JP5933993B2 - ノズルの洗浄装置 - Google Patents
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Description
待機位置では洗浄部が回収液の内部に配される構成としてもよい。
このような構成によると、待機位置で洗浄部が回収液の内部に配されるため、洗浄部が塗布液で汚れることを回避できる。
このような構成によると、洗浄ノズルによって洗浄液を霧状にしてノズルに噴射できるため、洗浄ノズルの洗浄能力を高めることができる。
このような構成によると、昇降装置によって洗浄ノズルを昇降させることにより、洗浄ノズルを最適な位置に配置してノズルを洗浄することができる。
本発明の実施形態1を図1ないし図4の図面を参照しながら説明する。本実施形態における基板の成膜装置11は、基板保持部21に保持された基板Bに対して、回転霧化式のスプレーノズルN1を用いてレジスト液(本発明の「塗布液」の一例)を吹き付けて塗布する装置である。この成膜装置11は、水平面に平行な床面に載置されて用いられる。なお、このような成膜装置11は、クリーンルーム内に設置され、成膜装置11内の空気は、ヘパフィルタを介して循環されており、Class100の清浄度に保たれている。
次に、本発明の実施形態2を図5の図面を参照しながら説明する。本実施形態の成膜装置12は、実施形態1の成膜装置11の塗布部20の構成を一部変更したものであって、実施形態1と同じ構成については同一の符号を用いるものとし、実施形態1と同じ構成、作用、および効果については重複するため、その説明を省略するものとする。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、洗浄位置では洗浄ノズルN2が回収液Lの内部に収容されるものを例示しているものの、本発明によると、回収液Lの内部に収容される必要はなく、仮に回収液Lがないとした場合、洗浄ノズルN2が通し孔26の内部に収容されるものとしてもよい。
23…貯留部
27…昇降装置
L…回収液
N1…スプレーノズル(ノズル)
N2…洗浄ノズル(洗浄部)
N21…内筒部
N22…外筒部
Claims (5)
- 基板に塗布液を塗布するノズルの洗浄装置であって、
前記基板の周りを囲むカップ部と、
前記カップ部の内部において前記ノズルを洗浄する洗浄部と、
前記カップ部の下方において回収液を貯留する貯留部と、
前記貯留部の外周端部を覆う形態で、前記カップ部を挟む両側に一対設けられた一対の霧化部と、
各霧化部の下面に接続され、前記貯留部の外周端部で霧化された回収液を前記霧化部から回収タンクへ送り込む一対の回収配管とを備え、
前記洗浄部は、前記ノズルの洗浄を行う洗浄位置と、前記ノズルの洗浄を行わない待機位置との間を移動可能とされ、前記待機位置は、前記ノズルからの前記塗布液が触れない位置とされているノズルの洗浄装置。 - 前記待機位置では前記洗浄部が前記回収液の内部に配される請求項1に記載のノズルの洗浄装置。
- 前記洗浄部は、洗浄液を霧状にして噴射する洗浄ノズルを備える請求項1または請求項2に記載のノズルの洗浄装置。
- 前記洗浄部は、前記洗浄ノズルを昇降させる昇降装置を備える請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のノズルの洗浄装置。
- 前記洗浄ノズルは、内筒部と外筒部とからなる二重筒構造とされている請求項4に記載のノズルの洗浄装置。
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