JP5963580B2 - ウエーハの加工装置 - Google Patents
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Description
14 オペレーション表示モニタ
40 チャックテーブル
70 切削ブレード
76 コントローラ
78 外径サイズ記憶部
80 周速度記憶部
82 角速度算出部
84 制御部
Claims (1)
- ウエーハの外周縁に切削ブレードを切り込ませた状態でウエーハを回転させることでウエーハの外周縁に円形加工を施すウエーハの加工装置であって、
ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと該チャックテーブルを回転させる駆動源とを含む保持手段と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを含む切削手段と、
該切削手段を該保持面に対して接近離反可能に相対移動させる移動手段と、
ウエーハの外径サイズ及び該チャックテーブルに保持されたウエーハ加工時のウエーハ外周の周速度を入力する入力手段と、
該移動手段と該駆動源とを制御する制御部を含む制御手段と、を備え、
該制御手段は、
該入力手段で入力されたウエーハの外径サイズを記憶する外径サイズ記憶部と、
該入力手段で入力された該ウエーハ外周の周速度を記憶する周速度記憶部と、
該外径サイズ記憶部で記憶されたウエーハの外径サイズと該周速度記憶部で記憶された該周速度に基づいて、該チャックテーブルを回転させる角速度を算出する角速度算出部と、を有し、
該制御部は該角速度算出部で算出された角速度に基づいて該チャックテーブルを回転させることを特徴とするウエーハの加工装置。
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JP2012155264A JP5963580B2 (ja) | 2012-07-11 | 2012-07-11 | ウエーハの加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012155264A JP5963580B2 (ja) | 2012-07-11 | 2012-07-11 | ウエーハの加工装置 |
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Family Applications (1)
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