JP5701000B2 - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
液滴を吐出するエネルギーを発生するエネルギー発生素子を設けた基板と、前記基板上に配されフェイス面に対して傾斜する面を有する凹みを有し前記傾斜する面に複数の吐出口が形成されている部材と、を有し、前記エネルギー発生素子により発生させたエネルギーによって前記複数の吐出口から記録媒体に対して液滴を吐出させて記録を行い、各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も近い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線と、各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も遠い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線とからつくられる平面の法線が、前記記録媒体に記録する際の前記記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向を向いて各吐出口の軸線に対して傾斜しているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に感光性樹脂材料を塗布し、感光性樹脂層を形成する工程と、
前記感光性樹脂層に、この感光性樹脂層表面に対して傾斜する面を有する凹みを形成する工程と、
前記感光性樹脂層表面に対して傾斜する面に前記複数の吐出口を形成する工程と
を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
液滴を吐出するエネルギーを発生するエネルギー発生素子を設けた基板と、前記基板上に配され複数の吐出口が形成されている部材と、を有し、前記エネルギー発生素子により発生させたエネルギーによって前記複数の吐出口から記録媒体に対して液滴を吐出するインクジェット記録ヘッドであって、
前記部材は、感光性樹脂材料の硬化物で形成されており、フェイス面に対して傾斜する面を有する凹みを有し、この傾斜する面に前記複数の吐出口が形成されており、
各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も近い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線と、各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も遠い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線とからつくられる平面の法線が、前記記録媒体に記録する際の前記記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向を向いて各吐出口の軸線に対して傾斜していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
また、吐出口配列の長手方向とは、複数の吐出口が配列される方向であることができ、図1においては、吐出口が並んでいるY方向を意味する。
現像工程では、層4および5に使用した感光性樹脂材料に適した溶剤を用いて現像する。
以下、本発明の例示的な実施形態について詳細に説明する。
図2の工程を用いてインクジェット記録ヘッドを作製した。図2(A)に示すように、エネルギー発生素子2を設けた基板1(図2A)上に、感光性樹脂材料であるポリメチルイソプロペニルケトン(東京応化工業社製、商品名:ODUR−1010)を厚さ14μmで塗布した。次いで露光装置UX3000(商品名、ウシオ電機)を用いてインク流路の型となるインク流路形成用材料層3を形成した(図2B)。
2 エネルギー発生素子
3 インク流路形成用材料層
4 感光性樹脂層
5 撥水層形成用材料層
6 第1の部分
7 第2の部分
8 第1のフォトマスク
9 凹み
10 第2のフォトマスク
11 第3の部分
12 第4の部分
13 吐出口
14 感光性樹脂材料の硬化物
15 各吐出口の周上に位置する点20および点21を含む平面
16 記録媒体
17 各吐出口の周上に位置する点20および点21を含む平面の法線
18 吐出口の軸線
19 吐出口表面
20 吐出口の周上でフェイス面から最も近い距離にある点
21 吐出口の周上でフェイス面から最も離れた距離にある点
22 点20を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線
23 点21を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線
24 フェイス面
Claims (15)
- 液滴を吐出するエネルギーを発生するエネルギー発生素子を設けた基板と、前記基板上に配されフェイス面に対して傾斜する面を有する凹みを有し前記傾斜する面に複数の吐出口が形成されている部材と、を有し、前記エネルギー発生素子により発生させたエネルギーによって前記複数の吐出口から記録媒体に対して液滴を吐出させて記録を行い、各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も近い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線と、各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も遠い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線とからつくられる平面の法線が、前記記録媒体に記録する際の前記記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向を向いて各吐出口の軸線に対して傾斜しているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に感光性樹脂材料を塗布し、感光性樹脂層を形成する工程と、
前記感光性樹脂層に、この感光性樹脂層表面に対して傾斜する面を有する凹みを形成する工程と、
前記感光性樹脂層表面に対して傾斜する面に前記複数の吐出口を形成する工程と
を含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記感光性樹脂材料が、カチオン重合性光硬化型樹脂材料である請求項1に記載の方法。
- 前記カチオン重合性光硬化型樹脂材料が、エポキシ当量が2000以下のエポキシ樹脂と、芳香族ヨードニウム塩および芳香族スルホニウム塩から選ばれる少なくとも1つの光カチオン重合開始剤とを含有する請求項2に記載の方法。
- 前記エポキシ樹脂のエポキシ当量が、1000以下である請求項3に記載の方法。
- 前記エポキシ樹脂が、20℃±15℃の範囲の温度にて固体状である請求項3または4に記載の方法。
- 前記感光性樹脂層に前記感光性樹脂層表面に対して傾斜する面を有する凹みを形成する工程が、
マスクを介して前記感光性樹脂層を露光し、ただし前記凹みに対応する部分を非露光部分とする露光工程と、
その露光工程により得られた感光性樹脂層をベークする工程とを含み、
前記感光性樹脂層をベークする工程において、非露光部分の感光性樹脂層のガラス転移温度または融点よりも高い温度でベークすることにより前記凹みを形成する請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。 - 前記凹みが、吐出口配列の長手方向に沿って形成された溝状の凹みである請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記凹みが、その凹みの最深部を境に、前記記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向、およびその相対移動方向と逆方向にそれぞれ前記感光性樹脂層表面に対して傾斜する面を有し、
前記複数の吐出口が、その逆方向の面に配される請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。 - 液滴を吐出するエネルギーを発生するエネルギー発生素子を設けた基板と、前記基板上に配され複数の吐出口が形成されている部材と、を有し、前記エネルギー発生素子により発生させたエネルギーによって前記複数の吐出口から記録媒体に対して液滴を吐出するインクジェット記録ヘッドであって、
前記部材は、感光性樹脂材料の硬化物で形成されており、フェイス面に対して傾斜する面を有する凹みを有し、この傾斜する面に前記複数の吐出口が形成されており、
各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も近い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線と、各吐出口の周上に位置し前記フェイス面から最も遠い距離にある点を吐出口配列の長手方向に結んでできる直線とからつくられる平面の法線が、前記記録媒体に記録する際の前記記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向を向いて各吐出口の軸線に対して傾斜していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記感光性樹脂材料が、カチオン重合性光硬化型樹脂材料である請求項9に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記カチオン重合性光硬化型樹脂材料が、エポキシ当量が2000以下のエポキシ樹脂と、芳香族ヨードニウム塩および芳香族スルホニウム塩から選ばれる少なくとも1つの光カチオン重合開始剤とを含有する請求項10に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記エポキシ樹脂のエポキシ当量が、1000以下である請求項11に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記エポキシ樹脂が、20℃±15℃の範囲の温度にて固体状である請求項11または12に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記凹みが、吐出口配列の長手方向に沿って形成された溝状の凹みである請求項9〜13のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記凹みが、その凹みの最深部を境に、前記記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向、およびその相対移動方向と逆方向にそれぞれ前記フェイス面に対して傾斜する面を有し、
前記複数の吐出口が、その逆方向の面に配される請求項9〜14のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
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