の可動体５が軸線方向に振動し、可動体５に取り付けられたピストン１３０から往復直線運動を出力することになる。

（その他の実施の形態）
なお、上記の実施の形態では、重なり部が、隣接するマグネット９どうしの対向面から隣接するマグネット９方向へ突出形成された４つの突出部９１により構成されているが、突出部の数は４つに限定されるものではない。また、隣接するマグネット９どうしの対向面を図７（Ａ）に示すようなテーパ形状にして重なり部としての突出部９２を構成してもよいし、図７（Ｂ）に示すようにマグネット９の厚み方向の２面を連通する連通孔９３により重なり部としてもよい。

また、上記実施の形態では、マグネット９の両端がインサート成形によってマグネット保持部５２に埋設させているが、マグネット９の両端を接着材によりマグネット保持部５２に接着固定させてもよい。

さらに、上記実施の形態では、マグネット９が四角形の平板で、厚み方向の２面が平行な平面に形成されているが、マグネット９の２面を平行な曲面で形成してもよい。例えば、所定の曲率半径の円弧状に形成してもよい。

（本形態の効果）
以上説明したように、本形態では、インナーヨーク３と、インナーヨーク３の外周面との間に軸線方向で離間する第１の隙間６および第２の隙間７を形成するようにインナーヨーク３の周りに配設されたアウターヨーク４と、アウターヨーク４、第１の隙間６、インナーヨーク３、第２の隙間７、およびアウターヨーク４を磁路として第１の隙間６および第２の隙間７に交番磁界を発生させるコイル８とからなる駆動部８７と、インナーヨーク３とアウターヨーク４との間にマグネット９を備え、交番磁界に連動して軸線方向に往復駆動される可動体５とを有するリニアアクチュエータ１において、アウターヨーク４およびインナーヨーク３は、各々平面的な対向面をもって周方向に複数本、配置され、可動体５は、インナーヨーク３とアウターヨーク４との間に各々配置される複数のマグネット９を備え、かつ、隣接するマグネット９の間には、マグネット９の両端をインサート成形により埋設して保持させるとともに樹脂からなるマグネット保持部５２を有し、マグネット保持部５２において、マグネット９は、軸線方向に樹脂と重なる突出部９１、突出部９２および貫通孔９３を有している。故に、可動体５の振動方向である軸線方向の樹脂に重なるこれら重なり部によって振動方向の応力を受けることができる。このように振動方向の応力をマグネット９と樹脂との接着力の他に物理的にも受けているので、過酷な条件で可動体５を駆動してもマグネット９が樹脂層から剥離することがない。従って、異音の発生、性能の低下、および剥離したマグネット９がインナーヨーク３またはアウターヨーク４に接触し、可動体５が破損する不具合を防止することができる。

また、マグネット保持部５２は、隣接するインナーヨーク３の間、および隣接するアウターヨーク４の間に少なくとも一部が入り込んでいる。故に、マグネット保持部５２の肉厚を厚く構成することができ、剛性の確保が図られる。しかも、隣接するインナーヨーク３や隣接するアウターヨーク４の間はデッドスペースなので、リニアアクチュエータ１を大型化させずにすむ。

さらに、マグネット９は四角形の平板であって、隣接するマグネット９どうしの対向面には、突出部９１、９２が隣接するマグネット９方向へ突出して形成されている。故に、重なり部をこのような突出部９１、９２によって構成することにより、強度および小スペース化の点からバランスに優れた重なり部を構成することができる。しかも、マグネット９を形成する金型として単純な上下型を用いることができる。

（ポンプ装置並びにコンプレッサー装置への搭載例）
本発明を適用したリニアアクチュエータ１については、図８を参照して説明するように、ポンプ装置並びにコンプレッサー装置に適用できる。

図８は、本発明を適用したエアーポンプ装置の断面図である。

図８において、本形態のエアーポンプ装置１００では、リニアアクチュエータ１の可動体５に対して作動軸１１０の基端側がワッシャ１５２およびナット１５３を用いて連結され、作動軸１１０は、図４に示すように、インナーヨーク３を保持するフレーム２の円筒部１６を貫通した状態にある。

駆動部８７のホルダ２２の底部には、エアー吸い込み口１７１およびエアー吐出口１７２を備えた本体部側ケース１７０が雄ねじ２３で固定され、エアー吸い込み口１７１にはフィルタ１７４が装着されている。ケース１７０の内側にはシリンダケース１２０が配設され、シリンダケース１２０の底部において、エアー吸い込み口１７１と対峙する部分には、バルブ押さえ１４３によってバルブ１４１が固定され、エアー吐出口１７２と対峙する部分にはバルブ押さえ１４４によってバルブ１４２が固定されている。

シリンダケース１２０の内部は、シリンダケース１２０の底部との間にシリンダ室１２２を構成するピストン１３０が配設され、このピストン１３０の側面には、シリンダケース１２０の内周側面との気密を確保するための加圧リング１３５が装着されている。

ピストン１３０に対しては、作動軸１１０の先端部分がワッシャ１３７、１３８およびＯリング１３６を介してナット１３９で固定されており、作動軸１１０の振動によって、ピストン１３０が軸線方向に駆動される。従って、リニアアクチュエータ１によって作動軸１１０が軸線方向の基端側（図面に向かって上方）に移動すると、エアー吸い込み口１７１からシリンダ室１２２内に空気が吸い込まれ、リニアアクチュエータ１によって作動軸１１０が軸線方向の先端側（図面に向かって下方）に移動すると、シリンダ室１２２内の空気がエアー吐出口１７２から吐出される。また、本形態において、作動軸１１０の振動に対して図示しないスプリングや外付けの板ばね等による共振を利用しており、小型のリニアアクチュエータ１を用いたエアーポンプ装置１００であっても、優れたポンプ特性を得ることができる。

（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータの要部の縦断面図、およびＸ−Ｙ横断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、本発明を適用したリニアアクチュエータの一部を切り欠いて斜め上方から見た斜視図、および可動体の一部を切り欠いて斜め下方から見た斜視図である。 本発明を適用したリニアアクチュエータの要部を拡大した縦断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明を適用したリニアアクチュエータに用いたコイルボビン、コイルボビンとアウターヨーク、およびコイルボビンとアウターヨークとの係合部との説明図である。 本発明を適用したリニアアクチュエータを構成する各部材を斜め上方からみたときの分解斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、このリニアアクチュエータの動作を示す説明図である （Ａ）、（Ｂ）は、本発明を適用しリニアアクチュエータに用いた別のマグネットの平面図である。 本発明を適用したエアーポンプ装置の断面図である。

符号の説明

１ リニアアクチュエータ
２ フレーム
３ インナーヨーク
４ アウターヨーク
５ 可動体
６ 第１の隙間
７ 第２の隙間
８ コイル
９ マグネット
２０ 拡開防止部材
４１ 第１のアウターヨーク部材
４２ 第２のアウターヨーク部材
５２ マグネット保持部
８０ コイルボビン
８７ 駆動部
９１、９２ 突出部（重なり部）
９３ 貫通孔（重なり部）

Claims (7)

1. インナーヨークと、該インナーヨークの外周面との間に軸線方向で離間する第１の隙間および第２の隙間を形成するように当該インナーヨークの周りに配設されたアウターヨークと、前記アウターヨーク、前記第１の隙間、前記インナーヨーク、前記第２の隙間、および前記アウターヨークを磁路として前記第１の隙間および前記第２の隙間に交番磁界を発生させるコイルとからなる駆動部と、前記インナーヨークと前記アウターヨークとの間にマグネットを備え、前記交番磁界に連動して軸線方向に往復駆動される可動体とを有するリニアアクチュエータにおいて、
   前記アウターヨークおよび前記インナーヨークは、各々対向面をもって周方向に複数本、配置され、
   前記可動体は、前記インナーヨークと前記アウターヨークとの間に各々配置される複数の前記マグネットを備え、かつ、隣接する前記マグネットの間には、前記マグネットの両端を埋設して保持させる樹脂からなるマグネット保持部を有し、該マグネット保持部において、前記マグネットは、軸線方向に前記樹脂と重なる重なり部を有していることを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 請求項１において、前記マグネット保持部は、隣接する前記インナーヨークの間、および隣接する前記アウターヨークの間に少なくとも一部が入り込んでいることを特徴とするリニアアクチュエータ。
3. 請求項１または２において、前記重なり部は、軸線方向と交差する方向に突出した突出部によって構成されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
4. 請求項３において、前記マグネットは四角形の薄板であって、前記重なり部は、隣接する前記マグネットどうしの対向面から隣接する前記マグネット方向へ突出した突出部によって構成されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
5. 請求項１において、前記重なり部は、前記マグネットの厚み方向の２面を連通する連通孔によって構成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
6. 請求項１ないし５のいずれかに規定するリニアアクチュエータを用いたことを特徴とするポンプ装置。
7. 請求項１ないし５のいずれかに規定するリニアアクチュエータを用いたことを特徴とするコンプレッサー装置。
   

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