JP6184717B2

JP6184717B2 - ウェーハ貼着装置

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Publication number: JP6184717B2
Application number: JP2013068933A
Authority: JP
Inventors: 貴司小野; 寛小野寺; 桑名　一孝; 一孝桑名
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-03-28
Filing date: 2013-03-28
Publication date: 2017-08-23
Anticipated expiration: 2033-03-28
Also published as: CN104078347A; KR20140118749A; JP2014192473A; KR102036934B1

Description

本発明は、ウェーハメイキング工程においてシートに液状樹脂を介して半導体ウェーハを貼着するウェーハ貼着装置に関する。

ウェーハメイキング工程では、例えば、シリコン等の円柱状のインゴットがワイヤソーによってスライスされて、基板状のウェーハが形成される。スライスされたウェーハには、スライス時にうねりや反り等が生じるが、片面に液状樹脂が塗布されて平坦面が形成される。液状樹脂が塗布された平坦面には、ウェーハのハンドリングを容易とするシートが貼り付けられて、このシート面を基準として研削されることで、平坦な薄板状に形成される。

シートに液状樹脂を介してウェーハを貼着するウェーハ貼着装置として、加工前のウェーハの搬入から加工後のシート付きのウェーハの搬出までの一連の作業を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のウェーハ貼着装置では、透光性を有するステージ上にシートが載置され、シートに紫外線硬化性の液状樹脂が供給される。そして、液状樹脂の液溜まりにウェーハが押し付けられてウェーハとシートとの間に液状樹脂が均一に行き渡される。その後、ステージ下部に配設された紫外線照射手段から紫外線を照射することで液状樹脂を硬化させウェーハに樹脂が貼着される。

特開２０１２−１４６８７２号公報

特許文献１に記載のウェーハ貼着装置では、液状樹脂がウェーハとシートとに挟まれた状態で液状樹脂に紫外線が照射される。このとき、液状樹脂の外周縁は空気中に晒されているため、空気中の酸素によって紫外線硬化の光重合反応が阻害されるという問題がある。この問題を解決するために、紫外線照射時にステージ周囲を密閉してステージ近傍の雰囲気を窒素で満たす必要があるが、ステージ周囲の密閉後に密閉空間の空気を窒素で入れ変えなくてはならないため、紫外線照射工程に長時間を要してしまう。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、紫外線硬化工程において空気に触れているウェーハ及び液状樹脂の外周を短時間で窒素雰囲気にすることができるウェーハ貼着装置を提供することを目的とする。

本発明のウェーハ貼着装置は、ウェーハを吸着保持可能な押圧面を有する押圧手段と、
光を透過する材質で形成され該押圧面に対向して配設され光を透過するシートの下面を保持するステージと、該押圧面を該ステージに対して接近及び離反させる移動手段と、該ステージに保持された該シートの上面に紫外線を照射することにより硬化する液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、該ステージの下方に配設され該ステージ上方に向けて紫外線を照射する紫外線照射手段とを備え、該シートを介して該ステージ上面に供給された該液状樹脂を該押圧面に保持したウェーハで押圧し該液状樹脂をウェーハ下面に広げウェーハに該液状樹脂を貼着するウェーハ貼着装置であって、該押圧手段の該押圧面はウェーハと同等の外径を有し、該押圧面の外周を囲繞してリング状に複数形成された噴射口と、複数の該噴射口に連通して配設された窒素供給源とを備え、該ステージは、上面にウェーハより大径の円形凹部を有し、該シートを該円形凹部の内底面及び内周面に密着するように吸引保持し、該シートを介して該ステージ上面に供給された該液状樹脂を該押圧面に保持したウェーハで押圧し該液状樹脂をウェーハ下面に広げた後に、ウェーハ及び該液状樹脂の外周で該押圧手段と該円形凹部との間に形成される空間に向けて複数の該噴射口から窒素を噴射し、該空間の空気を瞬間的に窒素に置換してウェーハ及び該液状樹脂の外周全周が窒素で覆われた状態で、該紫外線照射手段から該ステージを透過して該液状樹脂に紫外線が照射され該液状樹脂が硬化することでウェーハに該液状樹脂を貼着すること、を特徴とする。

この構成によれば、シートを介してステージ上面に供給された液状樹脂がウェーハ下面全域に広げられた後に、複数の噴射口から窒素が噴射されることで、ウェーハ及び液状樹脂の外周全周が窒素に覆われた状態になる。よって、液状樹脂の外周縁が空気中に晒されることなく液状樹脂に紫外線が照射されるため、空気中の酸素によって液状樹脂の外周縁の硬化が阻害されることがない。また、ウェーハ及び液状樹脂の外周の雰囲気を瞬間的に窒素で覆った状態にすることができる。この結果、ウェーハ及び液状樹脂の外周の雰囲気を窒素で置換する際のダウンタイムを短くでき、紫外線硬化工程にかかる時間を短縮できる。

本発明によれば、複数の噴射口からウェーハ及び液状樹脂の周囲に窒素を噴射することで、紫外線硬化工程において空気に触れているウェーハ及び液状樹脂の外周を短時間で窒素雰囲気とすることができる。

本実施の形態に係るウェーハ貼着装置の斜視図である。本実施の形態に係る押圧手段の説明図である。本実施の形態に係るウェーハ貼着装置の貼着動作の説明図である。

近年、ウェーハはチップサイズの大型化や生産性を向上させるために、４５０ｍｍの大口径のサイズが開発されている。シートに紫外線硬化性の液状樹脂を介してウェーハを貼着する際には、ウェーハ下面に広がった液状樹脂がウェーハとシートとに挟まれた状態で紫外線が照射される。この場合、ウェーハとシートの隙間から液状樹脂の外周全周が空気中に晒されるが、ウェーハの大口径化に伴い液状樹脂の空気中への露出範囲が広がっている。

紫外線硬化性の液状樹脂は、紫外線照射時に空気中の酸素によって光重合反応が阻害され、液状樹脂の空気接触面に粘着性が残るという現象が生じる。よって、ウェーハの大口径化により空気中への液状樹脂の露出範囲が広くなることで、液状樹脂を速やかに紫外線硬化させることができない。液状樹脂の硬化速度を速めるために液状樹脂の周囲の空気を窒素で置換する方法が考えられるが、装置設備が大型化すると共にガスの置換に時間がかかるという問題がある。

本件出願人は、ウェーハの大口径化に伴って空気中への液状樹脂の露出範囲が広がる点に着目し、本件発明に至った。すなわち、本発明の骨子は、液状樹脂の周囲に窒素を噴射して液状樹脂の外周全周を窒素の壁で覆うという簡易な構成で、紫外線硬化時に酸素の影響を受けずに速やかに液状樹脂を硬化させることである。

以下、本実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施の形態に係るウェーハ貼着装置の斜視図である。なお、本実施の形態に係るウェーハ貼着装置は、図１に示す構成に限定されない。ウェーハ貼着装置は、シートに液状樹脂を介してウェーハを貼着するものであれば、どのような構成を有してもよい。

図１に示すように、ウェーハ貼着装置１は、液状樹脂が塗布されたシートＳをウェーハＷの下面に対して貼着するように構成されている。ウェーハ貼着装置１は、ステージ２３に吸着保持されたシートＳに液状樹脂を供給し、ステージ２３の上方にて押圧手段２５に保持されたウェーハＷをシートＳに対して上方から押し付けるように動作する。ウェーハ貼着装置１は、シートＳに対してウェーハＷを押し付けることで、ウェーハＷの下面の全域に液状樹脂を行き渡らせている。

ウェーハＷは、デバイスパターンが形成される前のものであり、円柱状のインゴットをワイヤソーで切断することにより得られる。なお、ウェーハＷは、シリコンウェーハ（Ｓｉ）、ガリウムヒソ（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等のウェーハに限定されるものではない。例えば、セラミック、ガラス、サファイヤ（Ａｌ₂Ｏ₃）系の無機材料基板、板状金属や樹脂の延性材料、ミクロンオーダーからサブミクロンオーダの平坦度（TTV: total thickness variation）が要求される各種加工材料でもよい。

シートＳは、いわゆる光透過型シートであり、弾性を有する柔らかい材料で形成されている。なお、シートＳは、光を透過するシートであれば、どのように構成されていてもよい。また、液状樹脂は、いわゆる紫外線硬化性樹脂であり、紫外線の照射による光重合反応により硬化する。

ウェーハ貼着装置１は、液状樹脂が塗布されたシートＳをウェーハＷの下面に貼着する貼着手段２と、貼着手段２にシートＳを供給するシート供給手段３とを有している。貼着手段２は、略直方体状の基台２１を有している。基台２１上面の略後半部には、コラム部２２が立設されており、コラム部２２の前方には、シートＳを吸着保持するステージ２３が基台２１上に設置されている。ステージ２３は、石英ガラス等の光を透過する材質によって円板状に形成されている。ステージ２３の上面中央には、上面視円形状の凹部２３１が形成されている。ステージ２３は、この凹部２３１の段差を利用してシートＳを引き伸ばしつつ吸着する。

ステージ２３の近傍には、シートＳ上面に紫外線硬化性の液状樹脂を供給する樹脂供給手段２４が設けられている。樹脂供給手段２４は、基台２１上面においてシートＳの中央位置と、中央位置から退避した退避位置との間で旋回可能に取り付けられている。樹脂供給手段２４は、基台２１内に設けられた不図示の樹脂タンクに接続されており、樹脂タンクから汲み上げられた液状樹脂をシートＳの上面に供給する。

ステージ２３の上方には、コラム部２２によって押圧手段２５が支持されている。コラム部２２の前面には、押圧手段２５をステージ２３に対して接近及び離反させる移動手段２６が設けられている。移動手段２６は、Ｚ軸方向に平行な一対のガイドレール２６１と、一対のガイドレール２６１にスライド可能に設置された矩形板状のＺ軸テーブル２６２とを有している。Ｚ軸テーブル２６２は、ボールねじ式の移動機構によりＺ軸方向に移動可能に構成されている。Ｚ軸テーブル２６２の前面には、支持部２７を介して押圧手段２５が支持されている。押圧手段２５は、ウェーハＷを吸着可能に構成されている。

貼着手段２は、押圧手段２５に保持したウェーハＷを、液状樹脂が供給されたシートＳに押し付けるように動作する。すなわち、押圧手段２５がウェーハＷを保持する保持面は、シートＳに対してウェーハＷを押圧する押圧面２５１（図２参照）になっている。このとき、貼着手段２は、液状樹脂から押圧手段２５の押圧面２５１に作用する圧力の変化を測定している。押圧面２５１に作用する圧力は、液状樹脂がウェーハＷの外縁に向かって押し広げられるのに伴って増加し、ウェーハＷの外縁から食み出ると低下し始める。貼着手段２は、この特性を利用して、押圧力の変化に応じて移動手段２６の駆動量を調整することで、液状樹脂をウェーハＷの外周縁まで行き渡らせている。

また、押圧手段２５には、ウェーハＷ及び液状樹脂の周囲に窒素を噴射する複数の噴射口２５３（図２Ｂ参照）が設けられている。押圧手段２５は、液状樹脂がウェーハＷの外周縁まで行き渡った後に、ウェーハＷ及び液状樹脂の外周全周の雰囲気を窒素で覆うように複数の噴射口２５３から窒素を噴射する。これにより、ウェーハＷの下面全域に広がった液状樹脂の外周全周を短時間で窒素の壁で覆うことが可能になっている。なお、押圧手段２５の詳細については後述する。

貼着手段２の基台２１内には、ステージ２３を介して液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射手段２８が設置されている。紫外線照射手段２８は、紫外線の照射により液状樹脂を硬化させることで、ウェーハＷとシートＳとの間に樹脂膜を形成する。紫外線照射手段２８による照射は、押圧手段２５から窒素が噴射されて液状樹脂の周囲の雰囲気が窒素で覆われた状態で実施される。このため、空気中の酸素によって液状樹脂の硬化が阻害されるのが防がれて、液状樹脂の硬化時間が短縮される。

また、貼着手段２の前方には、ステージ２３に対してシートＳを供給するシート供給手段３が設けられている。シート供給手段３は、ロールシートＲからシートＳを引き出すシート引き出し部３１と、引き出されたシートＳを所定長で切断する切断部３２とを有している。シート引き出し部３１は、ロールシートＲに近付いてシートＳの前端を把持し、シートＳの前端を把持した状態でロールシートＲから離間して、ロールシートＲからシートＳを引き出す。ロールシートＲからシートＳが引き出されると、シート搬送手段４によりシートＳが保持される。切断部３２は、シート搬送手段４にシートＳが保持された状態で、引き出し方向に直交する幅方向でシートＳを切断する。

シート供給手段３の側方には、シート供給手段３からのシートＳをステージ２３に搬送するシート搬送手段４が設けられている。シート搬送手段４は、切断部３２の側方に配置された基台４１と、基台４１から突出した搬送アーム４２と、搬送アーム４２の先端に設けられたシート保持部４３とを有している。シート搬送手段４は、搬送アーム４２によってシート保持部４３を移動させることで、シート供給手段３とステージ２３との間でシートＳを搬送する。

このように構成されたウェーハ貼着装置１では、貼着手段２の押圧手段２５によってステージ２３の上方でウェーハＷが保持される。ウェーハＷが押圧手段２５に保持されるのに並行して、シート供給手段３によりロールシートＲからシートＳが引き出される。シート供給手段３により引き出されたシートＳは、所定長で切断されてシート搬送手段４によりステージ２３上に搬送される。このとき、ステージ２３上に搬送されたシートＳはステージ２３に対して密着されている。ステージ２３上のシートＳには、中央部分に樹脂供給手段２４から液状樹脂が供給される。

シートＳ上に液状樹脂が供給されると、液状樹脂が供給されたシートＳに対して押圧手段２５に保持されたウェーハＷが押し付けられる。これにより、液状樹脂がウェーハＷの外周縁まで行き渡る。シートＳに対するウェーハＷの押し付けが完了すると、押圧手段２５から窒素が噴射され、ウェーハＷ及び液状樹脂の外周全周が窒素で覆われた状態で紫外線照射手段２８から紫外線が照射される。これにより、液状樹脂の外周全周が空気中の酸素に触れることなく液状樹脂が硬化され、ウェーハＷとシートＳとの間に短時間で樹脂膜が形成される。

図２を参照して、押圧手段について詳細に説明する。図２は、本実施の形態に係る押圧手段の説明図である。なお、図２Ａは、下面（保持面）を上方に向けた押圧手段の斜視図であり、図２Ｂは、押圧手段の下面図である。

図２Ａ及び図２Ｂに示すように、押圧手段２５は円板状であり、下面中央にポーラスセラミック材によってウェーハＷを吸着保持可能な押圧面２５１が形成されている。押圧面２５１は、押圧手段２５内の流路を通じて吸引源（不図示）に接続されており、押圧面２５１上に生じる負圧によってウェーハＷを吸着保持する。押圧面２５１は、ウェーハＷと同等の外径を有しておりウェーハＷの全域を保持するように構成されている。なお、ウェーハＷと同等の外径とは、押圧面２５１の外径がウェーハＷの外径と完全に一致する場合だけでなく、押圧面２５１でウェーハＷを吸着保持できる程度に誤差を有していてもよい。

また、押圧面２５１の周囲には、押圧面２５１の外周を囲繞するようにリング状の溝部２５２が形成されている。溝部２５２の底面には、複数の噴射口２５３が周方向に間隔を空けて設けられている。複数の噴射口２５３は、押圧手段２５の内外に設けられた流路を通じて窒素供給源２５４に連通して配設されている。押圧手段２５と窒素供給源２５４との間には開閉バルブ２５５が設けられており、開閉バルブ２５５が切り換わることで押圧手段２５への窒素の供給が制御される。窒素供給源２５４から複数の噴射口２５３に窒素が供給されると、リング状の溝部２５２に沿って窒素が噴射される。

このとき、リング状の溝部２５２がウェーハＷと同等の外径の押圧面２５１を囲繞しているため、窒素の噴射によってウェーハＷよりも大径の窒素の壁が形成される。よって、押圧面２５１によってウェーハＷが液状樹脂に押し付けられた状態で、ウェーハＷ及び液状樹脂の外周全周を窒素で覆うことが可能になっている。なお、複数の噴射口２５３は、リング状の溝部２５２の底面に形成される構成としたが、この構成に限定されない。複数の噴射口２５３は、押圧面２５１の外周を囲繞してリング状に配置されていればよい。

以下、図３を参照して、ウェーハ貼着装置の貼着動作について詳細に説明する。図３は、本実施の形態に係るウェーハ貼着装置の貼着動作の説明図である。図３Ａは、液状樹脂の押圧動作の説明図であり、図３Ｂは、液状樹脂への紫外線照射動作の説明図である。

図３Ａに示すように、ステージ２３は、石英ガラス等の透光性材料により円板状に形成されており、上面の外周領域を除いて中央領域に凹部２３１が設けられている。ステージ２３には、凹部２３１を囲繞する外周領域にリング形状の第一の保持面２３２、凹部２３１の内底面に第二の保持面２３３、凹部２３１の内周面に第一の保持面２３２から第二の保持面２３３に至る側面２３４がそれぞれ形成される。第一の保持面２３２には、シートＳの外周領域を吸着保持する２つの第一の吸引口２３５が同心円状に形成されている。第二の保持面２３３と側面２３４との角部には、シートＳの中央領域を吸着する環状の第二の吸引口２３６が形成されている。

第一の吸引口２３５及び第二の吸引口２３６は、ステージ２３の内外に設けられた流路を通じて負圧生成源２３７に接続される。この第一の吸引口２３５及び第二の吸引口２３６の吸引によってシートＳがステージ２３上で吸引保持されている。このとき、シートＳは、第一の保持面２３２と第二の保持面２３３との段差によって引き伸ばされつつ、第二の保持面２３３に沿って貼り付けられている。ステージ２３の下方には、ステージ２３を透過して液状樹脂５に紫外線を照射するための紫外線照射手段２８が設けられている。紫外線照射手段２８には、ウェーハＷの全面に紫外線が照射されるように、紫外線ランプ２８１が複数並べて設けられている。

ステージ２３の上方には、ウェーハＷを押圧面２５１に吸着保持した押圧手段２５が位置付けられている。押圧手段２５には、押圧面２５１を囲うように溝部２５２が形成されており、溝部２５２に開口された複数の噴射口２５３が開閉バルブ２５５を介して窒素供給源２５４に接続されている。図３Ａに示す初期状態では、開閉バルブ２５５が閉じられて、複数の噴射口２５３が窒素供給源２５４から遮断されている。この状態で、樹脂供給手段２４（図１参照）によってシートＳの中央に液状樹脂５が供給され、シートＳの上面に液状樹脂５の液溜まりが形成される。

そして、押圧手段２５が下方に移動して、押圧手段２５に吸着保持されたウェーハＷによって液状樹脂５の液溜まりが押し潰される。これによって、液状樹脂５がウェーハＷの下面に沿って広がり始め、液状樹脂５がウェーハＷの外縁まで押し広げられる。押圧手段２５の押圧動作により液状樹脂５がウェーハＷの下面全域に行き渡ると、押圧手段２５の下降が停止されてステージ２３の第二の保持面２３３から所定の高さで保持される。これにより、ウェーハＷとシートＳとの隙間から液状樹脂５の外周縁だけが空気中に晒される。

図３Ｂに示すように、押圧手段２５による押圧動作が停止すると、開閉バルブ２５５が開かれて複数の噴射口２５３が窒素供給源２５４に連通される。窒素供給源２５４から複数の噴射口２５３に窒素が供給され、複数の噴射口２５３からリング状の溝部２５２を介して窒素が噴射される。窒素の噴射によりウェーハＷ及び液状樹脂５の周囲の空気が窒素に置換され、ウェーハＷ及び液状樹脂５の外周全周が窒素の壁によって覆われる。この場合、押圧手段２５とシートＳとの間には、微小な隙間Ｃ（例えば、１００μｍ）が空けられているだけなので、窒素の噴射によってウェーハＷ及び液状樹脂５の周囲が瞬間的に窒素で満たされる。

そして、ウェーハＷ及び液状樹脂５の外周全周が窒素で覆われた状態で、紫外線照射手段２８の紫外線ランプ２８１が発光する。紫外線ランプ２８１からの紫外線は、ステージ２３及びシートＳを透過してウェーハＷの下面に塗布された液状樹脂５に照射される。このとき、液状樹脂５の外周縁が窒素の噴射によって空気中の酸素から遮断され、紫外線硬化の光重合反応が酸素によって阻害されることがない。よって、シートＳに対するウェーハＷの貼着時に、液状樹脂５の全体を紫外線の照射によって短時間で硬化でき、紫外線照射工程を短縮することができる。

特に、大口径（例えば、４５０ｍｍ）のウェーハＷの場合には、空気中に晒される液状樹脂５の外周縁が長くなるが、本実施の形態のように液状樹脂５の外周全周を窒素で覆うことで、液状樹脂５を短時間で硬化することが可能である。

以上のように、本実施の形態に係るウェーハ貼着装置１によれば、シートＳを介してステージ２３上面に供給された液状樹脂５がウェーハＷの下面全域に広げられた後に、複数の噴射口２５３から窒素が噴射されることで、ウェーハＷ及び液状樹脂５の外周全周が窒素に覆われた状態になる。よって、液状樹脂５の外周縁が空気中に晒されることなく液状樹脂に紫外線が照射されるため、空気中の酸素によって液状樹脂５の外周縁の硬化が阻害されることがない。また、ウェーハＷ及び液状樹脂５の外周の雰囲気を瞬間的に窒素で覆った状態にすることができる。この結果、ウェーハＷ及び液状樹脂５の外周の雰囲気を窒素で置換する際のダウンタイムを短くでき、紫外線硬化工程にかかる時間を短縮できる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、本実施の形態では、ウェーハＷ及び液状樹脂５の外周全周を完全に窒素で覆う構成としたが、この構成に限定されない。液状樹脂の硬化が阻害されない程度であれば、部分的に窒素に覆われない箇所があってもよい。

また、本実施の形態では、ステージ２３の下方に紫外線照射手段２８を設ける構成としたが、この構成に限定されない。紫外線照射手段２８は、ウェーハＷの下面の液状樹脂５に紫外線を照射可能な位置に配置されていればよく、例えば、ステージ２３内に配置される構成としてもよい。

また、本実施の形態では、ウェーハ貼着装置１が、貼着手段２とシート供給手段３とを有する構成としたが、この構成に限定されない。ウェーハ貼着装置１は、少なくとも貼着手段２を備えていればよい。

また、本実施の形態では、貼着手段２による押圧動作が完了した後に複数の噴射口２５３から窒素を噴射する構成としたが、この構成に限定されない。貼着手段２による押圧動作中に複数の噴射口２５３から窒素が噴射される構成としてもよい。

以上説明したように、本発明は、紫外線硬化工程において空気に触れているウェーハ及び液状樹脂の外周を短時間で窒素雰囲気にすることができるという効果を有し、特に、ウェーハメイキング工程においてシートに液状樹脂を介して半導体ウェーハを貼着するウェーハ貼着装置に有用である。

１ウェーハ貼着装置
５液状樹脂
２３ステージ
２４樹脂供給手段
２５押圧手段
２６移動手段
２８紫外線照射手段
２５１押圧面
２５３噴射口
２５４窒素供給源
Ｓシート
Ｗウェーハ

Claims

ウェーハを吸着保持可能な押圧面を有する押圧手段と、
光を透過する材質で形成され該押圧面に対向して配設され光を透過するシートの下面を保持するステージと、
該押圧面を該ステージに対して接近及び離反させる移動手段と、
該ステージに保持された該シートの上面に紫外線を照射することにより硬化する液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、
該ステージの下方に配設され該ステージ上方に向けて紫外線を照射する紫外線照射手段とを備え、
該シートを介して該ステージ上面に供給された該液状樹脂を該押圧面に保持したウェーハで押圧し該液状樹脂をウェーハ下面に広げウェーハに該液状樹脂を貼着するウェーハ貼着装置であって、
該押圧手段の該押圧面はウェーハと同等の外径を有し、
該押圧面の外周を囲繞してリング状に複数形成された噴射口と、複数の該噴射口に連通して配設された窒素供給源とを備え、
該ステージは、上面にウェーハより大径の円形凹部を有し、該シートを該円形凹部の内底面及び内周面に密着するように吸引保持し、
該シートを介して該ステージ上面に供給された該液状樹脂を該押圧面に保持したウェーハで押圧し該液状樹脂をウェーハ下面に広げた後に、ウェーハ及び該液状樹脂の外周で該押圧手段と該円形凹部との間に形成される空間に向けて複数の該噴射口から窒素を噴射し、該空間の空気を瞬間的に窒素に置換してウェーハ及び該液状樹脂の外周全周が窒素で覆われた状態で、該紫外線照射手段から該ステージを透過して該液状樹脂に紫外線が照射され該液状樹脂が硬化することでウェーハに該液状樹脂を貼着するウェーハ貼着装置。