JP5290783B2 - 研削装置のチャックテーブルの基準位置確認方法 - Google Patents
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Description
該厚み計測機構が該チャックテーブルの保持面に対して垂直に延びる一対の案内レールと、該一対の案内レール間にリテーナによって支持されたベアリングを介して該一対の案内レールに沿って移動可能に配設され下端に計測ロッドが装着された移動レールと、該移動レールを該一対の案内レールに沿って上方に移動し該計測ロッドを該チャックテーブルの保持面より上方の退避位置に位置付けるとともに該移動レールを自重で下降せしめる移動レール作動手段と、該移動レールの高さ位置を検出する位置検出手段と、制御手段および表示手段と、を具備している研削装置のチャックテーブルの基準位置確認方法であって、
該計測ロッドを該チャックテーブルの上方である第1の計測位置に位置付けた後、該移動レール作動手段を作動して該移動レールを該退避位置から自重で下降せしめた状態において該位置検出手段が第1の位置信号を該制御手段に出力する第1の位置検出工程と、
該計測ロッドを該チャックテーブルから離隔した第2の計測位置に位置付けた後、該移動レール作動手段を作動して該移動レールを該退避位置から自重で下降せしめた状態において該位置検出手段が第2の位置信号を該制御手段に出力する第2の位置検出工程と、
該第1の位置信号と該第2の位置信号を入力した制御手段が該第1の位置と該第2の位置の差を求め、該第1の位置と該第2の位置の差が所定値以上の場合は該第1の位置をチャックテーブルの基準位置と判定し、該第1の位置と該第2の位置の差が所定値未満の場合には故障と判定し、該判定結果を該表示手段に表示する基準位置確認工程と、を含む、
研削装置のチャックテーブルの基準位置確認方法が提供される。
図1には、本発明に従って構成された研削装置の斜視図が示されている。図1に示す研削装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上下方向に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221には、研削手段としての研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
先ず、上記厚み計測機構7の計測ロッド85がチャックテーブル62の保持面に確実に接触し基準位置を正確に検出することができるか否かを確認するためのチャックテーブルの基準位置確認作業について説明する。
研削作業は、被加工物搬入・搬出域24に位置付けられたチャックテーブル62の上面である保持面上に被加工物としてのウエーハ11を載置する。なお、ウエーハ11にはデバイスが形成された表面にデバイスを保護するための保護テープ12が貼着されており、この保護テープ12側をチャックテーブル62の上面である保持面に載置する。従って、チャックテーブル62上に保持されたウエーハ11は、裏面が上側となる。このようにしてチャックテーブル62上に被加工物としてのウエーハ11を載置したならば、制御手段10は図示しない吸引手段を作動する。この結果、チャックテーブル62上に載置されたウエーハ11は、保護テープ12を介してチャックテーブル62上に吸引保持される。このようにして、チャックテーブル62上にウエーハ11を吸引保持したならば、制御手段10は上記チャックテーブル移動機構66のサーボモータ662を作動してチャックテーブル62を矢印23aで示す方向に移動し研削域25に位置付ける。このとき、厚み計測機構7の移動レール作動手段87のエアーシリンダ機構870を作動してピストンロッド871を上昇し、計測ロッド85を図5において2点鎖線で示すチャックテーブル62の保持面より上方の退避位置に位置付け、チャックテーブル62の研削域25への位置付けを妨げないようにしている。
3:研削ユニット
4:スピンドルユニット
42:回転スピンドル
45:研削ホイール
5:研削送り手段
6:チャックテーブル機構
62:チャックテーブル
66:チャックテーブル移動機構
7:厚み計測機構
8:計測部
82、82:一対の案内レール
85:計測ロッド
86:移動レール
87:移動レール作動手段
88:位置検出手段
10:制御手段
11:ウエーハ
12:保護テープ
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削するための研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向に研削送りする研削送り手段と、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物の厚みを計測する厚み計測機構とを具備し、
該厚み計測機構が該チャックテーブルの保持面に対して垂直に延びる一対の案内レールと、該一対の案内レール間にリテーナによって支持されたベアリングを介して該一対の案内レールに沿って移動可能に配設され下端に計測ロッドが装着された移動レールと、該移動レールを該一対の案内レールに沿って上方に移動し該計測ロッドを該チャックテーブルの保持面より上方の退避位置に位置付けるとともに該移動レールを自重で下降せしめる移動レール作動手段と、該移動レールの高さ位置を検出する位置検出手段と、制御手段および表示手段と、を具備している研削装置のチャックテーブルの基準位置確認方法であって、
該計測ロッドを該チャックテーブルの上方である第1の計測位置に位置付けた後、該移動レール作動手段を作動して該移動レールを該退避位置から自重で下降せしめた状態において該位置検出手段が第1の位置信号を該制御手段に出力する第1の位置検出工程と、
該計測ロッドを該チャックテーブルから離隔した第2の計測位置に位置付けた後、該移動レール作動手段を作動して該移動レールを該退避位置から自重で下降せしめた状態において該位置検出手段が第2の位置信号を該制御手段に出力する第2の位置検出工程と、
該第1の位置信号と該第2の位置信号を入力した制御手段が該第1の位置と該第2の位置の差を求め、該第1の位置と該第2の位置の差が所定値以上の場合は該第1の位置をチャックテーブルの基準位置と判定し、該第1の位置と該第2の位置の差が所定値未満の場合には故障と判定し、該判定結果を該表示手段に表示する基準位置確認工程と、を含む、
研削装置のチャックテーブルの基準位置確認方法。
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