JP6033215B2 - パワーモジュール半導体装置 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、図1〜図3に示すように、第1銅プレート層161と、第1銅プレート層161上に配置された半導体デバイス24と、半導体デバイス24上に配置された第1セラミック基板181と、第1セラミック基板181に開口された第1開口部2を介して半導体デバイス24表面に接続された第1端子電極10と、第1セラミック基板181に開口された第2開口部3を介して第1銅プレート層161に接続された第2端子電極12とを備える。ここで、第1の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、半導体デバイス24の裏面と表面の両面から放熱を行うことができる。
第1の実施の形態の変形例1〜4に係るパワーモジュール半導体装置1においては、図4〜図7に示すように、第1端子電極10・第2端子電極12は、屈曲した端子電極先端部0a・12aを備えていても良い。このような屈曲した端子電極先端部10a・12aを備えることによって、後述するヒートスプレッダとの密着性を向上させ、或いは第1端子電極10・第2端子電極12からの電極取り出しを容易にすることができる。このような屈曲した端子電極先端部0a・12aは、第1端子電極10・第2端子電極12をエッチング加工することによっても形成することができる。
第1の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置を用いて構成した3相インバータの模式的回路構成は、図10に示すように、ゲートドライブ部50と、ゲートドライブ部50に接続されたパワーモジュール部52と、3相モータ部53とを備える。パワーモジュール部52は、3相モータ部53のU相、V相、W相に対応して、U、V、W相のインバータが接続されている。
第2の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1の模式的断面構造は、図12(a)に示すように、半導体デバイス24と、半導体デバイス24の表面側に配置された第1DBC基板(16a・18a・16a)と、半導体デバイス24の裏面側に配置された第2DBC基板(16b・18b・16b)と、第1DBC基板(16a・18a・16a)に接続された第1端子電極10と、第2DBC基板(16b・18b・16b)に接続された第2端子電極12とを備える。ここで、第2の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、半導体デバイス24の裏面と表面の両面から放熱を行うことができる。
第2の実施の形態の変形例1に係るパワーモジュール半導体装置1の模式的断面構造は、図13に示すように、第2端子電極12は、屈曲した端子電極先端部12aを備えていても良い。このような屈曲した端子電極先端部12aを備えることによって、後述するヒートスプレッダとの密着性を向上させ、或いは第2端子電極12からの電極取り出しを容易にすることができる。このような屈曲した端子電極先端部12aは、第2端子電極12をエッチング加工することによって形成することができる。
第3の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、図17〜図19に示すように、第1銅プレート層16・16Gと、第1銅プレート層16・16G上に配置された半導体デバイス24と、半導体デバイス24上に配置された熱伝導性絶縁フィルム54と、熱伝導性絶縁フィルム54に開口された第1開口部2を介して半導体デバイス24表面に接続された第1端子電極10と、熱伝導性絶縁フィルム54に開口された第2開口部3を介して第1銅プレート層16に接続された第2端子電極12とを備える。ここで、第3の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、半導体デバイス24の裏面と表面の両面から放熱を行うことができる。
第3の実施の形態の変形例に係るパワーモジュール半導体装置1は、図20に示すように、熱伝導性絶縁フィルム54上に第2銅プレート層163をさらに備えていても良い。ここで、第2銅プレート層163の厚さは、例えば、約50μm〜2mm程度である。
第3の実施の形態およびその変形例に係るパワーモジュール半導体装置を3相インバータに適用した配置例において、熱伝導性絶縁フィルム54の模式的平面パターン構成は、図21に示すように表される。図21において、インバータを構成する半導体デバイス241・244、242・245、243・246上に開口部56aを設けると共に、第1銅プレート層161に対する開口部58が設けられている。
第4の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、図27に示すように、第1銅プレート層16S・16Gと、第1銅プレート層16S上に配置された半導体デバイス24と、半導体デバイス24上に配置された熱伝導性絶縁フィルム64と、熱伝導性絶縁フィルム64に開口された第1開口部を介して半導体デバイス24表面に接続された第2銅プレート層68Sと、熱伝導性絶縁フィルム64に開口された第2開口部を介して第1銅プレート層16Gに接続された第2銅プレート層68Gとを備える。
第5の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、図34に示すように、第1銅プレート層161と、第1銅プレート層161(16D)上に配置された半導体デバイス24と、半導体デバイス24上に配置された第1セラミック基板181と、第1セラミック基板181に開口された第1開口部を介して半導体デバイス24表面に接続された第1端子電極10と、1セラミック基板181上に配置され、半導体デバイス24を駆動するゲートドライブ集積回路76とを備える。ここで、第5の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置1は、半導体デバイス24の裏面と表面の両面から放熱を行うことができる。
第5の実施の形態の変形例1に係るパワーモジュール半導体装置1は、図35に示すように、第1銅プレート層161(16D)と、第1銅プレート層161(16D)上に配置された半導体デバイス24と、半導体デバイス24上に配置された熱伝導性絶縁フィルム54と、熱伝導性絶縁フィルム54に開口された開口部を介して半導体デバイス24表面に接続された第1端子電極10と、熱伝導性絶縁フィルム54上に配置されたゲートドライブ集積回路76とを備える。ここで、第5の実施の形態の変形例1に係るパワーモジュール半導体装置1は、半導体デバイス24の裏面と表面の両面から放熱を行うことができる。また、第1端子電極10は、セラミック基板181上に配置された第1銅プレート層161(16S)に接続されている。
比較例に係るパワーモジュール半導体装置の柱状電極構造部分の模式的鳥瞰構造は、図39に示すように、セラミック基板18と、セラミック基板18上に配置された半導体デバイス24と、半導体デバイス24上に配置された柱状電極90と、柱状電極90上に配置された金属板92とを備える。
第6の実施の形態の変形例に係るパワーモジュール半導体装置1の模式的鳥瞰構造は、図42に示すように、DBC基板(16・18・16)と、DBC基板(16・18・16)上に配置された複数の半導体デバイス24と、複数の半導体デバイス24上に配置された熱伝導性絶縁フィルム54と、熱伝導性絶縁フィルム54に開口された開口部を介して半導体デバイス24上に配置された柱状電極90と、柱状電極90上に配置されたスリット構造を有する金属板94とを備える。ここで、第6の実施の形態の変形例に係るパワーモジュール半導体装置1は、半導体デバイス24の裏面と表面の両面から放熱を行うことができる。
第7の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置に適用するヒートスプレッダの鳥瞰構造であって、半導体デバイスを搭載する部分に高熱伝導率金属層を埋め込む構造例は、図45(a)に示すように表され、図45(a)上にDBC基板を配置した構造例は、図45(b)に示すように表される。
第8の実施の形態に係るパワーモジュール半導体装置において、高周波駆動を説明する回路構成は、図46に示すように、ゲートドライブ部50と、ゲートドライブ部50から供給されたゲートドライブ信号VGを供給される半導体デバイスQとを備える。
上記のように、本発明は実施の形態および変形例によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面は例示的なものであり、この発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2…第1開口部
3…第2開口部
4…第3開口部
8G、82、96…ゲート配線電極
8、8I、10、101〜106、12…端子電極
101〜106…ゲート駆動配線
10a、12a…端子電極先端部
10b、10c、12b、12c…端子電極内側コーナー部
14…保護層(PPS)
15…DBC基板
16、161、162、163、16a、16b、16G、16S、16D、68、68S、68G…銅(Cu)プレート層
18、181〜187、18a、18b…セラミック基板
20…接着樹脂層
22…封止樹脂層
24、241〜246…半導体デバイス
24a、25a…半田層
25…銅合金または銅モリブデン電極層
48、90、901〜903…柱状電極
50…ゲートドライブ部
52…パワーモジュール部
53…3相モータ部
54、64…熱伝導性絶縁フィルム
54a、54b…削除部
56…セラミックパッケージ外壁
56a、58…開口部
701〜706…ゲートドライブ回路
72…応力緩和構造
74…空隙部
76…ゲートドライブ集積回路
80…半導体パワーモジュール実装基板
92、94…金属板
96…金属配線
96a…表面
96b…裏面
98…配線基板
100、102…ヒートスプレッダ
104、105、106、108…高熱伝導金属層
110…ネジ穴
124…n+ドレイン領域(n+基板)
126…n-エピタキシャル成長層
128…ベース領域
130…ソース/ドレイン領域
132…ゲート絶縁膜
134…ソース電極
136…ドレイン電極
138…ゲート電極
CS…ソースコンタクト
CG…ゲートコンタクト
CD…ドレインコンタクト
Claims (23)
- 第1銅プレート層と、
前記第1銅プレート層上に配置された半導体デバイスと、
前記半導体デバイス上に配置された熱伝導性絶縁層と、
前記熱伝導性絶縁層に開口された第1開口部を介して前記半導体デバイス表面に接続された第1端子電極と、
前記熱伝導性絶縁層に開口された第2開口部を介して前記第1銅プレート層に接続された第2端子電極と、
前記熱伝導性絶縁層上に配置された第2銅プレート層と
を備え、
前記熱伝導性絶縁層と前記第2銅プレート層の積層構造の一部に熱応力を緩和するための応力緩和構造を有し、
前記半導体デバイスの裏面と表面の両面から放熱を行うことを特徴とするパワーモジュール半導体装置。 - 第1銅プレート層と、
前記第1銅プレート層上に配置された半導体デバイスと、
前記半導体デバイス上に配置された熱伝導性絶縁層と、
前記熱伝導性絶縁層に開口された第1開口部を介して前記半導体デバイス表面に接続された第1端子電極と、
前記熱伝導性絶縁層に開口された第2開口部を介して前記第1銅プレート層に接続された第2端子電極と
を備え、
前記第1銅プレート層は、裏面に第2銅プレート層を有する第1セラミック基板上に配置され、
前記第1セラミック基板上に配置された第2セラミック基板と、
前記第2セラミック基板上、前記熱伝導性絶縁層との間に配置された第3セラミック基板と、
前記熱伝導性絶縁層上に配置された第4セラミック基板と
を備え、前記第1〜第4セラミック基板は、積層面において互いに接着樹脂層で接着されており、
前記半導体デバイスの裏面と表面の両面から放熱を行うことを特徴とするパワーモジュール半導体装置。 - 前記第1銅プレート層と前記半導体デバイス間には、モリブデン−銅合金または銅モリブデンのいずれかからなる電極層を備えることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記半導体デバイス上に配置された柱状電極をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記パワーモジュール半導体装置を搭載するヒートスプレッダと、
前記柱状電極上に配置された金属板と
を備え、前記金属板と前記ヒートスプレッダの反りの方向を合わせたことを特徴とする請求項4に記載のパワーモジュール半導体装置。 - 前記ヒートスプレッダ上にはさらにDBC基板を備えることを特徴とする請求項5に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記半導体デバイスのゲート電極は、金属材料で形成されたことを特徴とする請求項6に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記第1銅プレート層は、裏面に第2銅プレート層を有するセラミック基板上に配置されたことを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記第1銅プレート層と前記半導体デバイス間には、銅合金または銅モリブデン電極層を備えることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 第1銅プレート層と、
前記第1銅プレート層上に配置された半導体デバイスと、
前記半導体デバイス上に配置された熱伝導性絶縁層と、
前記熱伝導性絶縁層に開口された第1開口部を介して前記半導体デバイス表面に接続された第1端子電極と、
前記熱伝導性絶縁層に開口された第2開口部を介して前記第1銅プレート層に接続された第2端子電極と
を備え、
前記熱伝導性絶縁層は、前記半導体デバイスを被覆するコーナー部分に削除部を形成しており、
前記半導体デバイスの裏面と表面の両面から放熱を行うことを特徴とするパワーモジュール半導体装置。 - 前記応力緩和構造は、前記半導体デバイスの周囲を取り囲み配置されることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記応力緩和構造は、前記セラミック基板の反りによって、引延ばされる方向に垂直な方向に延伸して配置されることを特徴とする請求項8に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記応力緩和構造は、前記セラミック基板の反りによって、引延ばされる方向の断面が、三角形、矩形、半円形、台形のいずれかを基調とするパターンを有することを特徴とする請求項8に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記パワーモジュール半導体装置を搭載するヒートスプレッダをさらに備え、
前記第1端子電極は、前記半導体デバイス上に配置された柱状電極と、前記柱状電極上に配置された金属板とを備え、
前記金属板と前記ヒートスプレッダの反りの方向を合わせたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のパワーモジュール半導体装置。 - 前記金属板は、前記ヒートスプレッダの長手方向に沿ってスリット形状を備えることを特徴とする請求項5または14に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記スリット形状は、前記ヒートスプレッダの長手方向に沿う櫛形、長方形、円形ドット配列のいずれかであることを特徴とする請求項15に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記スリット形状は、前記ヒートスプレッダの長手方向に沿う櫛形もしくは長方形を備え、かつ前記スリット形状の端部は、曲線形、矩形もしくは三角形を有することを特徴とする請求項15に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記ヒートスプレッダは、前記半導体デバイスを搭載する部分に、高熱伝導率の金属を埋め込む構造を備えることを特徴とする請求項5または14に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記ヒートスプレッダは、さらに前記第1端子電極および前記第2端子電極を搭載する部分と、前記熱伝導性絶縁層を搭載する部分とのいずれか一方または両方に、高熱伝導率の金属を埋め込む構造を備えることを特徴とする請求項5に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記ヒートスプレッダは、前記半導体デバイスを搭載する部分、および前記ヒートスプレッダを固定するために形成されたネジ穴から遠い部分に高熱伝導率の金属を埋め込む構造を備えることを特徴とする請求項5または14に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記ヒートスプレッダはCuMoで形成され、かつ前記高熱伝導率の金属は、Cuで形成されたことを特徴とする請求項18〜20のいずれか1項に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記熱伝導性絶縁層上に前記半導体デバイスを駆動するゲートドライブ集積回路をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3、8〜21のいずれか1項に記載のパワーモジュール半導体装置。
- 前記半導体デバイスを駆動するためのゲートドライブ回路を備え、
前記ゲートドライブ回路から前記半導体デバイスまでの金属配線の配線長をゲートドライブ信号波長の半波長の奇数倍とし、
前記半導体デバイスのゲート電極は、金属材料で形成され、
前記金属配線の表面と裏面に粗面化し、前記金属配線の表面と裏面で、信号伝達速度を合わせたことを特徴とする請求項請求項1〜3、8〜21のいずれか1項に記載のパワーモジュール半導体装置。
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