JP6044200B2 - 液体噴射装置 - Google Patents
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Description
第2の発明の液体噴射装置は、複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されており、前記複数のバンプには、前記複数の第1バンプの間に配置された第2バンプがさらに含まれ、前記第2バンプは、前記流路構造体の前記一表面の、前記接続端子が配置されていない領域に接合され、前記第1バンプと前記第2バンプの間に、前記封止材が充填されていることを特徴とするものである。
第3の発明の液体噴射装置は、複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプは、前記ドライバICの縁部全周に沿って設けられ、前記複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。
第4の発明の液体噴射装置は、複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。
また、第1の発明によれば、ドライバICの平面形状が矩形である場合に、その長辺に沿って、複数の圧力室(複数の圧電素子)にそれぞれ対応した複数の駆動用端子が配置されることで、封止すべき長さが大きい長辺側を確実に封止することができる。一方、ドライバICの短辺側は、長辺側よりも少ない数のバンプで封止できることから、この短辺側には駆動用端子以外の接続端子を配置する。
また、第2の発明によれば、第1バンプは、ドライバICと流路構造体側の接続端子とを電気的に接続して圧電素子の駆動に寄与するものであり、それ故、第1バンプの数や間隔は、圧電素子の大きさや個数等の制約を受け、自由に設定できないこともあり得る。しかし、第1バンプの間隔が大きいと、隣接する第1バンプの間に封止材が保持されにくくなり、封止が困難となる。この点、第2の発明では、複数の第1バンプの間に、接続端子が配置されていない領域に接合される、いわゆるダミーの第2バンプが配置される。これにより、隣接する第1バンプの間隔が広い場合であっても、それらの間に第2バンプを配置することでバンプの間隔を狭めることができるため、バンプの間を封止材で確実に封止することができる。
16 ノズル
20 流路ユニット
20a 隔壁部
21 圧電アクチュエータ
24 圧力室
30 振動板
40 圧電体
41 圧電素子
42 駆動電極
43 共通電極
43b 第1接続部
43c 第2接続部
45 駆動用端子
46 ドライバIC
47 入力端子
50 接続端子
51a 駆動バンプ
51b 第1共通電極バンプ
51c 入力バンプ
51d 第1共通電極バンプ
51e ダミーバンプ
52 封止材
Claims (3)
- 複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、
前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、
前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、
前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されており、
前記複数の圧力室は、前記流路構造体の前記一表面に沿った所定方向に配列され、
前記ドライバICは、矩形の平面形状を有し、その長辺が前記所定方向に沿った状態で前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、
前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧電素子の周囲領域のうちの、前記ドライバICの長辺に沿う領域には、前記複数の前記駆動用端子が配置され、
前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧電素子の周囲領域のうちの、前記ドライバICの短辺に沿う領域には、前記駆動用端子以外の前記接続端子が配置されていることを特徴とする液体噴射装置。 - 複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、
前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、
前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、
前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されており、
前記複数のバンプには、前記複数の第1バンプの間に配置された第2バンプがさらに含まれ、
前記第2バンプは、前記流路構造体の前記一表面の、前記接続端子が配置されていない領域に接合され、
前記第1バンプと前記第2バンプの間に、前記封止材が充填されていることを特徴とする液体噴射装置。 - 複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、
前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、
前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、
前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、
前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプは、前記ドライバICの縁部全周に沿って設けられ、前記複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、
前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とする液体噴射装置。
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