JP5957330B2 - ウェーハ貼着装置 - Google Patents
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Description
6 制御手段
300 ウェーハ搬送手段
301 ガイドレール
304 ウェーハ保持部
312 ウェーハ吸引パッド
313 シート吸引パッド
600 貼着装置
602 ステージ
603 樹脂供給手段
604 押圧手段
651 凹部
652 第一の保持面
653 第二の保持面
654 側面
655 第一の吸引口
656 第二の吸引口
657 閉空間
661 負圧生成源
662 圧縮エア供給源
663 分岐配管
664、665、666 開閉バルブ
Claims (1)
- シートの上面に供給された液状樹脂の上からウェーハを押圧しシートに液状樹脂を介してウェーハを貼着するウェーハ貼着装置であって、
シートを上面に保持するステージと、該ステージ上に保持されたシート上に該液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、該シート上の供給された該液状樹脂の上からウェーハを押圧する押圧手段と、該ステージ上からウェーハの搬送を行うウェーハ搬送手段とを少なくとも有し、
該ステージは、該シートを保持する第一の保持面と、周囲を該第一の保持面に囲まれ該第一の保持面よりも凹んだ第二の保持面と、該第一の保持面から該第二の保持面に至る側面と、
該第一の保持面に開口した該シートを吸引する第一の吸引口と、少なくとも該第二の保持面もしくは該側面の一方に開口した第二の吸引口と、該第一の吸引口に開閉バルブを介して連通した負圧生成源と、該第二の吸引口に連結した分岐配管のそれぞれに開閉バルブを介して連通した負圧生成源及び圧縮エア供給源と、開閉バルブの開閉タイミングを制御する制御手段とを備え、
該ウェーハ搬送手段は、該シートに該液状樹脂を介して貼着されたウェーハの上面を吸引保持するウェーハ吸引パッドと、該ウェーハ吸引パッドの外周に配設され該シートを吸引保持するためのシート吸引パッドと、該ウェーハ吸引パッド及び該シート吸引パッドを鉛直方向及び水平方向に移動させる移動部と、を備え、
該シートを該ステージに載置する際には、該制御手段は、該第一の吸引口及び該第二の吸引口を該負圧生成源に連通させ、該シートの外周を該第一の保持面に吸引保持すると共に該シートと該第二の保持面と該側面とに囲まれた空間の空気を吸引し該シートの中央を該第二の保持面に吸引保持し、
該ウェーハ搬送手段により該シートに該液状樹脂を介して貼着されたウェーハを該ステージ上から搬送する際には、該制御手段は、該第二の吸引口を該負圧生成源から圧縮エア供給源に連通させるように切り替え、該シートの外周は該第一の保持面に吸引保持されたまま該シートに貼着されたウェーハが圧縮エアにより該第二の保持面から浮き上がった状態で、該ウェーハ搬送手段の該ウェーハ吸引パッドによりウェーハが吸引保持されると共に該シート吸引パッドにより該シートが吸引保持されること、
を特徴とするウェーハ貼着装置。
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