JP5972270B2 - センサアセンブリ - Google Patents
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Claims (38)
- 中心層と、
前記中心層を略囲み、センサ本体の前端部に沿って延出して窓層を構成する外側の絶縁層と、
前記中心層と前記窓層の間を含む、前記中心層と前記外側の絶縁層の間に構成される導電性の電極層を有し、
前記窓層は、無孔性のセラミックにより構成されて、前記センサ本体を構成する層の間のあらゆる境界面から気体を遮断して密封状態とする一方、前記中心層と前記外側の絶縁層は、同じ非導電性のセラミック材料から予め別々のバルク状の構成要素として形成されたものであり、前記中心層と前記外側の絶縁層が互いに接合されて一体的な多層のセンサ本体を構成するようになっている
ことを特徴とするセンサ本体。 - 前記外側の絶縁層は、主要部と、前記センサ本体の前記窓層を構成する窓部を有する一体品とされている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記外側の絶縁層は、主要部と、前記主要部と接合されて前記センサ本体の前記窓層を構成する別体の円盤状部を有する二分割品とされている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記セラミック材料が無孔性とされている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記窓層が電磁放射に対して略透過性を有しているとされている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記電極層が、前記中心層を構成するセラミック製の構成要素および/または前記外側の絶縁層を構成するセラミック製の構成要素に対して、前記セラミック製の構成要素の両方が互いに接合されて前記センサ本体を構成する前に、コーティングとして適用されている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記電極層が1つ以上の層もしくはコーティングを含んで構成されている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記電極層が、導電性のセラミック材料やセラミック混合材料や金属や金属合金やそれらを任意に配合したものから構成されている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記電極層がチタンあるいはチタン合金から構成されている請求項8に記載のセンサ本体。
- 前記電極層が窒化チタンから構成されている請求項8に記載のセンサ本体。
- 前記電極層が、ろう付け用合金層のみ、あるいは導電性のセラミック材料やセラミック混合材料や金属や金属合金と結合したろう付け用合金層を含んで構成されている請求項8に記載のセンサ本体。
- 導電性のシールド層が、前記中心層と前記外側の絶縁層の間に配設されている請求項1に記載のセンサ本体。
- 前記シールド層が、内側の絶縁層によって前記電極層と離隔されている一方、前記中心層や前記外側の絶縁層や前記内側の絶縁層が、同じ非導電性のセラミック材料から予め別々の構成要素として構成されたものであり、前記中心層と前記外側の絶縁層が互いに接合されてセンサ本体を構成している請求項12に記載のセンサ本体。
- 前記シールド層が、前記内側の絶縁層を構成するセラミック製の構成要素および/または前記外側の絶縁層を構成するセラミック製の構成要素に対して、前記セラミック製の構成要素の両方が互いに接合されて前記センサ本体を構成する前に、コーティングとして適用されている請求項13に記載のセンサ本体。
- 前記シールド層が1つ以上の層もしくはコーティングを含んで構成されている請求項12に記載のセンサ本体。
- 前記シールド層が、導電性のセラミック材料やセラミック混合材料や金属や金属合金やそれらを任意に配合したものから構成されている請求項12に記載のセンサ本体。
- 前記シールド層がチタンあるいはチタン合金から構成されている請求項16に記載のセンサ本体。
- 前記シールド層が窒化チタンから構成されている請求項16に記載のセンサ本体。
- 前記シールド層が、ろう付け用合金層のみ、あるいは導電性のセラミック材料やセラミック混合材料や金属や金属合金と結合したろう付け用合金層を含んで構成されている請求項16に記載のセンサ本体。
- さらに放射状のフランジを含んで構成されている請求項1に記載のセンサ本体。
- 中心層と、
前記中心層を略囲む外側の絶縁層と、
前記中心層と前記外側の絶縁層の間に構成された導電性の電極層を有し、
前記中心層と前記外側の絶縁層が同じ非導電性のセラミック材料から予め別々のバルク状の構成要素として形成されたものであり、前記中心層と前記外側の絶縁層が互いに接合されており、
前記電極層が、少なくとも一部分はチタンやチタン合金や窒化チタンから構成されている一方、
前記外側の絶縁層が、センサ本体の前端部に沿って延出して窓層を構成する一方、前記窓層は、無孔性のセラミックにより構成されて、前記センサ本体を構成する層の間のあらゆる境界面から気体を遮断して密封状態とする
ことを特徴とする同軸のセンサ本体。 - 前記電極層が、前記中心層と前記窓層間に延び出して構成されている請求項21に記載の同軸のセンサ本体。
- 前記中心層と前記外側の絶縁層が、予め別々の構成要素として形成されたものであり、前記中心層と前記外側の絶縁層が互いに接合されて一体的な多層のセンサ本体を構成するようになっている請求項21に記載の同軸のセンサ本体。
- 中心層と、
前記中心層を略囲む外側の絶縁層と、
前記中心層と前記外側の絶縁層の間に構成された導電性の電極層と、
前記中心層と前記外側の絶縁層の間に構成され、内側の絶縁層によって前記電極層と離隔された導電性のシールド層を有し、
前記中心層と前記外側の絶縁層と前記内側の絶縁層が同じ非導電性のセラミック材料から予め別々のバルク状の構成要素として形成されたものであり、前記中心層と前記外側の絶縁層と前記内側の絶縁層が互いに接合されており、
前記電極層と前記シールド層の一方もしくは両方が、少なくとも一部分はチタンやチタン合金や窒化チタンから構成されている一方、
前記外側の絶縁層が、センサ本体の前端部に沿って延出して窓層を構成する一方、前記窓層は、無孔性のセラミックにより構成されて、前記センサ本体を構成する層の間のあらゆる境界面から気体を遮断して密封状態とする
ことを特徴とする三重同軸のセンサ本体。 - 前記電極層が、前記中心層と前記窓層間に延び出して構成されている請求項24に記載の三重同軸のセンサ本体。
- 前記中心層と前記外側の絶縁層と前記内側の絶縁層が、予め別々のバルク状の構成要素として形成されたものであり、前記中心層と前記外側の絶縁層と前記内側の絶縁層が互いに接合されて一体的な多層のセンサ本体を構成するようになっている請求項24に記載の三重同軸のセンサ本体。
- (a)中心層と、
前記中心層を略囲み、センサ本体の前端部に沿って延出して窓層を構成する外側の絶縁層と、
前記中心層と前記窓層の間を含む、前記中心層と前記外側の絶縁層の間に構成される導電性の電極層と、
放射状のフランジを有し、
前記窓層は、無孔性のセラミックにより構成されて、前記センサ本体を構成する層の間のあらゆる境界面から気体を遮断して密封状態とする一方、前記中心層と外側の絶縁層は、同じ非導電性のセラミック材料から予め別々のバルク状の構成要素として形成されたものであり、前記中心層と前記外側の絶縁層が互いに接合されて一体的な多層のセンサ本体を構成するようになっているセンサ本体と、
(b)前記センサ本体の前記放射状のフランジが受け入れられる環状の溝を有するハウジングを有し、
前記環状の溝は、一対の対向する肩部によって構成されている一方、前記一対の対向する肩部は各々、環状の面と略円柱状の面を含んで構成されており、
前記肩部の前記環状の面は、前記フランジの環状の面に滑り接触して、前記フランジに圧縮荷重を印加するようになっている
ことを特徴とするセンサアセンブリ。 - 前記ハウジングは2つのハウジング部から成り、第1のハウジング部内には一方の前記対向する肩部が形成されている一方、第2のハウジング部内には他方の前記対向する肩部が形成されている請求項27に記載のセンサアセンブリ。
- 前記第1のハウジング部が、前記第2のハウジング部に対して固定されている請求項28に記載のセンサアセンブリ。
- 前記センサ本体が前記ハウジングに対して固定されていない請求項28に記載のセンサアセンブリ。
- 前記ハウジングと前記フランジの前記環状の面間の圧縮荷重下での滑り接触により、前記ハウジングと前記センサ本体間が密封されるようになっている請求項28に記載のセンサアセンブリ。
- バルク状の中心の構成要素を提供する工程と、
前記中心の構成要素と同じ非導電性のバルク状のセラミック材料から構成され、穴を有する外側の絶縁性の構成要素を前記中心の構成要素とは別体の構成要素として提供する工程と、
前記中心の構成要素および/または前記外側の絶縁性の構成要素の前記穴に対するコーティングとして導電性の電極層を適用する工程と、
前記穴内に前記中心の構成要素を配設する工程と、
前記中心の構成要素と前記外側の絶縁性の構成要素を互いに接合して、一体的な多層のセンサ本体を構成する工程を備え、
前記センサ本体が、中心層と、前記中心層を略囲み、前記センサ本体の前端部に沿って延出して、前記センサ本体を構成する層間のあらゆる境界面から気体を遮断するように密封する窓層を無孔性のセラミックで構成する、外側の絶縁層と、前記中心層と前記窓層の間を含む、前記中心層と前記外側の絶縁層の間に設けられた前記導電性の電極層と、を含んで構成されている
ことを特徴とする同軸のセンサ本体の製造方法。 - 前記外側の絶縁性の構成要素が、主要部と、前記センサ本体の前記窓層を構成する窓部とを有する一体品とされている一方、前記窓部が、前記中心の構成要素が配設された行き止まりの穴の閉端によって構成されている請求項32に記載の同軸のセンサ本体の製造方法。
- 前記外側の絶縁性の構成要素は、主要部と、前記主要部と接合されて、前記中心の構成要素が配設され且つ前記センサ本体の前記窓層を構成する開口する穴の端部を塞ぐ別体の円盤状部とを有する二分割品とされている請求項32に記載の同軸のセンサ本体の製造方法。
- バルク状の中心の構成要素を提供する工程と、
前記中心の構成要素と同じ非導電性のセラミック材料から構成され、穴を有する内側の絶縁性のバルク状の構成要素を前記中心の構成要素とは別の構成要素として提供する工程と、
前記内側の絶縁性のバルク状の構成要素と同じ非導電性のセラミック材料から構成され、穴を有する外側の絶縁性のバルク状の構成要素を前記中心の構成要素および前記内側の絶縁性のバルク状の構成要素とは別の構成要素として提供する工程と、
前記中心の構成要素および/または前記内側の絶縁性の構成要素の前記穴に対するコーティングとして導電性の電極層を適用する工程と、
前記穴内に前記中心の構成要素を配設する工程と、
前記内側の絶縁性の構成要素および/または前記外側の絶縁性の構成要素の前記穴に対するコーティングとして導電性のシールド層を適用する工程と、
前記穴内に前記中心の構成要素と前記内側の絶縁性の構成要素を配設する工程と、
前記中心の構成要素と前記内側の絶縁性の構成要素と前記外側の絶縁性の構成要素を互いに接合して、一体的な多層のセンサ本体を構成する工程を備え、
前記センサ本体が、中心層と、前記中心層を略囲み、前記センサ本体の前端部に沿って延出して、前記センサ本体を構成する層間のあらゆる境界面から気体を遮断するように密封する窓層を無孔性のセラミックで構成する、外側の絶縁層と、前記中心層と前記窓層の間を含む、前記中心層と前記外側の絶縁層の間に設けられた導電性の電極層と、
前記中心層と前記外側の絶縁層の間に配設され且つ内側の絶縁層によって前記電極層から離隔されている前記導電性のシールド層と、を含んで構成されている
ことを特徴とする三重同軸のセンサ本体の製造方法。 - 前記外側の絶縁性の構成要素は、主要部と、前記センサ本体の前記窓層を構成する窓部とを有する一体品とされている一方、前記窓部が、前記中心の構成要素と前記内側の絶縁性の構成要素が配設された行き止まりの穴の閉端によって構成されている請求項35に記載の三重同軸のセンサ本体の製造方法。
- 前記外側の絶縁性の構成要素は、主要部と、前記主要部と接合されて、前記中心の構成要素と前記内側の絶縁性の構成要素が配設され且つ前記センサ本体の前記窓層を構成する開口する穴の端部を塞ぐ別体の円盤状部とを有する二分割品とされている請求項35に記載の三重同軸のセンサ本体の製造方法。
- 前記中心の構成要素と前記内側の絶縁性の構成要素は、前記外側の絶縁性の構成要素中に形成される前記穴内に配設される前に、互いに接合されるようになっている請求項35に記載の三重同軸のセンサ本体の製造方法。
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