JP5996983B2 - 電子部品装着装置 - Google Patents
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Description
この場合、好ましくは、測定対象面は、装着対象物の被装着面、吸着のために半導体チップが保持される取出部の保持面、および、半導体チップに転写材を転写するための転写ユニットの転写面の少なくともいずれかを含む。
上記電子部品が半導体チップである構成において、好ましくは、半導体チップは、回路形成されたウエハが半導体チップ毎に分割された分割済みウエハにより供給され、制御部は、分割済みウエハの管理情報に基づき、不良と判断された半導体チップの分割済みウエハ中における位置および個数を取得するように構成されている。
上記一の局面による電子部品装着装置において、好ましくは、制御部は、吸着ノズルにより吸着した装着対象の電子部品が不良電子部品であるか否かを判別するとともに、判別した不良電子部品を用いて吸着ノズルによる測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得するように構成されている。
上記一の局面による電子部品装着装置において、好ましくは、不良電子部品を回収して保管するための回収容器をさらに備え、制御部は、回収容器に収容された不良電子部品を用いて吸着ノズルによる測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得するように構成されている。
まず、図1〜図4を参照して、本発明の第1実施形態による電子部品装着装置100の構造について説明する。
次に、図6〜図8を参照して、本発明の第2実施形態による高さ・平坦度測定処理の制御について説明する。第2実施形態では、ウエハWから不良チップNを取得して高さ・平坦度測定を実施するように構成した上記第1実施形態とは異なり、ベアチップCがキャリアテープに個別収納され、テープフィーダ31によって供給される場合の高さ・平坦度測定処理について説明する。なお、第2実施形態による電子部品装着装置の装置構成は上記第1実施形態と同様であるので、説明を省略する。
次に、図1、図6、図7および図9〜図11を参照して、本発明の第3実施形態による高さ・平坦度測定処理の制御について説明する。第3実施形態では、吸着したベアチップCの画像認識の結果、不良である(不良チップNである)と判定した場合に、高さ・平坦度測定処理を開始するように構成した上記第2実施形態とは異なり、不良チップNを廃棄せずに回収(保管)しておくことによって、ベアチップCがキャリアテープにより供給される場合にも任意のタイミングで高さ・平坦度測定処理を開始可能に構成した例について説明する。
41 吸着ノズル
43 サーボモータ(モータ)
43a エンコーダ(検出部)
C ベアチップ(半導体チップ、電子部品)
M 装着対象物
MP 測定対象面
N 不良チップ(不良電子部品)
100 電子部品装着装置
Claims (10)
- 電子部品を吸着して前記電子部品を装着対象物に装着するための吸着ノズルと、
前記吸着ノズルの上下方向の高さ位置に関する情報を検出する検出部と、
装着対象の電子部品と同じ電子部品で不良と判断された不良電子部品を前記吸着ノズルの先端と測定対象面との間に介在させた状態で前記検出部により検出された前記情報に基づいて、前記測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得する制御部とを備え、
前記制御部は、前記測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得した後、前記不良電子部品を前記装着対象物に装着することなく廃棄するように構成されている、電子部品装着装置。 - 前記制御部は、前記不良電子部品を前記吸着ノズルの先端と前記測定対象面との間に介在させた状態における前記吸着ノズルの先端の高さ位置と、前記不良電子部品の厚みとに基づき、前記測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得するように構成されている、請求項1に記載の電子部品装着装置。
- 前記制御部は、前記吸着ノズルに前記不良電子部品を吸着させた状態で、前記測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得するように構成されている、請求項1または2に記載の電子部品装着装置。
- 前記吸着ノズルを上下方向に移動させるモータをさらに備え、
前記検出部は、前記モータに設けられたエンコーダであり、
前記制御部は、前記不良電子部品を前記吸着ノズルの先端と前記測定対象面との間に介在させた状態における前記エンコーダの出力に基づき、前記吸着ノズルの先端の高さ位置を取得するように構成されている、請求項2に記載の電子部品装着装置。 - 前記不良電子部品を用いた前記測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方の取得結果に基づき、前記吸着ノズルの昇降動作時の高さ位置設定が補正されるように構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子部品装着装置。
- 前記電子部品は、半導体チップであり、
前記不良電子部品は、不良と判断された前記半導体チップである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の電子部品装着装置。 - 前記測定対象面は、前記装着対象物の被装着面、吸着のために前記半導体チップが保持される取出部の保持面、および、前記半導体チップに転写材を転写するための転写ユニットの転写面の少なくともいずれかを含む、請求項6に記載の電子部品装着装置。
- 前記半導体チップは、回路形成されたウエハが前記半導体チップ毎に分割された分割済みウエハにより供給され、
前記制御部は、前記分割済みウエハの管理情報に基づき、前記不良と判断された半導体チップの前記分割済みウエハ中における位置および個数を取得するように構成されている、請求項6または7に記載の電子部品装着装置。 - 前記制御部は、前記吸着ノズルにより吸着した装着対象の前記電子部品が前記不良電子部品であるか否かを判別するとともに、判別した前記不良電子部品を用いて前記吸着ノズルによる前記測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得するように構成されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の電子部品装着装置。
- 前記不良電子部品を回収して保管するための回収容器をさらに備え、
前記制御部は、前記回収容器に収容された前記不良電子部品を用いて前記吸着ノズルによる前記測定対象面の高さ位置および平坦度の少なくとも一方を取得するように構成されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の電子部品装着装置。
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