JP6259880B2 - 脆性材料基板の吸引搬送ヘッド - Google Patents
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Description
11 機能領域
12 線状突起
20 搬送ヘッド
21 ベースプレート
22 リッドプレート
23 ラバーシート
24 空隙
25 管継手
31 プッシャープレート
32 プッシャーピン
33,35 プランジャ
34a,34b コネクションプレート
41a〜41d アーム
42 ブラケット
43 エアシリンダ
44a,44b 光学センサ
51 弾性シート
52 開口
Claims (1)
- リッドプレートと、
前記リッドプレートとの間に気密の空洞を形成し、前記リッドプレートとは接しない表面外周に、前記空洞に連通する開口を有するベースプレートと、
前記リッドプレートとベースプレートによって形成される空洞内で上下動自在に保持され、前記開口に相当するピン(貫通孔が設けられたピンを除く)が植設されたプッシャープレートと、
前記プッシャープレートに連結され、前記プッシャープレートのピンが前記ベースプレートの開口より突出した状態と収納された状態との間で上下動自在となるように駆動するプランジャと、
前記空洞に連結された吸引手段と、
を具備し、
移動可能である吸引搬送ヘッド。
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