JP4443353B2 - 基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法 - Google Patents
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また、図示していないが、チャック表面に格子状の溝を設け、この溝に吸引孔と噴出孔を兼ねる孔2を形成してもよい。
Claims (7)
- ガラス基板を載置固定する基板載置ステージにおいて、この基板載置ステージ上面には複数の真空源につながる吸引孔及び圧気源につながる噴出孔が形成され、また基板載置ステージは平面視で複数の同心状領域に分けられ、これら各領域毎に前記吸引孔を介した吸引及び噴出孔を介した噴出が独立して行なわれ、前記複数の同心状領域のうち最中心部の領域の全部または一部における吸引孔及び噴出孔の間隔は外側の領域の吸引孔及び噴出孔の間隔よりも緻密に形成され、前記基板載置ステージにはリフトピンが挿通する複数の貫通孔が形成され、中心部に近いリフトピンよりも外側のリフトピンの高さを高くし、基板中央部が撓んだ状態で支持することを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1に記載の基板載置ステージにおいて、前記吸引孔及び噴出孔は同一の孔を共用することを特徴とする基板載置ステージ。
- ガラス基板を載置固定する基板載置ステージにおいて、この基板載置ステージ上面には複数の溝が切ってあり、前記溝には複数の真空源につながる吸引孔及び圧気源につながる噴出孔が形成され、また基板載置ステージは平面視で複数の同心状領域に分けられ、これら各領域毎に前記溝に形成された前記吸引孔を介した吸引及び噴出孔を介した噴出が独立して行われ、前記溝は格子状であり、前記複数の同心状領域のうち中心部の領域の溝の間隔は、外側の領域の溝の間隔よりも細密に形成されていることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項3に記載の基板載置ステージにおいて、前記溝の寸法は1.0mm×1.0mm以下であることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1乃至請求項4に記載の基板載置ステージを用いた基板の吸着方法において、先ず基板載置ステージの複数の同心状領域のうち最中心部の領域の吸引孔によって基板を吸着した後、順次外側の同心状領域の吸引孔によって吸着するとともに、中心部の領域で基板を吸着する圧力よりも外側領域で基板を吸着する圧力の方を低くすることを特徴とする基板の吸着方法。
- 請求項5に記載の基板の吸着方法において、複数の同心状領域の全てで基板を吸着した後、外側の領域による吸着状態を維持したまま最中心部領域の吸着状態を解除することを特徴とする基板の吸着方法。
- 請求項1乃至請求項4に記載の基板載置ステージから基板を剥離する方法において、先ず基板載置ステージの複数の同心状領域のうち最中心部の領域の噴出孔から気体を噴出した後、順次外側の同心状領域の噴出孔から気体を噴出するようにしたことを特徴とする基板の剥離方法。
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