KR20120114172A

KR20120114172A - 이젝터를 갖춘 흡착장치

Info

Publication number: KR20120114172A
Application number: KR1020120035240A
Authority: KR
Inventors: 요시히로 후카노; 코지 스가노; 야스히코 오바타; 아키라 사사키
Original assignee: 에스엠씨 가부시키 가이샤
Priority date: 2011-04-06
Filing date: 2012-04-05
Publication date: 2012-10-16
Also published as: CN102730411B; US8523255B2; JP5938595B2; KR101893081B1; DE102012006590A1; CN102730411A; DE102012006590B4; JP2012218099A; US20120256433A1

Abstract

본 발명은, 이젝터를 갖춘 흡착장치에 관한 것으로, 그 이젝터를 갖춘 흡착장치(10)를 구성하는 흡착 패드(20)의 아래쪽으로부터, 유지 스터드(120)가 삽입되고, 그 선단부는 어댑터 플레이트(40)에 삽입된다. 또, 유지 스터드(120)는, 외부에 노출된 잠금 플레이트 홈(134)에 잠금 플레이트(100)의 소직경부(106)가 걸어맞춰져, 상기 유지 스터드(120)와 잠금 플레이트(100)가 일체화한다. 게다가, 어댑터 플레이트(40)의 측벽부를 이용하여 이젝터(200)가 고정장착된다. 한편, 잠금 플레이트(100)를 덮는 어댑터 플레이트(40)에는 장착 브래킷(80)이 장착되고, 상기 장착 브래킷(80)에는 볼트(90)를 이용하여 로봇 암 등의 이송 수단이 고정장착된다.

Description

이젝터를 갖춘 흡착장치 {SUCTION APPARATUS EQUIPPED WITH EJECTOR}

본 발명은, 부압(negative-pressure)유체의 흡인작용 하에 워크(work)를 흡착하여 위치결정하거나 반송하는 것이 가능한, 이젝터를 갖춘 흡착장치에 관한 것이다.

근년, 박판 형상의 워크를 얇은 판자장의 워크를 위치결정하거나 반송하기 위해서 진공 흡착장치가 광범위하게 이용되고 있다. 이 진공 흡착장치는 내부에 압축유체가 공급되는 본체와, 이 본체에 고정장착되는 흡착 패드를 구비하며, 상기 본체에 공급된 압축유체가 워크에 접하는 흡착 패드의 내부를 부압상태로 하여 이 워크를 유지하고, 소망하는 위치에 위치결정하거나 혹은 반송하고, 그 다음에 상기 흡착 패드에 대기압 또는 압축공기를 공급함으로써 진공상태를 해제하여, 흡착 패드로부터 워크를 이탈시켜 상기 워크를 소망하는 위치에 배치한다.

이런 종류의 진공 흡착장치로서, 예컨대 미국 특허공개공보 2008/0202602 A1 호에 개시되어 있는 진공 조립체에서는, 긴 위치결정기구의 양단부 근방에 서로 평행하게 다리부를 배치하고, 각각의 다리부에 밸브 조립체가 장착되어 있다. 상기 밸브 조립체는, 진공 회로를 가지며, 그 선단에 흡착용 컵이 장착되고, 상기 흡착용 컵에 대해서, 공기압 라인으로부터 압축공기가 공급되어 흡착용 컵의 내부가 부압(진공)상태로 유지됨으로써 워크의 흡착 반송을 행한다.

그렇지만, 상술한 종래 기술에 따른 진공 조립체에서, 진공용 몸체에는, 진공 발생장치나, 볼 조인트, 밸브체, 파일럿 밸브, 가요성 다이어프램, 밸브 커버 등이 장착되어 구조가 복잡한 동시에, 각종 부품의 교환이나 유지관리가 곤란하다. 특히, 상술한 밸브 조립체에서는, 흡착 컵의 상단부에 흡착 컵 칼라(collar), 진공 몸체, 밸브체, 파일럿 밸브나 밸브 커버와 같이 비교적 중량이 많이 나가는 부재가 집약되어 조립되어 있다. 그 결과, 조립체의 상단부는 중량물이 많은 불안정한 상태가 된다. 더욱이, 반송시에는 흡착 컵에 의해 이송되는 워크의 자세가 불안정하게 되어, 소망하는 위치에 워크를 위치결정할 수가 없다.

본 발명의 일반적인 목적은, 비교적 구조가 간단하여, 조립이 용이하고, 유지관리가 용이하고, 특히, 흡착 패드의 교환이나, 나아가서 해당 흡착 패드의 상부에 설치되는 기구의 부품 교환성이 양호함과 함께, 위치결정이나 워크의 반송 정밀도도 뛰어난, 이젝터를 갖춘 흡착장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 따른, 이젝터를 갖춘 흡착장치는, 흡착 패드와, 상기 흡착 패드의 상단부에 형성된 부착부에 고정되는 어댑터 플레이트와, 상기 어댑터 플레이트에 배치되는 이젝터와, 상기 어댑터 플레이트의 상면에 변위 가능하게 설치되는 잠금 플레이트와, 상기 흡착 패드를 구성하는 스커트부(skirt portion) 측으로부터 삽입되고 상기 어댑터 플레이트에 설치된 구멍을 관통하여 상기 잠금 플레이트와 걸어맞춰지는 유지 스터드를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 유지 스터드는 흡착 패드의 스커트부 측으로부터 삽입되어 어댑터 플레이트와 일체화되기 때문에, 흡착 패드가 오래되어 변화되었을 경우의 교환 등, 유지관리 시에는 유지 스터드를 스커트부 측에서 떼어내는 것만으로 행할 수가 있다. 따라서, 그 유지관리를 용이하게 실시할 수가 있음과 함께, 전체적으로 구조가 간소화된다고 하는 효과를 얻을 수 있다. 특히, 종래 기술에 따른 밸브 조립체와 비교하여 경량이며, 워크의 이송이 용이하고 위치결정 정밀도도 뛰어난 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 상기된 그리고 또 다른 목적들, 특징들 및 장점들은 본 발명의 바람직한 실시형태가 예시적으로 도시되는 첨부 도면들과 함께 이어지는 설명으로부터 더욱 명확해질 것이다.

도 1은, 본 발명에 따른, 이젝터를 갖춘 흡착장치의 주요부 분해 사시도이다.
도 2는, 도 1에 도시된 이젝터를 갖춘 흡착장치를 90° 변위시킨 상태로 도시한 분해 사시도이다.
도 3은, 이젝터를 갖춘 흡착장치의 사시 설명도이다.
도 4는, 이젝터를 갖춘 흡착장치의 정면도이다.
도 5는, 도 4의 V－V선 단면도이다.
도 6은, 도 4의 VI－VI선 단면도이다.

도 1에 있어서, 참조부호 10은, 본 발명의 실시형태에 따른, 이젝터를 갖춘 흡착장치(이하, 흡착장치라고 칭하는 일도 있다)를 나타낸다. 이 흡착장치(10)는, 흡착 패드(20)와, 어댑터 플레이트(40)와, 장착 브래킷(80)과, 잠금 플레이트(100)와, 유지 스터드(120)와, 이젝터(200)를 포함한다.

흡착 패드(20)는, 워크(work)에 접촉하여 흡착 유지하는 흡착면을 갖춘 스커트부(skirt portion)(22)와, 이 스커트부(22)에 연속하는 쿠션부(24)와, 상기 쿠션부(24)가 끝나는 부위에 형성되는 장착부(26)를 구비한다. 장착부(26)의 중심에는, 후술하는 유지 스터드(120)의 제2 원통부(126)가 진입하는 구멍(28)이 형성된다. 스커트부(22), 쿠션부(24) 및 장착부(26)는, 일체로 구성되고, 탄력성이 풍부한, 예를 들면, 합성수지, 합성고무 등으로 형성된다.

또, 장착부(26)의 내부에는, 도 5에 도시된 바와 같이, 링 형상의 경질 합성수지로 이루어지는 보강부재(플레이트)(29)를 매립하여도 좋다. 이것에 의해, 후술하는 어댑터 플레이트(40)와 장착부(26)와의 확실하고 또한 강고한 걸어맞춤 상태를 유지할 수 있다. 이 경우, 흡착 패드(20)와 보강부재(29)를 동질의 합성수지재로 구성하면 폐기 때나 리사이클 등에 매우 적합하다.

또, 장착부(26)의 평탄면에는, 상기 어댑터 플레이트(40)가 배치된다. 어댑터 플레이트(40)는, 평면에서 볼 때로 변형한 사다리꼴 형상을 나타내는 것으로, 바람직하게는 금속제 또는 경질의 경질수지제이며, 내부에 유체통로를 형성한 중공으로 형성된다. 상기 어댑터 플레이트(40)의 제1 측면(42)에는, 소직경의 제1 구멍(44a)과, 이 제1 구멍(44a)과 대략 같은 직경의 제2 구멍(46)과, 이 제2 구멍(46)에 인접한 제3 구멍(44b)이 형성된다. 도 1로부터 잘 이해될 수 있는 바와 같이, 상기 제1 구멍(44a), 제2 구멍(46) 및 제3 구멍(44b)은 대략 같은 직경이지만, 제2 구멍(46)은 상기 제1 구멍(44a)과 제3 구멍(44b)에 대해서 상이한 직경이어도 좋다.

제2 구멍(46)에는 후술하는 이젝터(200)의 장착부(208)에 위치결정된 너트(218)에 나사결합하는 볼트(47)가 삽입관통된다(도 1 및 도 2 참조).

어댑터 플레이트(40)의 제2 측면(50)에는, 대직경의 제4 구멍(52)이 설치되고, 상기 제2 측면(50)과 대향하는 제3 측면(54)에는, 상기 제4 구멍(52)과 대향하도록 제5 구멍(56)이 형성된다. 게다가, 제1 측면(42)에 대향하는 제4 측면(58)에는, 상기 제2 구멍(46)에 대향하도록 대직경의 제6 구멍(60)이 형성된다. 게다가, 상기 제1 측면 내지 제4 측면(42, 50, 54, 58)에 직교하도록 제1 평면(62a)이 설치되고, 이 제1 평면(62a)에 대향한 반대쪽에 제2 평면(62b)이 설치되어, 상기 어댑터 플레이트(40)의 내부 공간을 폐쇄하도록 둘러싼다.

이 제1 평면(62a)의 중앙부에는 상기 구멍(28)보다 소직경인 제7 구멍(64)이 설치되며, 한편, 상기 제2 평면(62b)의 중앙부에는 상기 제7 구멍(64)에 대향한 제8 구멍(65)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 제7 구멍(64)을 사이에 두고, 제1 평면(62a)에는, 어댑터 플레이트(40)의 두께 방향으로 연장하도록 제1 나사홈(66a)과 제2 나사홈(66b)이 설치된다.

또한, 상기 제1 평면(62a)에는, 상기 제2 구멍(46)에 근접하여, 오목부(70)가 설치된다. 제4 구멍(52)과 제5 구멍(56)에는, 제1 플러그(72)와 제2 플러그(74)가 선택적으로 끼워맞춰져 이것들을 폐쇄시킨다. 어댑터 플레이트(40)의 제4 측면(58)에 설치된 제6 구멍(60)에는, 제3 플러그(76) 또는 진공 파괴용의 유체를 공급하는 공기 공급시스템(도시하지 않음)이 선택적으로 끼워맞춰져 그 제6 구멍(60)을 폐쇄시킨다.

다음에, 장착 브래킷(80)에 대해 설명한다. 이 장착 브래킷(80)은, 중앙부가 도 1에 대해 위쪽으로 볼록한 볼록부(82)와, 이 볼록부(82)의 양측에 설치된 평판 형상의 착좌부(84a, 84b)를 가진다. 상기 착좌부(84a, 84b)의 모서리부에는, 대각선에 따라 도시하지 않은 구멍이 형성되고 이 구멍에 장착 볼트(86a, 86b)가 삽입된다. 볼록부(82)의 대략 중앙부에 너트(88)를 통하여 도시하지 않은 로봇 암에 부착되기 위한 볼트(유지부)(90)가 직립되어 있다. 상기 장착 볼트(86a, 86b)는, 어댑터 플레이트(40)에 설치된 제1 나사홈(66a), 제2 나사홈(66b)에 각각 삽입될 수 있다.

잠금 플레이트(100)는, 예를 들면, 금속제 재료로 이루어지는 평판을 굴곡 시켜 위쪽으로 세워지도록 양단부에 제1 조작부(102a)와 제2 조작부(102b)를 가지는 동시에, 중앙부가 약간 위쪽으로 돌출한 잠금부(104)를 형성한 판형상체로 이루어진다. 이 잠금부(104)로부터 제2 조작부(102b)에 걸쳐, 소직경부(106)와 대직경부(108)가 연통한 잠금구멍(110)이 설치되어 있다. 또한, 대직경부(108)와 제2 조작부(102b)와의 사이에 돌기(112)가 설치되고(도 2 참조), 이 돌기(112)는, 어댑터 플레이트(40)에 형성된 오목부(70)와 끼워맞춰진다.

제1 조작부(102a)의 일부는 아래쪽으로 절곡하여 구멍(113)을 형성하고, 이 구멍(113)에 볼트(114)를 삽입관통하고 어댑터 플레이트(40)의 제4 측면(58)에 형성된 제9 구멍(116)에 삽입하여, 잠금 플레이트(100)를 고정한다.

다음에, 흡착 패드(20)의 구멍(28)을 관통하여, 어댑터 플레이트(40)의 제7 구멍(64)으로부터 외부로 노출되는 유지 스터드(120)에 대해 설명한다.

이 유지 스터드(120)는, 대직경의 플랜지(122)를 가지며, 이 플랜지(122)에 대해서 약간 소직경인 제1 원통부(124)가 일체로 연장 설치되어 있다. 제1 원통부(124)로부터, 상기 플랜지(122), 제1 원통부(124)와 동심인 제2 원통부(126)가 연장 설치되어 있다. 제2 원통부(126)에는, 플랜지(122)와 제1 원통부(124)의 내부에 형성되어 있는 공간에 연통하는 진공 통로(130a, 130b)가 서로 대향하도록 배치된다.

제2 원통부(126)의 상기 진공 통로(130a, 130b)의 상부에는, 그 외주부에 O링 홈(132)이 설치됨과 함께, 이 O링 홈(132)의 위쪽에 제2 원통부(126)를 일주하는 잠금 플레이트 홈(134)이 형성된다. 또한, 도면에 있어서 참조부호 135는, 상기 플랜지(122)의 공간을 이용하여 이 유지 스터드(120)에 장착되어 흡착 패드(20)의 흡착 작용으로 흡수되는 먼지 등을 포착하는 스트레이너(strainer)를 나타낸다.

다음에, 이젝터(200)에 대해 설명한다. 이 이젝터(200)는, 중공형상이고 또한 원통형인 이젝터 몸체(204)와, 이 이젝터 몸체(204)의 내부에 삽입되는 진공 발생부(부압 발생부)(206)를 구비한다. 이젝터 몸체(204)는, 그 측부에 장착부(208)를 가진다. 장착부(208)는, 직육면체 형상이고, 상단부로부터 저부에 걸쳐 직사각형상의 구멍(210)을 가지며, 이 구멍(210)은 이 장착부(208)의 측벽에 설치된 구멍(212)과 연통하고 있다(도 2 참조). 이 구멍(212)은, 조립시 어댑터 플레이트(40)의 제2 구멍(46)과 대향한다. 게다가, 상기 구멍(212)이 설치되어 있는 장착부(208)에는, 그 측벽부에 개스킷(214)이 설치되고, 이 개스킷(214) 양측의 공간을 이용하여 판 형상의 체크 밸브(216a, 216b)가 설치된다. 상기 체크 밸브(216a, 216b)는, 각각 어댑터 플레이트(40)의 제1 구멍(44a), 제3 구멍(44b)을 향한다. 상기 구멍(210)에는, 이젝터 몸체(204)를 부착시키기 위한 너트(218)가 삽입된다.

이젝터 몸체(204)의 일단부에는, 원통형의 소음기(220)가 고정장착된다. 소음기(220)는, 커버 부재(222)와, 이 커버 부재(222)의 내부에 삽입되는 소음재(224)와, 이 커버 부재(222)의 단부에 끼워맞춰져 상기 소음재(224)를 상기 커버 부재(222)의 내부에 고정하는 덮개 부재(226)를 구비한다. 커버 부재(222)에는 돌기(228)가 설치되고, 이 돌기(228)는 이젝터 몸체(204)의 단부에 설치된 (기다란) 직사각형상의 구멍(230)에 끼워맞춰져, 상기 커버 부재(222)를 이젝터 몸체(204)와 일체화한다. 원통형의 이젝터 몸체(204)의 내부에는 진공 발생부(206)가 삽입된다. 도 6으로부터 이해될 수 있는 바와 같이, 이 진공 발생부(206)는, 그 내부에 제1 노즐(240)과 제2 노즐(242)를 가지며, 상기 제1 노즐(240)과 제2 노즐(242)은 나란히 배치된다. 제1 노즐(240)과 제2 노즐(242) 사이에 제1 디퓨저(244)가 설치되고, 또, 제2 노즐(242)의 일단부에 제2 디퓨저(246)가 설치된다. 제2 디퓨저(246)는, 커버 부재(222)의 내부에 삽입되어 있는 소음재(224)를 향한다. 이젝터 몸체(204)의 커버 부재(222)의 반대쪽에는 원터치 커플링(248)이 끼워맞춰진다.

본 발명에 따른 이젝터를 갖춘 흡착장치(10)는, 기본적으로는 이상과 같이 구성되는 것이며, 다음에 그 조립 방법에 대해 설명한다.

먼저, 어댑터 플레이트(40)에 이젝터(200), 잠금 플레이트(100) 및 장착 브래킷(80)을 고정장착한다. 예를 들면, 어댑터 플레이트(40)의 제1 구멍(44a) 및 제3 구멍(44b)에 체크 밸브(216a, 216b)를 맞닿게 하고, 개스킷(214)를 통하여 이젝터 몸체(204)에 고정장착된 장착부(208)를 위치결정한다. 장착부(208)의 구멍(210)에는, 이젝터 몸체(204)를 부착시키기 위한 너트(218)를 미리 삽입해 두고, 어댑터 플레이트(40)의 제2 구멍(46)에 볼트(47)를 삽입하여 상기 너트(218)에 나사결합한다. 이것에 의해, 어댑터 플레이트(40)와 이젝터(200)가 일체화된다.

다음에, 어댑터 플레이트(40)의 제1 평면(62a)에 잠금 플레이트(100)를 위치결정한다. 이 경우, 잠금부(104)의 대직경부(108)를 어댑터 플레이트(40)의 제7 구멍(64)과 대응시켜 위치결정한다. 그 다음에, 장착 브래킷(80)의 장착 볼트(86a, 86b)를 상기 어댑터 플레이트(40)의 제1 나사홈(66a) 및 제2 나사홈(66b)에 삽입한다. 이와 같이 하여, 어댑터 플레이트(40)와, 장착 브래킷(80)과, 잠금 플레이트(100)와, 이젝터(200)가 일체화된다.

이러한 상태에서, 다음에, 흡착 패드(20)의 스커트부(22) 측으로부터 유지 스터드(120)를 삽입한다. 유지 스터드(120)의 상단부, 즉 제2 원통부(126)의 상단부는, 흡착 패드(20)의 구멍(28)으로부터 위쪽으로 연장하고, 어댑터 플레이트(40)의 제7 구멍(64)보다 위쪽으로 노출된다. 이 상태에서 잠금 플레이트(100)의 제1 조작부(102a)를 이젝터(200)에 접근시키도록 조작하면, 유지 스터드(120)의 잠금 플레이트 홈(134)에 잠금 플레이트(100)의 소직경부(106)가 걸어맞춰지고, 이것에 의해 잠금부(104)의 돌출된, 즉 세워져 있는 형상으로부터, 유지 스터드(120)는 도 5에 있어서 위쪽으로 끌어 올려진다. 이것에 의해, 어댑터 플레이트(40)와 유지 스터드(120)와의 사이에 흡착 패드(20)가 위치결정 고정되고 잠금된다. 이 잠금 상태를 확실히 하기 위해서, 잠금 플레이트(100)에 설치된 제1 조작부(102a)의 구멍(113)으로부터 볼트(114)를 삽입하여, 어댑터 플레이트(40)에 설치된 제9 구멍(116)에 삽입하면, 한층 더 견고하게 유지 스터드(120)와 어댑터 플레이트(40)의 걸어맞춤 상태가 확보된다.

이상과 같이 하여 조립된 이젝터를 갖춘 흡착장치(10)에 대해서, 도시하지 않는 압력 공기 공급원에 접속되는 튜브를 상기 원터치 커플링(248)에 삽입한다. 그리고, 압축공기를 이 원터치 커플링(248)을 통하여 이젝터 몸체(204)에 공급하면, 제1 노즐(240)에 공급된 압축공기는 제2 노즐(242)에 도달하고, 계속해서 소음재(224) 쪽으로 토출된다. 그 사이에, 제1 디퓨저(244), 제2 디퓨저(246)에 의해 흡착 패드(20)의 내부공간이 흡인되고, 즉 진공 통로(130a, 130b)를 통하여 흡착 패드(20)의 내부공기가 어댑터 플레이트(40) 측으로 흡인되어 흡착 패드(20)의 내부공간(128)이 대략 진공상태에 근접된다.

따라서, 흡착 패드(20)가, 예를 들면 평판 형상의 워크(도시하지 않음)에 그 스커트부(22)를 접촉시킴으로써, 해당 워크를 상기 흡착 패드(20)에 의해 흡착하여, 소정의 위치에 상기 흡착 패드(20)와 함께 이송한다.

다음에, 필요에 따라서, 원터치 커플링(248)을 통하여 압축공기의 공급을 정지하면, 체크 밸브(216a, 216b)는 어댑터 플레이트(40)의 제1 구멍(44a)과 제3 구멍(44b)을 폐쇄하고, 흡착 패드(20)의 내부공간(128)을 일정한 부압상태로 유지한다. 그리고, 소정의 위치에 워크를 반송한 후, 어댑터 플레이트(40)의 제3 플러그(76)을 제거하여 대기 개방상태로 함으로써, 흡착 패드(20)의 내부공간(128)의 부압상태가 파괴되어 워크는 흡착 패드(20)로부터 이탈한다.

따라서, 장기간에 걸쳐 이 흡착 패드(20)을 이용한 후, 흡착 패드(20)의 경년 변화가 생겼을 경우, 잠금 플레이트(100)의 제2 조작부(102b)를 이젝터(200)로부터 이격되도록 변위시킨다. 이것에 의해, 유지 스터드(120)의 잠금 플레이트 홈(134)으로부터 소직경부(106)가 이탈하고, 잠금 플레이트(100)의 대직경부(108)에 유지 스터드(120)의 제2 원통부(126)가 임하게 된다.

그 결과, 잠금 플레이트 홈(134)보다 대직경의 공간인 대직경부(108)로부터 유지 스터드(120)는 용이하게 아래쪽으로 제거될 수 있다. 이 결과, 흡착 패드(20)는, 어댑터 플레이트(40)로부터 이탈하는 것이 가능해지고, 이것에 의해 흡착 패드(20)의 교환을 용이하게 실시할 수가 있다.

본 실시형태에 의하면, 이상과 같이 간단한 구성으로 이젝터를 갖춘 흡착장치(10)를 구성할 수 있고, 또, 흡착 패드(20)를 어댑터 플레이트(40)로부터 분리시키기 위해서는, 유지 스터드(120)의 잠금 플레이트 홈(134)으로부터 잠금 플레이트(100)를 변위시켜 이탈시키면 된다. 이것에 의해, 간단하게 흡착 패드(20)의 교환이 수행되어 유지보수성이 향상되는 동시에, 그 교환 시에도 취급이 극히 용이하다는 효과를 얻을 수 있다.

비록 본 발명이 바람직한 실시형태를 참조하여 특정적으로 도시되고 설명되었지만, 첨부된 청구항들에 의해 한정되는 바와 같은 본 발명의 범주로부터 벗어나지 않고 당해 분야에서의 기술자에 의해 그 변형들과 수정들이 이루어질 수 있음은 물론이다.

10 : 이젝터를 갖춘 흡착장치 20 : 흡착 패드
22 : 스커트부 40 : 어댑터 플레이트
80 : 장착용 브래킷 86a, 86b : 장착 볼트
100 : 잠금 플레이트 102a, 102b : 제1, 제2 조작부
106 : 소직경부 108 : 대직경부
120 : 유지 스터드 122 : 플랜지
124 : 제1 원통부 126 : 제2 원통부
128 : 내부공간 134 : 잠금 플레이트 홈
200 : 이젝터 204 : 이젝터 몸체
206 : 진공 발생부 220 : 소음기
224 : 소음재 240 : 제1 노즐
242 : 제2 노즐

Claims

흡착 패드(20)와;
상기 흡착 패드(20)의 상단부에 형성된 장착부(26)에 고정되는 어댑터 플레이트(40)와;
상기 어댑터 플레이트(40)에 배치되는 이젝터(200)와;
상기 어댑터 플레이트(40)의 상면에 변위 가능하게 배치되는 잠금 플레이트(100)와;
상기 흡착 패드(20)를 구성하는 스커트부(22) 측으로부터 삽입되고 상기 어댑터 플레이트(40)에 설치된 구멍(64, 65)을 관통하여, 상기 잠금 플레이트(100)와 걸어맞춰지는 유지 스터드(120);
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 1에 있어서,
상기 유지 스터드(120)는 상기 잠금 플레이트(100)가 걸어맞춰지는 잠금 플레이트 홈(134)을 가지며, 이 잠금 플레이트(100)는 잠금부(104)를 포함하며,
상기 잠금 플레이트 홈(134)에 상기 잠금부(104)가 걸어맞춰질 때, 상기 유지 스터드(120)는 상기 어댑터 플레이트(40) 측으로 당겨져, 상기 어댑터 플레이트(40)와 상기 유지 스터드(120)와의 사이에 상기 흡착 패드(20)가 유지되는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 1에 있어서,
상기 유지 스터드(120)는, 상기 흡착 패드(20)의 내부와 연통하는 동시에 상기 이젝터(200)의 부압 발생부(206)와 연통하는 진공 통로(130a, 130b)를 가지는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 3에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(40)는, 상기 이젝터(200)의 상기 부압 발생부(206)와 상기 유지 스터드(120)의 상기 진공 통로(130a, 130b)를 연통하는 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 1에 있어서,
상기 잠금 플레이트(100)는, 상기 유지 스터드(120)가 헐겁게 끼워지는 대직경 구멍(108)과, 상기 대직경 구멍(108)에 연통하고 이 유지 스터드(120)에 설치된 잠금 플레이트 홈(134)에 걸어맞춰지는 소직경 구멍(106)을 형성한 잠금부(104)를 가지는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 5에 있어서,
상기 잠금부(104)는, 상기 대직경 구멍(108)이 형성된 부위에서 위쪽으로 볼록한 평면을 포함하며, 상기 평면에 상기 소직경 구멍(106)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 1에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(40)에 오목부 및 볼록부 중 하나를 형성하고, 상기 잠금 플레이트(100)에 볼록부 및 오목부 중 하나를 형성하여, 상기 오목부와 상기 볼록부를 걸어맞춤으로써 상기 어댑터 플레이트(40)에 상기 잠금 플레이트(100)를 위치결정 및 유지하는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 1에 있어서,
상기 어댑터 플레이트(40)에는 상기 잠금 플레이트(100)를 덮도록 장착 브래킷(80)이 설치되며, 상기 장착 브래킷(80)은 이송 장치와 걸어맞춰지는 유지부(90)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.
청구항 1에 있어서,
상기 흡착 패드(20)에 있어서의 상기 어댑터 플레이트(40) 장착면 쪽에는, 경질의 수지제 플레이트(29)가 조립되어 있는 것을 특징으로 하는, 이젝터를 갖춘 흡착장치.