JP6057284B2 - 多関節ロボット及び半導体ウェハ搬送装置 - Google Patents
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Description
2…機械装置部
3…制御部
11…第1アーム要素
12…第2アーム要素
13…第3アーム要素
31…直交座標系基準指令設定部
32…直交座標系整形指令生成部
33…関節座標系変換指令生成部
36…冗長領域判定部
H…ハンド部
J1…第1関節
J2…第2関節
J3…第3関節
M1〜M3…モータ(アクチュエータ)
TD…半導体ウェハ搬送装置
W…半導体ウェハ(ワーク)
Claims (6)
- 直動又は回動可能な複数の関節により順次接続されるアーム要素と、
各関節に接続されるアーム要素の相対位置又は姿勢を変更するアクチュエータと、
当該アクチュエータの制御を行うことで末端のアーム要素に設けられたハンド部の位置及び姿勢の制御を行う制御部と、を具備し、
前記関節のうち少なくとも2つが互いに平行な軸回りの回転自由度を有し、前記ハンド部を他の装置や壁面等の障害物が近くに存在する状態で直線的に動作させる制御を含む多関節ロボットであって、
前記制御部が、
前記ハンド部の位置又は姿勢を制御するための前記アクチュエータへの制御指令値である基準指令値をその少なくとも一部が直交座標系となる直交座標系基準指令値として得る直交座標系基準指令設定部と、
当該直交座標系基準指令設定部により得られる前記直交座標系基準指令値に対して所定の入力整形を行って直交座標系整形指令値を生成する直交座標系整形指令生成部と、
前記直交座標系整形指令生成部より得られる前記直交座標系整形指令値が、これを関節座標系に変換する場合に無限個数の解が得られる冗長姿勢位置を含む一定の冗長領域内に対応するものであるか否かを判定する冗長領域判定部と、を備えており、
前記冗長領域判定部において前記直交座標系整形指令値が前記冗長領域外に対応するものと判定した場合には、前記直交座標系整形指令値を各関節に対応する関節座標系に変換した関節座標系変換指令値を生成して、当該関節座標系変換指令値を基に各アクチュエータの制御を行い、
前記冗長領域判定部において前記直交座標系整形指令値が前記冗長領域内に対応するものと判定した場合には、冗長領域外に対応する直交座標系整形指令値を基に関節座標系補間指令値を生成して、当該関節座標系補間指令値を基に各アクチュエータの制御を行うように構成されていることを特徴とする多関節ロボット。 - 前記冗長領域判定部が、
前記直交座標系整形指令生成部より得られる前記直交座標系整形指令値を基にして関節の相対距離を算出し、当該相対距離が予め定めた所定値未満である場合に、当該直交座標系整形指令値が前記冗長領域内に対応するものとして判定するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の多関節ロボット。 - 前記冗長領域に入る直前に対応する直交座標系整形指令値と、前記冗長領域より出た直後に対応する直交座標系整形指令値とを基にして、前記冗長領域内で各アクチュエータが等速運動を行うように前記関節座標系補間指令値を生成するよう構成されていることを特徴とする請求項2記載の多関節ロボット。
- 関節同士が重なり合う位置、又は、関節とハンド部の基準位置とが重なり合う位置を中心としてアーム要素が所定の範囲内にある姿勢を前記冗長姿勢としていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の多関節ロボット。
- 前記直交座標系整形指令生成部にて行う所定の入力整形が、前記ハンド部の振動を抑制するためのインプットシェーピング制御としてのフィルタ処理であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多関節ロボット。
- 請求項1〜5記載の多関節ロボットを備えるとともに、当該多関節ロボットを水平多関節型ロボットとして構成し、前記ハンド部上に半導体ウェハを載置させつつ、当該半導体ウェハの搬送を行うようにしたことを特徴とする半導体ウェハ搬送装置。
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