JP5959247B2 - 顕微鏡 - Google Patents
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Description
一方、ピント合わせ作業における操作性が悪い顕微鏡装置の場合、ユーザの疲労や生産効率の低下といった影響を及ぼすことがある。
例えば、特許文献1には、焦点検出光取得手段として2分割ディテクタを使用し、対物レンズごとに異なる合焦検出用の赤外光と実際に観察する可視光との波長差を補正すると共に、試料の光軸方向における任意の位置に対する合焦動作(フォーカスオフセット)を行うことができるように、光軸方向に一定量だけ移動可能なレンズを設けて、赤外光の焦点位置を調整する自動焦点検出顕微鏡が開示されている。
図1は、本発明の実施の形態1に係る顕微鏡の構成を模式的に示す一部断面図である。また、図2は、図1のA−Aにおける顕微鏡本体内の一部断面図である。なお、図2においては、図1に示す落射蛍光投光管130及び励起フィルタ131の記載を省略している。
透過照明支柱103内には、光源104から出射した照明光を試料ステージ101の方向に折り曲げるミラー111が設けられている。また、透過照明支柱103には、ミラー111が折り曲げた照明光を収束させるコンデンサレンズ112が取り付けられている。
表示部24は、LCDや有機EL等のディスプレイであり、制御部21の制御の下で種々の画像や情報を表示する。
投光側ストッパ156は、コリメートされたAF光のうち、AF光の光軸と直交する面における半分の領域をカットする。
λ/4波長板155は、透過するAF光を直線偏光から円偏光へ、または円偏光から直線偏光に変換する。センサヘッド106において、λ/4波長板155は、偏光ビームスプリッタ153を通過した直線偏光の方向に対して光学軸が45°となるように配置される。
位置検出器158は、AF光を入射させる受光面を有し、AF光が結像したスポットの位置に応じた電圧信号を出力する。
増幅器159は、位置検出器158が出力した電圧信号を所定の増幅率で増幅する。
A/D変換器160は、増幅された電圧信号をディジタル値に変換して制御装置20に出力する。
入力部22に設けられたオートフォーカススイッチが押下されると、制御部21は、光源駆動部151に対し、動作を開始させる制御信号を出力する。それに応じて、光源駆動部151は、基準光源150の発振を開始させる。基準光源150から出射したAF光は、コリメートレンズ152、偏光ビームスプリッタ153、集束レンズ154、λ/波長板155、ダイクロイックミラー123、及び対物レンズ121を介して、試料SP又はその近傍に集光する。
オートフォーカス動作中、制御部21は、パルスカウンタ27の出力信号に基づいてジョグエンコーダ26をモニタする。そして、ジョグエンコーダ26において回転を示す信号が発生した場合、制御部21は、当該回転量に応じてフォーカスオフセット値を変更する。より詳細には、制御部21は、回転量に応じたフォーカスオフセット値を、対物レンズ121ごとに設定され、予めメモリ23に記憶されているAF目標値に加算して、AF目標位置を更新する。そして、現在のPSD出力値と更新されたAF目標値とを比較して、その差分がゼロとなるように、比較制御等を用いて焦準用モータ駆動部109を制御することにより、試料ステージ101を移動させる。このような動作を繰り返し実行することで、オートフォーカス動作によって検出された合焦位置に対してフォーカスオフセット値が付加設定され、ユーザが観察したい部位に合焦させることができる。
次に、上記実施の形態1と同様の構成の顕微鏡1において、乾燥系の対物レンズを用いる場合について、図7を参照しながら説明する。
この場合、ガラスボトムディッシュ100と対物レンズ121との間の空間は空気(屈折率1)で満たされるため、ガラスボトムディッシュ100と試料SPとの境界面C1における反射率が約0.4%であるのに対し、ガラスボトムディッシュ100と空気との境界面C2における反射率が圧倒的に大きくなる。このため、対物レンズ121によって試料SP又はその近傍に集光されるAF光は、境界面C2においてほとんど反射されることになる。
上記実施の形態1とその変形例1においては、液浸系対物レンズと乾燥系対物レンズとで、対物レンズの焦点位置に対するAF光の集光位置のシフト量δ、δ’が異なっている。そこで、集束レンズ154を、手動又は電動で焦点距離の切換が可能なズーム光学系で構成し、対物レンズの焦点距離とAF光の集光位置との間のシフト量を2段階以上で切り換える切換手段を設けることにより、液浸系の対物レンズと乾燥系対物レンズとの両方で使用可能な顕微鏡を実現することができる。或いは、集束レンズ154を光軸に沿って移動させる移動手段を設けることにより、対物レンズの焦点距離とAF光の集光位置との間のシフト量を変化させるようにしても良い。
図3に示す集束レンズ154は、例えば図8(a)、(b)に示すような2つのレンズを含むリレー光学系で構成しても良い。
図8(a)に示す構成は、互いに焦点に近い位置に配置された2枚の正のレンズ171、172と、レンズ172の光軸方向に駆動するモータ173とを含む。一方、図8(b)においては、互いに焦点に近い位置に配置された正のレンズ174及び負のレンズ175と、レンズ175を光軸方向に駆動するモータ176とを含む。なお、いずれの構成においてもレンズ172、175の移動をガイドするガイド手段は省略されている。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。
図10は、実施の形態2に係る顕微鏡の一部の構成を示す模式図である。
図10に示すように、実施の形態2に係る顕微鏡(以下、単に顕微鏡ともいう)1は、図3に示すオートフォーカスセンサヘッド(以下、単にセンサヘッドともいう)106の代わりに、オートフォーカスセンサヘッド180を備える。なお、実施の形態2に係る顕微鏡におけるオートフォーカスセンサヘッド180以外の構成については、図1及び図2に示すものと同様である。
10 顕微鏡本体
20 制御装置
21 制御部
22 入力部
23 メモリ
24 表示部
26 ジョグエンコーダ
27 パルスカウンタ
100 ガラスボトムディッシュ
101a 開口
101 試料ステージ
102 筐体
103 透過照明支柱
104 105 光源
106 オートフォーカスセンサヘッド
107 撮像素子
108 焦準用モータ
109 焦準用モータ駆動部
110 焦準ハンドル
111 ミラー
112 コンデンサレンズ
121、121’ 対物レンズ
122 レボルバ
123 ダイクロイックミラー
124 蛍光フィルタカセット
125 結像レンズ
126 光路切換プリズム
127 ミラー
128 リレーレンズ
129 接眼レンズ
130 落射蛍光投光管
131 励起フィルタ
132 ダイクロイックミラー
133 吸収フィルタ
141 レボルバ用モータ
142 レボルバ用モータ駆動部
143 レボ孔位置検出部
150 基準光源
151 光源駆動部
152 コリメートレンズ
153 偏光ビームスプリッタ
154、157 集束レンズ
155 λ/4波長板
156 投光側ストッパ
158 位置検出器
159 増幅器
160 A/D変換器
171、172、174、175 レンズ
173、176 モータ
180 オートフォーカスセンサヘッド
181 コリメータレンズ
182 CCDセンサ
Claims (6)
- 対物レンズと、
観察対象である試料が載置された保持部材と前記対物レンズとの相対距離を変化させる焦準手段と、
第1の照明光を前記試料に投光する照明光学系と、
前記第1の照明光が投光されることにより前記試料から出射し、前記対物レンズを通過した観察光を観察するための無限遠補正光学系である観察光学系と、
前記第1の照明光及び前記観察光とは波長が異なる第2の照明光を発振する光源と、
前記第2の照明光を前記対物レンズを通して前記試料に投光する共に、前記保持部材と前記試料との境界面である第1の反射面と、前記保持部材の第1の反射面とは反対側の面である第2の反射面とのいずれかで反射され、前記対物レンズを再び通過した前記第2の照明光を集光させる合焦検出光学系と、
前記合焦検出光学系によって集光された前記第2の照明光を検出する焦点検出器と、
前記焦点検出器により検出された前記第2の照明光のスポット像の重心情報から、前記第1又は第2の反射面と前記対物レンズの焦点位置との光軸方向における相対距離を算出する焦点位置算出手段と、
前記試料の光軸方向における観察位置を設定する入力手段と、
前記焦点位置算出手段の算出結果に基づいて、前記入力手段により設定された前記観察位置と前記対物レンズの焦点位置とを一致させるよう、前記焦準手段を制御する制御手段と、
を備え、
前記合焦検出光学系は、前記試料に投光される前記第2の照明光を集光光の状態で前記対物レンズに入射させることにより、前記第2の照明光の集光位置を前記対物レンズの焦点位置よりも該対物レンズ側にシフトさせるシフト手段を有し、
前記制御手段は、前記シフト手段によって前記第2の照明光の集光位置を前記対物レンズの焦点位置よりも該対物レンズ側にシフトさせた状態のまま、前記第2の照明光の集光位置を移動することなく、設定された前記観察位置と前記対物レンズの焦点位置とを一致させるよう前記焦準手段を制御することを特徴とする顕微鏡。 - 前記対物レンズは液浸系の対物レンズであり、
前記対物レンズの焦点位置に対する前記第2の照明光の集光位置のシフト量は、前記入力手段によって設定可能な観察位置の範囲の1/2以下であることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。 - 前記対物レンズは乾燥系の対物レンズであり、
前記対物レンズの焦点位置に対する前記第2の照明光の集光位置のシフト量は、前記入力手段によって設定可能な観察位置の範囲の1/2以下の距離と前記保持部材の厚みとを足し合わせた量であることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。 - 前記シフト手段は、
前記光源から出射した前記第2の照明光を集束させるレンズと、
前記レンズの位置を光軸に沿って移動させることにより、前記シフト量を変化させる移動手段と、
を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の顕微鏡。 - 前記シフト手段は、
前記光源から出射した前記第2の照明光の焦点距離の切換が可能なズーム光学系と、
前記焦点距離を切り換えることにより、前記シフト量を変化させる切換手段と、
を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の顕微鏡。 - 前記シフト手段は、
複数のレンズからなるリレー光学系と、
前記複数のレンズの間隔を調整することにより、前記シフト量を変化させる調整手段と、
を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の顕微鏡。
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