JP5943557B2 - 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
ここで、Kは支持機構8(支持部SP)のX軸方向のばね性における剛性値(ばね定数)、Xcは変位量である。
Claims (7)
- 微動ステージと、ステージ定盤の上で移動する粗動ステージの上に搭載されたベースと、前記微動ステージと前記ベースとの間に配置されていて、ばね性を有する支持部で前記微動ステージを支持する支持機構と、前記微動ステージを駆動するように前記微動ステージと前記ベースとの間に配置されたアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備える位置決め装置であって、
前記制御部は、目標位置に対する前記微動ステージの位置偏差を低減するための第1指令値を発生するフィードバック制御器と、前記微動ステージと前記ベースとの相対位置の変動量に基づいて、前記支持部の前記ばね性によって前記微動ステージに作用する力の少なくとも一部を打ち消すための第2指令値を発生するフィードフォワード制御器とを含み、前記第1指令値と前記第2指令値との和を含む指令値によって前記アクチュエータを制御し、
前記フィードフォワード制御器は、前記変動量に前記ばね性の剛性値を乗じることによって前記第2指令値を得る、
ことを特徴とする位置決め装置。 - 前記制御部は、前記目標位置と前記微動ステージの位置計測値との差分を前記位置偏差として演算する差分器を更に含み、前記フィードバック制御器は、前記差分器によって演算された前記差分に基づいて前記第1指令値を発生する、
ことを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記制御部は、前記微動ステージの計測位置と前記ベースの計測位置との差から初期化時の前記微動ステージと前記ベースとの相対位置を差し引くことによって前記変動量を得る、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の位置決め装置。 - 前記制御部は、前記第1指令値および前記第2指令値のほか、前記微動ステージの加速度指令値に基づいて前記アクチュエータを制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の位置決め装置。 - 前記支持部は、永久磁石と永久磁石との間に作用する反発力によって前記ステージを支持する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の位置決め装置。 - 原版のパターンを基板に転写する露光装置であって、
前記原版を位置決めする原版位置決め機構と、
前記基板を位置決めする基板位置決め機構と、
前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、を備え、
前記原版位置決め機構および前記基板位置決め機構の少なくとも一方は、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の位置決め装置を含む、
ことを特徴とする露光装置。 - デバイスを製造するデバイス製造方法であって、
請求項6に記載の露光装置によって基板を露光する工程と、
該基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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