JP6039259B2 - 液体吐出ヘッド、およびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明の他の実施形態として、ノズル層3が第1層のみで形成されていても良い。
なお、1種の樹脂を、酸により成膜する樹脂と、ヒドロキシ基を有する樹脂とに兼用しても良く、兼用できる樹脂としては、例えばノボラックを挙げることができる。
この場合、インクジェット記録ヘッドのノズル層3は、酸により成膜する樹脂を含む樹脂組成物の硬化物で構成されることになる。その際、上記樹脂層のうちのインク流路2と接する部分を、型材から発生した酸によって成膜(硬化)させ、インク流路2の内壁面を親水化させることができる。なお、この樹脂層のその他の部分については、同様にこの酸によって成膜させても良いし、この酸によって成膜させずに他の方法(例えば、紫外線露光等)で成膜(硬化)させても良い。また、この他の部分を酸で成膜させるために、密着向上層等の型材以外の部分(各層や膜)に光酸発生剤を添加しても良い。
図3Aに示すように、結晶方位が(100)面であるシリコン基板6を用いた。また、このシリコン基板6はおもて面に、熱酸化膜13、シリコン酸化膜14、インク吐出圧エネルギー発生素子5、シリコン窒化膜15および犠牲層16を有しており、裏面に熱酸化膜12を有していた。
親水化層(第1層3a)を形成しなかった以外は実施例1と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作製した。具体的には、溶解可能な樹脂に光酸発生剤を添加せず、図3C〜Gに示す酸発生工程及び第1層形成工程を行わずに、型材上に直接、第2層を形成した。
2.インク流路(液体流路)
3.ノズル層
3a.第1層
3b.第2層
4.ノズル密着向上層
5.インク吐出圧エネルギー発生素子
6.シリコン基板
7.型材
8.光
9.光酸発生剤による酸を発生させた型材
10.親水化ノズル材層
11.供給口
Claims (7)
- 液体を吐出する液体吐出口、および該液体吐出口に連通する液体流路を有するノズル層を有する液体吐出ヘッドであって、
該ノズル層は2層で構成され、
該2層のうちの液体流路側の層である第1層は、酸により成膜する樹脂を含む樹脂組成物の硬化物であって、かつ、もう一方の層である第2層と比較して水の静的接触角が小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記酸により成膜する樹脂が、エポキシ樹脂およびフェノール樹脂のうちの少なくとも一方の樹脂である請求項1記載の液体吐出ヘッド。
- 前記樹脂組成物が、ヒドロキシ基を有する樹脂を含む請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記ヒドロキシ基を有する樹脂が、ポリヒドロキシスチレン、ノボラック、およびポリビニルアルコールからなる群から選ばれる少なくとも1つの樹脂である請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上に、光酸発生剤を含みかつ液体流路の型となる型材を形成する工程と、
該型材のうちの、表面に前記第1層を形成する領域を露光して酸を発生させる工程と、
酸を発生させた型材の表面に、該第1層を形成する工程と、
該第1層を覆うように、前記第2層を形成する工程と、
該第1層および該第2層を貫通する液体吐出口を形成する工程と、
該型材を除去して該液体流路を形成する工程と
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記型材が、前記光酸発生剤を媒介とした反応以外の方法でパターニングが可能であることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液体を吐出する液体吐出口、および該液体吐出口に連通する液体流路を有するノズル層を有し、該ノズル層は、酸により成膜する樹脂を含む樹脂組成物の硬化物である液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基板上に、光酸発生剤を含みかつ液体流路の型となる型材を形成する工程と、
該型材のうちの、表面に前記ノズル層を形成する領域を露光して酸を発生させる工程と、
酸を発生させた型材を覆うように、該ノズル層となる樹脂層を形成する工程と、
該樹脂層を貫通する液体吐出口を形成する工程と、
該型材を除去して該液体流路を形成する工程と
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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