JP2016168817A - ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
かかる態様では、バンプ及び接着層を圧電体層の上方に設けることで、流路形成基板と駆動回路基板との間隔を広げることができる。これにより、ピエゾ素子が変位した際に駆動回路基板に接触するのを抑制することができる。また、バンプ及び接着層を高くすることなく、流路形成基板と駆動回路基板との間隔を広げることができるため、バンプ及び接着層を高くするために幅を広げる必要が無く、小型化を図ることができる。さらに、流路形成基板と駆動回路基板との間隔を広げることができるため、駆動回路基板及び流路形成基板のそれぞれに設けられた配線間に生じた電位差で放電が生じるのを抑制して、駆動回路やピエゾ素子が破壊されるのを抑制することができる。
かかる態様では、流路形成基板の一方面側において、バンプと接着剤とを同一平面上に設けることで、比較的小さな荷重で確実に電気的に接続することができ、流路形成基板の荷重による変形、破損を抑制することができる。また、電気的な接続の長期信頼性を向上することができる。
かかる態様では、ピエゾ素子の変位が妨げられるのを抑制して、破壊を抑制した液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの平面図である。また、図3は、流路形成基板の平面図であり、図4は、図2のA−A′線断面図であり、図5は、図3の要部を拡大した断面図である。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (6)
- 液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
該流路形成基板の一方面側に設けられた第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を有するピエゾ素子と、
前記流路形成基板の前記一方面側に接着層によって接合されて、前記ピエゾ素子を駆動する駆動回路が設けられた駆動回路基板と、を備え、
前記ピエゾ素子と前記駆動回路とは、前記流路形成基板及び前記駆動回路基板の何れか一方に設けられたバンプによって電気的に接続されており、
前記バンプ及び前記接着層は、前記ピエゾ素子の前記圧電体層の上方に設けられていることを特徴とするヘッド。 - 前記バンプが設けられる前記圧電体層上には、前記第1電極、前記第2電極、及び、前記第1電極又は前記第2電極から引き出された引き出し配線が設けられており、前記バンプと前記第1電極、前記第2電極、及び、前記第1電極又は前記第2電極から引き出された引き出し配線とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のヘッド。
- 前記接着層が感光性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のヘッド。
- 前記バンプは、弾性を有するコア部と、該コア部の表面に設けられた金属膜とを有することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のヘッド。
- 液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
該流路形成基板の一方面側に設けられた第1電極、該第1電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層上に設けられた第2電極を有するピエゾ素子と、
前記流路形成基板の前記一方面側に接着層によって接合されて、前記ピエゾ素子を駆動する駆動回路が設けられた駆動回路基板と、を備え、
前記ピエゾ素子と前記駆動回路とは、前記流路形成基板及び前記駆動回路基板の何れか一方に設けられたバンプによって電気的に接続されており、
前記バンプ及び前記接着層は、前記流路形成基板の前記一方面側の同一平面上に設けられていることを特徴とするヘッド。 - 請求項1〜5の何れか一項に記載のヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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