JP6718581B2 - 吸着保持装置 - Google Patents
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 15
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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Description
前記吸着パッド内にバッフル部材を設け、前記吸着パッド内の基部側から供給される気体を前記バッフル部材により該吸着パッドの内壁に沿うように偏向させて導出し、前記吸着パッドの内壁に付着した異物を該吸着パッドの外部へと排出することを特徴とする。
5、32…吸引口 16…挿入孔
34…アダプタ 36…バッフル部材
46…保持孔 50…流通孔
52…係合軸部 54…邪魔板部
58…クリアランス
Claims (5)
- 吸着パッドを介して吸気することで、前記吸着パッド内を負圧に保持してワークを吸着する吸着保持装置であって、
前記吸着パッド内にバッフル部材を設け、前記吸着パッド内の基部側から供給される気体を前記バッフル部材により該吸着パッドの内壁に沿うように偏向させて導出し、前記吸着パッドの内壁に付着した異物を該吸着パッドの外部へと排出することを特徴とする吸着保持装置。 - 請求項1記載の吸着保持装置において、前記バッフル部材は前記吸着パッドの前記基部に設けられたアダプタに係着され、前記アダプタに設けられた流通孔から供給される気体の噴出方向を偏向して前記吸着パッドの内壁に沿うように導出する邪魔板部を有することを特徴とする吸着保持装置。
- 請求項2記載の吸着保持装置において、前記アダプタは前記バッフル部材を係着する保持孔を有するとともに、前記保持孔に同芯的に複数の前記流通孔を設け、前記バッフル部材を構成する前記邪魔板部の周縁底面と前記アダプタの前記流通孔が臨む上面との間でクリアランスが設けられることを特徴とする吸着保持装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の吸着保持装置において、前記吸着パッドの吸引口が上方を向いて開口して保持されることを特徴とする吸着保持装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の吸着保持装置において、前記吸着パッドから吸引された気体が流通する吸引通路が、前記気体の供給通路と別個に設けられていることを特徴とする吸着保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165992A JP6718581B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 吸着保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165992A JP6718581B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 吸着保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018030221A JP2018030221A (ja) | 2018-03-01 |
JP6718581B2 true JP6718581B2 (ja) | 2020-07-08 |
Family
ID=61302914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016165992A Active JP6718581B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 吸着保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6718581B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2768867B2 (ja) * | 1991-03-29 | 1998-06-25 | 株式会社日立製作所 | 真空チャック装置 |
JPH07266274A (ja) * | 1992-01-31 | 1995-10-17 | Riide Electron:Kk | 真空吸着装置 |
JPH0938879A (ja) * | 1995-08-01 | 1997-02-10 | Kubota Corp | ロボットハンド |
KR200416662Y1 (ko) * | 2006-03-03 | 2006-05-19 | (주)디알엠 브이메카 | 비접촉식 흡착패드 |
JP4947698B2 (ja) * | 2006-09-01 | 2012-06-06 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装ラインおよび実装機のエアブロー方法 |
JP4890424B2 (ja) * | 2007-11-13 | 2012-03-07 | 川崎重工業株式会社 | 薄板曲面被加工物の加工装置 |
-
2016
- 2016-08-26 JP JP2016165992A patent/JP6718581B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018030221A (ja) | 2018-03-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190617 |
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A977 | Report on retrieval |
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