JP5905718B2

JP5905718B2 - Conveying jig, conveying method, and conveying jig material

Info

Publication number: JP5905718B2
Application number: JP2011289257A
Authority: JP
Inventors: 近藤　孝司; 孝司近藤
Original assignee: 東新産業株式会社
Priority date: 2011-12-28
Filing date: 2011-12-28
Publication date: 2016-04-20
Anticipated expiration: 2031-12-28
Also published as: JP2013138152A

Description

本発明は、搬送治具、搬送方法、および搬送治具材料に関し、特に、搬送対象物の加熱処理を含む工程において使用する搬送治具、その搬送治具を用いた搬送方法、およびその搬送治具材料に関する。 The present invention relates to a conveyance jig, a conveyance method, and a conveyance jig material, and in particular, a conveyance jig used in a process including heat treatment of a conveyance object, a conveyance method using the conveyance jig, and a conveyance treatment thereof. It relates to ingredients.

フレキシブルプリント配線基板へ部品を実装する際に使用する搬送治具の一例が特許文献１および特許文献２に記載されている。各特許文献に記載された装置では、プリント配線基板を剥離可能に貼着する弱粘着性接着剤層や弱粘着性接着剤パターンを治具ベースに形成し、プリント配線基板を保持して部品を実装する。弱粘着性接着剤層や弱粘着性接着層パターンは、シリコーン樹脂などからなる。 Patent Document 1 and Patent Document 2 describe an example of a conveying jig used when a component is mounted on a flexible printed wiring board. In the device described in each patent document, a weak adhesive layer or a weak adhesive pattern that adheres the printed wiring board so as to be peeled off is formed on the jig base, and the printed wiring board is held to hold the component. Implement. The weak adhesive layer and the weak adhesive layer pattern are made of silicone resin or the like.

特許３３２８２４８号公報Japanese Patent No. 3328248 特許３４３５１５７号公報Japanese Patent No. 3435157

しかしながら、上記特許文献に記載の技術においては、弱粘着性接着剤層や弱粘着性接着層パターンは、治具ベースにシリコーン樹脂を固着させて形成されている。上記特許文献１において、同じ治具ベースを他のプリント配線基板の実装工程に繰り返し使用できることが記載されている。このように特許文献１に記載の治具では、搬送だけであれば繰り返し使用可能であるかもしれない。しかしながら、加工工程を経ると、粘着性が低下したり、特に、加熱処理を行うと、粘着性接着剤層と治具ベースとの接合部分が剥がれたりして、実質的に繰り返し使用は困難であるという問題点があった。 However, in the technique described in the above patent document, the weak adhesive layer and the weak adhesive layer pattern are formed by fixing a silicone resin to the jig base. In Patent Document 1, it is described that the same jig base can be repeatedly used in the mounting process of other printed wiring boards. As described above, the jig described in Patent Document 1 may be repeatedly usable as long as it is transported only. However, after the processing step, the adhesiveness decreases, and particularly when heat treatment is performed, the joint portion between the adhesive adhesive layer and the jig base peels off, so that it is difficult to use repeatedly substantially. There was a problem that there was.

さらに、上記特許文献２記載の技術にあっては、プリント配線基板の実装工程において繰り返し使用できることさえも記載されていない。さらに、半田工程等の加熱工程により、弱粘着性接着剤パターンが溶融することが記載されている。このことからも、特許文献２では、治具を繰り返し利用することは前提になっていない。 Furthermore, the technique described in Patent Document 2 does not even describe that it can be used repeatedly in the mounting process of the printed wiring board. Further, it is described that the weak adhesive pattern is melted by a heating process such as a solder process. For this reason as well, Patent Document 2 does not assume that the jig is used repeatedly.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、繰り返し使用に対する耐久性の高い搬送治具、その搬送治具を用いた搬送方法、およびその搬送治具材料を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a transport jig having high durability against repeated use, a transport method using the transport jig, and a transport jig material. There is to do.

本発明によれば、
搬送対象物を保持し搬送する搬送治具であって、
前記搬送対象物を保持する搬送ボードと、
前記搬送対象物と前記搬送ボードとの間に介在するように、前記搬送ボードの表面の少なくとも一部に貼付される第１接着面および前記搬送対象物が貼付される第２接着面を有するシート状粘着性部材と、を備え、
前記シート状粘着性部材の前記第１接着面は、強粘着性を有し、
前記シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記第１接着面の粘着性よりも相対的に弱い弱粘着性を有し、
前記シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成され、
前記基材と前記粘着剤層とが互いに直接接している搬送治具が提供される。 According to the present invention,
A transport jig for holding and transporting a transport object,
A transport board for holding the transport object;
A sheet having a first adhesive surface affixed to at least a part of the surface of the transport board and a second adhesive surface affixed to the transport object so as to be interposed between the transport object and the transport board A sticky adhesive member,
The first adhesive surface of the sheet-like adhesive member has strong adhesiveness,
Wherein said second adhesive surface of the sheet-like adhesive member, have a relatively weak low adhesive than adhesive of the first adhesive surface,
The sheet-like pressure-sensitive adhesive member is provided with a pressure-sensitive adhesive layer made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive on one surface of a base material made of silicone rubber, and the first adhesive surface is formed .
And the base material and the adhesive layer is directly in contact with and transportable oct tool is provided together.

上記搬送治具において、前記シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成されてもよい。
また、上記搬送治具において、前記シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記シリコーンゴムからなる基材の他面であってよい。 In the conveying jig, the first adhesive surface may be formed by providing the sheet-like adhesive member with an adhesive layer made of a silicone-based adhesive on one surface of a base material made of silicone rubber.
Moreover, the said conveyance jig WHEREIN: The said 2nd adhesion surface of the said sheet-like adhesive member may be the other surface of the base material which consists of the said silicone rubber.

上記搬送治具において、前記搬送対象物は、電子部品または基板でもよい。
また、上記搬送治具において、加熱処理を含む工程中の搬送に用いてもよい。 In the transfer jig, the transfer object may be an electronic component or a substrate.
Moreover, in the said conveyance jig, you may use for the conveyance in the process including heat processing.

本発明によれば、
上記搬送治具を用いた搬送方法であって、
搬送対象物を、前記搬送治具の前記搬送ボードに貼り付けられた前記シート状粘着性部材の前記第２接着面に貼付する第１貼付工程と、
前記第１貼付工程で貼付された前記搬送対象物を搬送する第１搬送工程と、
前記搬送対象物を前記シート状粘着性部材から外す第１取り外し工程と、
さらに、別の搬送対象物を前記シート状粘着性部材の前記第２接着面に貼付する第２貼付工程と、
前記第２貼付工程で貼付された前記搬送対象物を搬送する第２搬送工程と、
前記搬送対象物を前記シート状粘着性部材から外す第２取り外し工程と、を含む搬送方法が提供される。 According to the present invention,
A transport method using the transport jig,
A first pasting step of pasting a transport object to the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member affixed to the transport board of the transport jig;
A first transport step for transporting the transport object pasted in the first pasting step;
A first removal step of removing the transport object from the sheet-like adhesive member;
Furthermore, a second pasting step of pasting another transport object to the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member;
A second transport step for transporting the transport object pasted in the second pasting step;
And a second removal step of removing the object to be conveyed from the sheet-like adhesive member.

上記搬送方法において、前記第１取り外し工程または前記第２取り外し工程の後に、使用した前記シート状粘着性部材を前記搬送ボードの前記表面から剥がす工程と、新たなシート状粘着性部材を前記搬送ボードに貼付する工程と、を含むことができ、前記搬送治具を再生した後、別の搬送対象物を貼り付け、搬送することができる。 In the conveying method, after the first removing step or the second removing step, a step of peeling the used sheet-like adhesive member from the surface of the conveying board, and a new sheet-like adhesive member being removed from the conveying board. A step of sticking to the substrate, and after regenerating the transport jig, another transport object can be pasted and transported.

上記搬送方法において、前記第１貼付工程と前記第１取り外し工程の間、または前記第２貼付工程と前記第２取り外し工程の間に、前記搬送治具に貼付された前記搬送対象物の処理工程を含むことができる。
また、上記搬送方法において、前記処理工程は、前記搬送対象物の加熱工程を含むことができる。 In the transport method, the process of processing the transport object pasted on the transport jig between the first pasting step and the first removing step or between the second pasting step and the second removing step. Can be included.
Moreover, the said conveyance method WHEREIN: The said process process can include the heating process of the said conveyance target object.

本発明によれば、
搬送対象物を搬送する搬送方法に用いる搬送治具を構成する搬送治具材料であって、
前記搬送対象物を保持する搬送ボードと、
前記搬送ボードに貼付する第１シート状粘着性部材と、
前記搬送ボードに貼付する第２シート状粘着性部材と、を備え、
前記第１シート状粘着性部材および前記第２シート状粘着性部材は、いずれも前記搬送ボードの表面の少なくとも一部に貼付される第１接着面および搬送対象物が貼付される第２接着面を有するとともに、前記第１接着面は、強粘着性を有し、前記第２接着面は、前記第１接着面の粘着性よりも相対的に弱い弱粘着性を有し、
さらに、前記第１シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記第２シート状粘着性部材の前記第２接着面の粘着性と異なる強度を有し、
前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成され、
前記基材と前記粘着剤層とが互いに直接接している搬送治具材料が提供される。 According to the present invention,
A transport jig material constituting a transport jig used in a transport method for transporting a transport object,
A transport board for holding the transport object;
A first sheet-like adhesive member to be affixed to the transport board;
A second sheet-like adhesive member to be affixed to the transport board,
The first sheet-like pressure-sensitive adhesive member and the second sheet-like pressure-sensitive adhesive member are both a first adhesive surface that is affixed to at least a part of the surface of the transport board and a second adhesive surface that is affixed to a transport object. And the first adhesive surface has strong adhesiveness, the second adhesive surface has weak adhesiveness relatively weaker than the adhesiveness of the first adhesive surface,
Further, the second adhesive surface of the first sheet-shaped adhesive member is to have a sticky and different intensity of the second adhesive surface of the second sheet-shaped adhesive member,
The first sheet-like pressure-sensitive adhesive member or the second sheet-like pressure-sensitive adhesive member is provided with a pressure-sensitive adhesive layer made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive on one side of a base material made of silicone rubber, and the first adhesive surface is formed .
Transportable oct tool material and the adhesive layer and the base material is in direct contact with each other is provided.

上記搬送治具材料において、前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成されてもよい。 In the conveying jig material, the first sheet-like adhesive member or the second sheet-like adhesive member is provided with an adhesive layer made of a silicone-based adhesive on one surface of a base material made of silicone rubber. One adhesive surface may be formed.

上記搬送治具材料において、前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材の前記第２接着面は、シリコーンゴムからなる基材の他面であってよい。また、上記搬送治具材料において、前記第１シート状粘着性部材および前記第２シート状粘着性部材のシリコーンゴムは、互いに異なる硬度を有してもよい。 In the conveying jig material, the second adhesive surface of the first sheet-like adhesive member or the second sheet-like adhesive member may be the other surface of the base material made of silicone rubber. Moreover, in the said conveyance jig material, the silicone rubber of the said 1st sheet-like adhesive member and the said 2nd sheet-like adhesive member may have mutually different hardness.

以上、本発明の構成について説明したが、本発明は、これに限られず様々な態様を含む。 As mentioned above, although the structure of this invention was demonstrated, this invention is not restricted to this, Various aspects are included.

本発明の各種の構成要素は、必ずしも個々に独立した存在である必要はなく、複数の構成要素が一個の部材として形成されていること、一つの構成要素が複数の部材で形成されていること、ある構成要素が他の構成要素の一部であること、ある構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等でもよい。 The various components of the present invention do not necessarily have to be independent of each other. A plurality of components are formed as a single member, and a single component is formed of a plurality of members. It may be that a certain component is a part of another component, a part of a certain component overlaps a part of another component, and the like.

また、本発明の方法には複数の手順を順番に記載してあるが、その記載の順番は複数の手順を実行する順番を限定するものではない。このため、本発明の方法を実施するときには、その複数の手順の順番は内容的に支障のない範囲で変更することができる。 Moreover, although the several procedure is described in order in the method of this invention, the order of the description does not limit the order which performs a several procedure. For this reason, when carrying out the method of the present invention, the order of the plurality of procedures can be changed within a range that does not hinder the contents.

さらに、本発明の方法の複数の手順は個々に相違するタイミングで実行されることに限定されない。このため、ある手順の実行中に他の手順が発生すること、ある手順の実行タイミングと他の手順の実行タイミングとの一部ないし全部が重複していること、等でもよい。 Further, the plurality of procedures of the method of the present invention are not limited to being executed at different timings. For this reason, another procedure may occur during the execution of a certain procedure, or some or all of the execution timing of a certain procedure and the execution timing of another procedure may overlap.

本発明によれば、繰り返し使用に対する耐久性の高い搬送治具、その搬送治具を用いた搬送方法、およびその搬送治具材料が提供される。 According to the present invention, a transport jig having high durability against repeated use, a transport method using the transport jig, and a transport jig material are provided.

本発明の実施の形態に係る搬送治具の断面図である。It is sectional drawing of the conveyance jig which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る搬送治具の平面図である。It is a top view of the conveyance jig concerning an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態に係る搬送治具で使用する粘着性シートの断面図である。It is sectional drawing of the adhesive sheet used with the conveyance jig which concerns on embodiment of this invention. 比較例の搬送治具の断面図である。It is sectional drawing of the conveyance jig of a comparative example.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係る搬送治具１の概略を示す断面図である。
本発明の実施の形態に係る搬送治具１は、搬送対象物を保持し搬送する治具である。図１では、搬送対象物は、たとえば、フレキシブルプリント配線基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ１０）などの薄板のプリント配線基板を例に示してある。本発明の搬送対象物は、これに限定されるものではない。たとえば、電子部品または基板でもよい。搬送対象物としての基板は、たとえば、回路が形成された基板、銅箔のみが形成された基板、または電子部品実装後の基板でもよい。また、たとえば、半導体素子などの集積回路のパッケージ、半導体集積回路の製造工程で用いるウエハでもよい。なお、本実施形態のＦＰＣ１０などの薄板のプリント配線基板の場合は、特に搬送ボード３から外しやすい。 (First embodiment)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an outline of a conveying jig 1 according to an embodiment of the present invention.
A transport jig 1 according to an embodiment of the present invention is a jig that holds and transports a transport object. In FIG. 1, for example, a thin printed circuit board such as a flexible printed circuit board (Flexible Printed Circuits: FPC 10) is shown as an example of the conveyance target. The conveyance object of the present invention is not limited to this. For example, an electronic component or a substrate may be used. The substrate as the transport object may be, for example, a substrate on which a circuit is formed, a substrate on which only a copper foil is formed, or a substrate after mounting an electronic component. Further, for example, a package of an integrated circuit such as a semiconductor element or a wafer used in a manufacturing process of the semiconductor integrated circuit may be used. In the case of a thin printed wiring board such as the FPC 10 of the present embodiment, it is particularly easy to remove from the transport board 3.

図１に示すように、搬送治具１は、ＦＰＣ１０を保持する搬送ボード３と、シート状粘着性部材（粘着性シート５）と、を備える。粘着性シート５は、ＦＰＣ１０と搬送ボード３との間に介在するように、搬送ボード３の表面３ａの少なくとも一部に貼付される第１接着面５ａおよびＦＰＣ１０が貼付される第２接着面５ｂを有する。粘着性シート５の第１接着面５ａは、強粘着性を有し、粘着性シート５の第２接着面５ｂは、第１接着面５ａの粘着性よりも相対的に弱い弱粘着性を有する。 As shown in FIG. 1, the conveyance jig 1 includes a conveyance board 3 that holds the FPC 10 and a sheet-like adhesive member (adhesive sheet 5). The adhesive sheet 5 is interposed between the FPC 10 and the transport board 3 so that the first adhesive surface 5a attached to at least a part of the surface 3a of the transport board 3 and the second adhesive surface 5b to which the FPC 10 is attached. Have The first adhesive surface 5a of the adhesive sheet 5 has strong adhesiveness, and the second adhesive surface 5b of the adhesive sheet 5 has weak adhesiveness relatively weaker than the adhesiveness of the first adhesive surface 5a. .

図２は、図１の本発明の実施の形態に係る搬送治具１の平面図である。図１（ａ）および図１（ｂ）は、それぞれ図２（ａ）および図２（ｂ）の線Ｘ−Ｘについての断面図である。なお、図１および図２ともに、搬送治具１の搬送ボード３の一部を部分的に図示してある。また、各図において、本発明の本質に関わらない部分の構成については省略してあり、図示されていない。 FIG. 2 is a plan view of the conveying jig 1 according to the embodiment of the present invention shown in FIG. FIGS. 1A and 1B are cross-sectional views taken along line XX in FIGS. 2A and 2B, respectively. 1 and 2 partially illustrate a part of the transfer board 3 of the transfer jig 1. Moreover, in each figure, about the structure of the part which is not related to the essence of this invention, it has abbreviate | omitted and is not illustrated.

搬送ボード３は、表面３ａに粘着性シート５を剥離可能に貼着して、その上に複数のＦＰＣ１０を保持し、ＦＰＣ１０への部品の実装工程で使用する搬送治具１を構成する。ＦＰＣ１０への部品の実装工程が終了すると、搬送ボード３からＦＰＣ１０は剥がされる。そして、再び、他のＦＰＣ１０が載置されて部品の実装工程が行われることとなる。図１（ａ）および図２（ａ）では、縦長テープ状の粘着性シート５の上に、ＦＰＣ１０が横長方向に複数保持されている。一方、図１（ｂ）および図２（ｂ）では、縦長テープ状の粘着性シート５の上に、ＦＰＣ１０が縦長方向に保持されている。粘着性シート５の上に載せるＦＰＣ１０の配置は、縦長方向または横長方向のいずれでもよい。また、ＦＰＣ１０の配置は縦長方向と横長方向が混在してもよい。 The conveyance board 3 adheres the adhesive sheet 5 to the surface 3a in a peelable manner, holds a plurality of FPCs 10 thereon, and constitutes a conveyance jig 1 used in a component mounting process on the FPCs 10. When the component mounting process on the FPC 10 is completed, the FPC 10 is peeled off from the transfer board 3. Then, another FPC 10 is again placed and a component mounting process is performed. In FIG. 1A and FIG. 2A, a plurality of FPCs 10 are held in the horizontally long direction on the vertically long tape-like adhesive sheet 5. On the other hand, in FIG. 1B and FIG. 2B, the FPC 10 is held in the vertically long direction on the adhesive sheet 5 having a vertically long tape shape. Arrangement | positioning of FPC10 mounted on the adhesive sheet 5 may be either a longitudinally long direction or a laterally long direction. Further, the FPC 10 may be arranged in a vertically long direction and a horizontally long direction.

図２に示すように、粘着性シート５は、たとえば、矩形のＦＰＣ１０の横長手方向の長さより短く、かつ、ＦＰＣ１０の縦短手方向の長さより長い幅のテープ形状を有する。粘着性シート５が、搬送ボード３の表面３ａ上に、複数列貼着される。粘着性シート５は、厚さ５０μｍ〜１５００μｍ程度であり、簡単に裁断できる。必要に応じて、様々な形状に裁断することもできる。また、粘着性シート５を搬送ボード３の表面３ａのどの位置にどのように貼着するかも、特に限定されない。 As shown in FIG. 2, the adhesive sheet 5 has, for example, a tape shape with a width shorter than the length of the rectangular FPC 10 in the horizontal longitudinal direction and longer than the length of the FPC 10 in the vertical short direction. A plurality of rows of adhesive sheets 5 are stuck on the surface 3 a of the conveyance board 3. The adhesive sheet 5 has a thickness of about 50 μm to 1500 μm and can be easily cut. If necessary, it can be cut into various shapes. Further, how the adhesive sheet 5 is attached to which position on the surface 3 a of the transport board 3 is not particularly limited.

たとえば、図２（ａ）に示すように、ＦＰＣ１０より少し小さく、ＦＰＣ１０の端が粘着性シート５よりもはみ出るように、ＦＰＣ１０と粘着性シート５のサイズを決定すると、粘着性シート５からＦＰＣ１０を剥がしやすくなる。 For example, as shown in FIG. 2A, when the sizes of the FPC 10 and the adhesive sheet 5 are determined so that the end of the FPC 10 is slightly smaller than the FPC 10 and protrudes from the adhesive sheet 5, the FPC 10 is removed from the adhesive sheet 5. Easy to peel off.

粘着性シート５の形状、サイズ、貼り付け位置などは、搬送ボード３に保持する搬送対象物の大きさ、形状、重さ、素材、搬送ボード３の使用時の設置角度や搬送移動速度、剥がし易さ等を考慮して、適宜決定されるのが望ましい。 The shape, size, sticking position, etc. of the adhesive sheet 5 are the size, shape, weight, material of the object to be transported held on the transport board 3, the installation angle, transport speed, and peeling of the transport board 3. It is desirable to determine appropriately in consideration of easiness and the like.

実装工程において、半田工程などの加熱工程を含む場合には、特に、搬送ボード３は、耐熱性を有するのが好ましい。搬送ボード３は、たとえば、ガラスエポキシ基板からなる。またはガラスやセラミックスでもよい。 In the case where the mounting process includes a heating process such as a solder process, it is particularly preferable that the transfer board 3 has heat resistance. The transfer board 3 is made of, for example, a glass epoxy substrate. Or glass and ceramics may be sufficient.

図３は、本発明の実施の形態に係る搬送治具１で使用する粘着性シート５の断面図である。
本実施形態の例では、粘着性シート５は、すべてシリコーン系の部材からなるものについて説明する。
従来、粘着性シート５の基材には、シリコーンゴム以外の部材が利用されていたが、その場合、耐熱性がなく、特に、加熱処理工程を含む場合には、繰り返しの使用に耐えられないといった問題点があった。 FIG. 3 is a cross-sectional view of the adhesive sheet 5 used in the conveying jig 1 according to the embodiment of the present invention.
In the example of this embodiment, the adhesive sheet 5 will be described as being made of a silicone-based member.
Conventionally, a member other than silicone rubber has been used for the base material of the adhesive sheet 5, but in that case, it has no heat resistance, and particularly when it includes a heat treatment step, it cannot withstand repeated use. There was a problem.

また、粘着性シート５の基材としてシリコーンゴムなどシリコーン樹脂からなるものも考えられるが、シリコーンゴムは搬送ボード３とそのままでは接着することが困難である。そのため、熱融着などにより搬送ボード３にシリコーンゴムを固着させる必要が生じる。その場合、シリコーンゴムと搬送ボード３の線膨張係数の違いなどにより、シリコーンゴムと搬送ボード３との接合部分に耐久性がなく、簡単に剥離が生じてしまう。そのため、加熱処理工程や、その繰り返し利用には耐えられるものではない。 Moreover, although the thing which consists of silicone resins, such as a silicone rubber, can also be considered as a base material of the adhesive sheet 5, it is difficult to adhere | attach silicone rubber on the conveyance board 3 as it is. Therefore, it becomes necessary to fix the silicone rubber to the transfer board 3 by heat fusion or the like. In that case, due to the difference in coefficient of linear expansion between the silicone rubber and the transfer board 3, the joint between the silicone rubber and the transfer board 3 is not durable and easily peels off. For this reason, it cannot withstand the heat treatment process and its repeated use.

本発明では、粘着性シート５は、シリコーンゴムシートからなる基材７の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層９を設けて第１接着面５ａが形成される。このように、すべてシリコーン系の部材で構成することで、その特性を生かし、搬送治具１の耐熱性および耐久性を実現できる。さらに、粘着性シート５の基材７を粘着剤層９の強粘着性により搬送ボード３に接着して固定するとともに、粘着性シート５の基材７の弱粘着性によりＦＰＣ１０を剥離可能に貼着して保持できるようになっている。 In the present invention, the pressure-sensitive adhesive sheet 5 is provided with a pressure-sensitive adhesive layer 9 made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive on one surface of a base material 7 made of a silicone rubber sheet to form a first adhesive surface 5a. Thus, by comprising all by a silicone-type member, the heat resistance and durability of the conveyance jig | tool 1 can be implement | achieved taking advantage of the characteristic. Further, the base material 7 of the adhesive sheet 5 is adhered and fixed to the transport board 3 by the strong adhesiveness of the adhesive layer 9 and the FPC 10 is peeled off by the weak adhesiveness of the base material 7 of the adhesive sheet 5. It can be worn and held.

たとえば、本実施形態の搬送治具１において使用する粘着性シート５は、マクセルスリオンテック社製のオールシリコーンテープＮｏ．６７１０片面タイプ、厚さ１００μｍ〜３００μｍを用いることができる。 For example, the adhesive sheet 5 used in the conveyance jig 1 of this embodiment is an all silicone tape No. manufactured by Maxell Sliontec. A 6710 single-sided type having a thickness of 100 μm to 300 μm can be used.

本実施形態において、シリコーンゴムからなる粘着性シート５のシリコーンゴム硬度が５０〜７０度のものが、搬送対象物を好適に保持できる。 In the present embodiment, the adhesive sheet 5 made of silicone rubber having a silicone rubber hardness of 50 to 70 degrees can suitably hold the object to be conveyed.

本発明の搬送治具１を構成する搬送治具材料は、キットとして準備できる。
本発明の搬送治具材料は、搬送対象物を保持する搬送ボード３と、第２接着面５ｂの粘着性の強度が異なる２つの粘着性シート５（第１シート状粘着性部材と第２シート状粘着性部材）とを備える。たとえば、異なる硬度５０度と７０度の粘着性シート５を準備し、搬送対象物に合わせて選択することで、適切な吸着力を実現できる。 The conveyance jig material which comprises the conveyance jig 1 of this invention can be prepared as a kit.
The conveyance jig material of the present invention includes a conveyance board 3 that holds an object to be conveyed and two adhesive sheets 5 (first sheet-like adhesive member and second sheet) having different adhesive strengths on the second adhesive surface 5b. Adhesive member). For example, an appropriate suction force can be realized by preparing adhesive sheets 5 having different hardnesses of 50 degrees and 70 degrees and selecting them according to the object to be conveyed.

粘着性シート５の第２接着面５ｂは、接着剤層を設けず、粘着剤層９の第１接着面５ａよりも相対的に弱粘着性を有する基材７のシリコーンゴムの表面そのままとなる。すなわち、粘着性シート５は、シリコーンゴムシートからなる基材７の他面を、第２接着面５ｂとする。このように、粘着性シート５の第１接着面５ｂは、第２接着面５ｂよりも相対的に強い強粘着性で搬送ボード３に貼着され、第２接着面５ｂは、第１接着面５ａよりも相対的に弱い弱粘着性でＦＰＣ１０を保持できる。 The second adhesive surface 5b of the pressure-sensitive adhesive sheet 5 is not provided with an adhesive layer, and is the surface of the silicone rubber of the base material 7 having relatively weaker adhesiveness than the first adhesive surface 5a of the pressure-sensitive adhesive layer 9. . That is, the adhesive sheet 5 has the other surface of the base material 7 made of a silicone rubber sheet as the second adhesive surface 5b. Thus, the 1st adhesion surface 5b of the adhesive sheet 5 is affixed on the conveyance board 3 by strong adhesiveness relatively stronger than the 2nd adhesion surface 5b, and the 2nd adhesion surface 5b is 1st adhesion surface. The FPC 10 can be held with weak adhesiveness relatively weaker than 5a.

本明細書において、粘着性シート５の第２接着面５ｂとなる基材７の他面、または粘着性シート５の第１接着面５ａとなる粘着剤層９の表面の粘着物性は、「粘着力（剥離力）」と「タック（粘着性）」と「保持力」で示すことができる。本発明の「粘着性」とは、上記３つの物性「粘着力（剥離力）」と「タック（粘着性）」と「保持力」の少なくとも１つで評価できる。 In this specification, the adhesive physical property of the surface of the adhesive layer 9 which becomes the other surface of the base material 7 which becomes the 2nd adhesive surface 5b of the adhesive sheet 5 or the 1st adhesive surface 5a of the adhesive sheet 5 is "adhesiveness". It can be shown by “force (peeling force)”, “tack (adhesiveness)” and “holding force”. The “adhesiveness” of the present invention can be evaluated by at least one of the three physical properties “adhesive strength (peeling strength)”, “tack (adhesiveness)”, and “holding strength”.

粘着性シート５または粘着剤層９の粘着力、タック、または保持力は、被着体の種類や被着体との接着面の状態や面積、搬送対象物の搬送時の周囲環境条件などにより変化するので、適宜、使用条件によって選択されるのが好ましい。粘着性シート５の第２接着面５ｂとなる基材７の他面の粘着性の強度は、搬送対象物を保持でき、かつ、搬送対象物を粘着性シート５から剥がすとき、搬送対象物を破損せずに剥がすことができる程度の吸着力で貼着できる弱粘着性を有することが望ましい。粘着性シート５の第１接着面５ａとなる粘着剤層９の粘着性の強度は、搬送対象物を粘着性シート５から剥がすときに、粘着性シート５が搬送ボード３から剥がれたり、貼り付け位置がずれたりしない程度の強度の粘着性、すなわち、第２接着面５ｂより相対的に強い強粘着性を有することが望ましい。さらに、本実施形態において、粘着性シート５の第１接着面５ａとなる粘着剤層９の粘着性の強度は、粘着性シート５を搬送ボード３から剥がして新しいものと交換する際、粘着剤層９が搬送ボード３の表面に糊残りしたり、搬送ボード３の表面３ａが剥離したりしない程度の粘着性を上限とするのが望ましい。 The adhesive strength, tack, or holding power of the adhesive sheet 5 or the adhesive layer 9 depends on the type of adherend, the state and area of the adhesive surface with the adherend, the ambient environmental conditions during transport of the transport object, etc. Since it changes, it is preferable to select according to use conditions as appropriate. The adhesive strength of the other surface of the base material 7 that becomes the second adhesive surface 5b of the pressure-sensitive adhesive sheet 5 can hold the conveyance object, and when the conveyance object is peeled off from the pressure-sensitive adhesive sheet 5, the conveyance object is It is desirable to have weak adhesiveness that can be attached with an adsorption force that can be removed without being damaged. The adhesive strength of the adhesive layer 9 that becomes the first adhesive surface 5a of the adhesive sheet 5 is such that when the object to be transported is peeled off from the adhesive sheet 5, the adhesive sheet 5 is peeled off from the transport board 3 or attached. It is desirable to have adhesive strength that does not shift the position, that is, strong adhesive strength that is relatively stronger than the second adhesive surface 5b. Furthermore, in the present embodiment, the adhesive strength of the adhesive layer 9 that becomes the first adhesive surface 5a of the adhesive sheet 5 is determined by removing the adhesive sheet 5 from the transport board 3 and replacing it with a new one. It is desirable to set the upper limit of the adhesiveness so that the layer 9 does not remain glue on the surface of the transport board 3 or the surface 3a of the transport board 3 does not peel off.

「粘着力（剥離力）」は、ＪＩＳＺ１５２８に準拠した１８０度剥離試験法で測定することができる。試験条件は、たとえば、以下の条件を採用できる。
被着体：研磨済みステンレス板（厚さ１．５ｍｍ）、測定面を貼り付け
圧着：荷重１９．６Ｎのローラーで１往復
放置時間：２０分（室温２３℃）
剥離速度：３００ｍｍ／分 The “adhesive strength (peeling force)” can be measured by a 180 degree peel test method based on JIS Z1528. As test conditions, for example, the following conditions can be adopted.
Substrate: Polished stainless steel plate (thickness: 1.5 mm), affixed with measurement surface. Crimping: One round trip with a 19.6 N load Standing time: 20 minutes (room temperature 23 ° C.)
Peeling speed: 300mm / min

「タック（粘着性）」は、ＪＩＳＺ０２３７に準拠した傾斜式ボールタック試験（Ｊ．Ｄｏｗ法）で測定することができる。停止したボールＮｏ．で評価する。ボールＮｏ．が大きい程、タックも大きく粘着性が強いこととなる。たとえば、３回実施し、その平均値で評価できる。試験条件は、たとえば、以下の条件を採用できる。
傾斜角：３０度
転がす剛球：直径１／３２インチ〜１インチ（ボールＮｏ．１〜３２）
助走路距離：１００ｍｍ
粘着面滑走距離：１００ｍｍ
測定温度：室温２３℃ “Tack (adhesiveness)” can be measured by an inclined ball tack test (J. Dow method) based on JIS Z0237. Stopped ball no. Evaluate with. Ball No. The larger the is, the larger the tack and the stronger the tackiness. For example, it can be performed three times and evaluated by the average value. As the test conditions, for example, the following conditions can be adopted.
Inclination angle: 30 degrees Rolling hard sphere: 1/32 inch to 1 inch diameter (Ball No. 1 to 32)
Runway distance: 100mm
Adhesive surface sliding distance: 100 mm
Measurement temperature: Room temperature 23 ° C

「保持力」は、ＪＩＳＺ１５２８に準拠した試験で測定することができる。試験片の落下時間（分）またはズレ幅（ｍｍ）を測定することができる。試験条件は、たとえば、以下の条件を採用できる。
被着体：研磨済みステンレス板（厚さ１．５ｍｍ）、測定面を貼り付け
荷重９．８Ｎ
試験時間：２４時間（４０℃） The “holding force” can be measured by a test according to JIS Z1528. The drop time (min) or the deviation width (mm) of the test piece can be measured. As the test conditions, for example, the following conditions can be adopted.
Substrate: Polished stainless steel plate (thickness: 1.5 mm), measurement surface is pasted Load 9.8N
Test time: 24 hours (40 ° C)

基材７の厚さは、５０μｍ〜１０００μｍ程度とすることができる。ＦＰＣ１０の実装に使用する場合は、たとえば、１００μｍ〜３００μｍとするのが好ましい。
基材７に使用するシリコーンゴムとしては、たとえば、ＫＥ−９５１、ＫＥ−５５０、ＫＥ−７６１１（信越化学製）等が使用されるが、特に、これらに限定されるものではない。 The thickness of the base material 7 can be about 50 μm to 1000 μm. When used for mounting the FPC 10, for example, it is preferably set to 100 μm to 300 μm.
Examples of the silicone rubber used for the substrate 7 include KE-951, KE-550, and KE-7611 (manufactured by Shin-Etsu Chemical), but are not particularly limited thereto.

粘着剤層９は、シリコーン系粘着剤を塗布乾燥して形成できる。粘着剤層９の厚さは、０．１μｍ〜５００μｍ程度とすることができる。 The pressure-sensitive adhesive layer 9 can be formed by applying and drying a silicone-based pressure-sensitive adhesive. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 9 can be about 0.1 μm to 500 μm.

上記シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層９に使用するシリコーン重合体は、乾燥温度が１００〜１６０℃である付加型重合体、もしくは、縮合型重合体が望ましく、紫外線重合型は、その対シリコーン粘着力が低く、好ましくない。 The silicone polymer used for the pressure-sensitive adhesive layer 9 composed of the silicone-based pressure-sensitive adhesive is preferably an addition type polymer or a condensation type polymer having a drying temperature of 100 to 160 ° C. The adhesive strength is low, which is not preferable.

シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層９は、縮合型オルガノポリシロキサン、又は、分子中にハイドロシリル基を有するオルガノポリシロキサン及び白金金属系触媒を主成分とするシリコーン系粘着剤組成物（付加反応型ポリオルガノシロキサン）を乾燥させて形成する。 The pressure-sensitive adhesive layer 9 made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive is a condensation-type organopolysiloxane, or a silicone-based pressure-sensitive adhesive composition (addition reaction) mainly composed of organopolysiloxane having a hydrosilyl group in the molecule and a platinum metal-based catalyst. Type polyorganosiloxane) is dried.

縮合型オルガノポリシロキサンとしては、たとえば、ＫＲ−１００、Ｘ−４０−３２８７、Ｘ−４０−３２１２（信越化学製）、ＳＨ４２８０、ＳＥ４２００、ＳＤ４２８４、Ｑ２−７７３５（東レダウコーニング製）が使用されるが、特に、これらに限定されるものではない。 As the condensed organopolysiloxane, for example, KR-100, X-40-3287, X-40-3212 (manufactured by Shin-Etsu Chemical), SH4280, SE4200, SD4284, Q2-7735 (manufactured by Toray Dow Corning) are used. However, it is not particularly limited to these.

また、付加反応型ポリオルガノシロキサンとしては、たとえば、ＳＤ４５６０、ＳＤ４５７０、ＳＤ４５８０、ＳＤ４５８４、ＳＤ４５８５、ＳＤ４５９２、ＢＹ２４−７４０（東レダウコーニング製）、Ｘ−４０−３０６８、Ｘ−４０−３１０２、Ｘ−４０−３１０３、Ｘ−４０−３１０４（信越化学製）が使用されるが、特に、これらに限定されるものではない。 Examples of the addition reaction type polyorganosiloxane include SD4560, SD4570, SD4580, SD4584, SD4585, SD4592, BY24-740 (manufactured by Toray Dow Corning), X-40-3068, X-40-3102, and X-40. -3103 and X-40-3104 (manufactured by Shin-Etsu Chemical) are used, but are not particularly limited thereto.

また、縮合型ポリオルガノシロキサンの架橋剤としては、たとえば、ナイパーＦＦ、ナイパーＢＯ、ナイパーＢＭＴ−Ｋ４０、ナイパーＢＭＴ−Ｍ（日本油脂製）が使用されるが、特に、これらに限定されるものではない。また、付加反応型ポリオルガノシロキサンの架橋剤としては、たとえば、ＢＹ２４−７４１、ＲＤ−１、ＲＤ−２（東レダウコーニング製）が使用されるが、特に、これらに限定されるものではない。 In addition, as the crosslinking agent for the condensation type polyorganosiloxane, for example, Nyper FF, Nyper BO, Nyper BMT-K40, Nyper BMT-M (manufactured by NOF Corporation) is used. Absent. Moreover, as an addition reaction type polyorganosiloxane crosslinking agent, for example, BY24-741, RD-1, and RD-2 (manufactured by Toray Dow Corning) are used, but are not particularly limited thereto.

また、上記架橋剤の配合量としては、上記粘着剤組成の０．１〜１．５重量部が好ましい。架橋剤の配合量が０．１重量部未満の場合、粘着剤層９が４０℃保持力を保持できないため、好ましくない。また、１．５重量部を越えると、架橋密度が高くなり過ぎ、結果として、凝集力が高まり、４０℃保持性が維持できないため、好ましくない。 Moreover, as a compounding quantity of the said crosslinking agent, 0.1-1.5 weight part of the said adhesive composition is preferable. When the blending amount of the cross-linking agent is less than 0.1 parts by weight, the pressure-sensitive adhesive layer 9 is not preferable because it cannot maintain the 40 ° C. holding power. On the other hand, if the amount exceeds 1.5 parts by weight, the crosslinking density becomes too high, resulting in an increase in cohesion and a 40 ° C. retention cannot be maintained.

また、付加反応型ポリオルガノシロキサンの触媒としては、たとえば、ＳＲＸ２１２キャタリスト（東レダウコーニング製）、ＣＡＴ−ＰＬ−５０Ｔ（信越化学製）が使用されるが、特に、これらに限定されるものではない。 Moreover, as an addition reaction type polyorganosiloxane catalyst, for example, SRX212 catalyst (manufactured by Toray Dow Corning) and CAT-PL-50T (manufactured by Shin-Etsu Chemical) are used. Absent.

また、上記触媒の配合量としては、上記粘着剤組成の０．１重量部以上が好ましい。触媒の配合量が０．１重量部未満の場合、シリコーン重合体の反応が促進しないため、好ましくない。 Moreover, as a compounding quantity of the said catalyst, 0.1 weight part or more of the said adhesive composition is preferable. When the amount of the catalyst is less than 0.1 parts by weight, the reaction of the silicone polymer is not promoted, which is not preferable.

また、本発明の粘着性シート５の粘着剤層９は、そのシリコーン系粘着剤の種類、架橋剤の種類や配合量、触媒の種類や配合量、および、厚さ等が異なっていてもよい。 Further, the pressure-sensitive adhesive layer 9 of the pressure-sensitive adhesive sheet 5 of the present invention may be different in the type of the silicone-based pressure-sensitive adhesive, the type and amount of the crosslinking agent, the type and amount of the catalyst, and the thickness. .

粘着性シート５の第１接着面５ａに相当する粘着剤層９の表面は、対ステンレスで測定した粘着力が、０．８Ｎ／１０ｍｍ以上、好ましくは１．９６Ｎ／１０ｍｍ以上であることが望ましい。この粘着力が０．８Ｎ／１０ｍｍ未満では、被着体に粘着性シート５を固定する貼付け強度が低く、好ましくない。また、粘着剤層９の表面は、４０℃で測定した保持力が、２４時間で２ｍｍ以下であり、落下しないことが好ましい。 The surface of the pressure-sensitive adhesive layer 9 corresponding to the first adhesive surface 5a of the pressure-sensitive adhesive sheet 5 has an adhesive strength measured with respect to stainless steel of 0.8 N / 10 mm or more, preferably 1.96 N / 10 mm or more. . When the adhesive strength is less than 0.8 N / 10 mm, the adhesive strength for fixing the adhesive sheet 5 to the adherend is low, which is not preferable. The surface of the pressure-sensitive adhesive layer 9 has a holding force measured at 40 ° C. of 2 mm or less in 24 hours and preferably does not fall.

粘着性シート５の総厚さは、５０μｍ〜１５００μｍとすることができる。また、粘着性シート５の厚さは、切断加工し易い厚さであることが望ましい。 The total thickness of the adhesive sheet 5 can be 50 μm to 1500 μm. In addition, the thickness of the adhesive sheet 5 is desirably a thickness that can be easily cut.

粘着性シート５には、粘着剤層９の表面を保護するための剥離フィルム１１が設けられている。
剥離フィルム１１としては、たとえば、厚さが１９〜１００μｍのビューレックス（帝人製）、セラピール（東レフィルム加工製）、ニッパシート（ニッパ製）等のシリコーン粘着剤用の剥離フィルムが使用されるが、特に、これらに限定されるものではない。 The adhesive sheet 5 is provided with a release film 11 for protecting the surface of the adhesive layer 9.
As the release film 11, for example, a release film for a silicone pressure sensitive adhesive such as Burex (manufactured by Teijin), therapy (manufactured by Toray Film Processing), nipper sheet (manufactured by nippers) and the like having a thickness of 19 to 100 μm is used. In particular, it is not limited to these.

また、粘着性シート５を剥離フィルム１１から剥がす際の剥離力に関しては、０．９０Ｎ／１０ｍｍ以下、好ましくは、０．６０Ｎ／１０ｍｍ以下が望ましい。 Moreover, regarding the peeling force at the time of peeling the adhesive sheet 5 from the peeling film 11, 0.90N / 10mm or less, Preferably, 0.60N / 10mm or less is desirable.

また、本発明の粘着性シート５は、基材７と粘着剤層９の間には、何も介在せず、互いに直接接着していることを特徴する。この構成ように粘着性シート５に介在層がないことで、粘着性シート５に可撓性を持たせたり、粘着性シート５と搬送対象物や搬送ボード３との接着性を向上させたりできる。 The pressure-sensitive adhesive sheet 5 of the present invention is characterized in that nothing is interposed between the base material 7 and the pressure-sensitive adhesive layer 9 and they are directly bonded to each other. Since there is no intervening layer in the pressure-sensitive adhesive sheet 5 as described above, the pressure-sensitive adhesive sheet 5 can be flexible, or the adhesiveness between the pressure-sensitive adhesive sheet 5 and the object to be transported or the transport board 3 can be improved. .

本発明の搬送治具１は、たとえば、ＦＰＣ１０などの薄板のプリント配線基板の実装工程における搬送に使用できる。また、本発明の搬送治具１は、フリップチップ型やＢＧＡ(Ball grid array)などのパッケージをプリント配線基板に実装する工程に使用できる。さらに、本発明の搬送治具１は、電子デバイスの製造工程において、耐熱搬送トレイとして使用できる。さらに、本発明の搬送治具１は、半導体集積回路の製造工程において、半導体チップのダイシング工程時に、ウエハを固定する治具としても使用できる。さらに、本発明の搬送治具１は、プリント配線基板を検査するときに、検査装置内にプリント配線基板を固定する時に使用できる。このように、本発明の搬送治具１を利用して、様々な搬送対象物を搬送できる。さらに、本発明の搬送治具１を利用して搬送する、様々な搬送対象物に対し、様々な処理工程を施すことができる。 The conveyance jig 1 of the present invention can be used for conveyance in a mounting process of a thin printed wiring board such as the FPC 10, for example. Moreover, the conveyance jig 1 of the present invention can be used in a process of mounting a package such as a flip chip type or a BGA (Ball grid array) on a printed wiring board. Furthermore, the conveyance jig 1 of the present invention can be used as a heat-resistant conveyance tray in an electronic device manufacturing process. Furthermore, the transfer jig 1 of the present invention can also be used as a jig for fixing a wafer during a semiconductor chip dicing process in a semiconductor integrated circuit manufacturing process. Furthermore, the conveyance jig 1 of the present invention can be used when fixing the printed wiring board in the inspection apparatus when inspecting the printed wiring board. Thus, various conveyance objects can be conveyed using the conveyance jig 1 of the present invention. Furthermore, various processing steps can be performed on various objects to be conveyed using the conveying jig 1 of the present invention.

このように構成された本発明の搬送治具１を用いた搬送方法であって、搬送対象物を搬送する搬送方法は、搬送対象物を、搬送治具１の搬送ボード３に貼り付けられた粘着性シート５の第２接着面５ｂに貼付する第１貼付工程と、第１貼付工程で貼付された搬送対象物を搬送する第１搬送工程と、搬送対象物を粘着性シート５から外す第１取り外し工程と、さらに、別の搬送対象物を粘着性シート５の第２接着面５ｂに貼付する第２貼付工程と、第２貼付工程で貼付された搬送対象物を搬送する第２搬送工程と、搬送対象物を粘着性シート５から外す第２取り外し工程と、を含む。 It is a conveyance method using conveyance jig 1 of the present invention constituted in this way, Comprising: The conveyance method which conveys a conveyance subject stuck a conveyance subject to conveyance board 3 of conveyance jig 1. The 1st sticking process stuck on the 2nd adhesion surface 5b of adhesive sheet 5, the 1st conveyance process which conveys the conveyance subject stuck in the 1st sticking process, and the 1st removal of a conveyance subject from adhesive sheet 5 1 removal step, and further, a second pasting step of pasting another transport target to the second adhesive surface 5b of the adhesive sheet 5, and a second transport step of transporting the transport target pasted in the second pasting step And a second removal step of removing the conveyance object from the adhesive sheet 5.

ここで、第１搬送工程と第２搬送工程で搬送される搬送対象物は、同じ種類の搬送対象物でもよいし、異なる搬送対象物でもよい。また、複数種類の搬送対象物が混在してもよい。また、第１搬送工程と第２搬送工程で搬送される搬送対象物は、必ずしも別のものである必要はない。たとえば、第１搬送工程で搬送した搬送対象物を一旦外した後、同じ搬送対象物を第２貼付工程で貼付して第２搬送工程で搬送してもよい。 Here, the conveyance object conveyed by a 1st conveyance process and a 2nd conveyance process may be the same kind of conveyance object, and a different conveyance object may be sufficient as it. A plurality of types of conveyance objects may be mixed. Moreover, the conveyance target object conveyed by a 1st conveyance process and a 2nd conveyance process does not necessarily need to be another thing. For example, after removing the conveyance object conveyed at the 1st conveyance process once, the same conveyance object may be stuck at the 2nd adhesion process, and you may convey at a 2nd conveyance process.

さらに、本発明の搬送方法は、第１取り外し工程または第２取り外し工程の後に、使用した粘着性シート５を搬送ボード３の表面３ａから剥がす工程と、新たな粘着性シート５を搬送ボード３に貼付する工程と、を含んでもよい。そして、搬送治具１を再生した後、別の搬送対象物を貼り付け、搬送してもよい。 Furthermore, the conveying method of the present invention includes a step of peeling the used adhesive sheet 5 from the surface 3a of the conveying board 3 after the first removing step or the second removing step, and a new adhesive sheet 5 on the conveying board 3. And a step of attaching. And after reproducing | regenerating the conveyance jig | tool 1, you may affix and convey another conveyance target object.

さらに、本発明の搬送方法は、第１貼付工程と第１取り外し工程の間、または第２貼付工程と第２取り外し工程の間に、搬送治具１に貼付された搬送対象物の処理工程を含むことができる。そして、処理工程は、搬送対象物の加熱工程を含んでもよい。 Furthermore, the conveyance method of the present invention includes a process of processing a conveyance object affixed to the conveyance jig 1 between the first application process and the first removal process or between the second application process and the second removal process. Can be included. And a processing process may also include the heating process of a conveyance target object.

以下、搬送治具１を利用してＦＰＣ１０を搬送し、実装工程に使用する場合について、説明する。
本発明の搬送方法において、搬送治具１を利用した工程は、概略、以下の工程を含む。
（ａ１）粘着性シート５の搬送ボード３への貼付け
（ａ２）粘着性シート５上へのＦＰＣ１０の配置、接着
（ｂ１）チップ部品の半田付け処理
（ｂ２）ＦＰＣ１０上へのチップ部品のマウント
（ｂ３）リフロー高温加熱処理
（ｃ１）冷却後、搬送ボード３からＦＰＣ１０を剥がす
（ｃ２）（ｂ１）〜（ｂ３）の繰り返し
（ｃ３）粘着性シート５の特性劣化時時などの適切なタイミングで、粘着性シート５を搬送ボード３から剥がし、（ａ１）に戻る
（ｃ４）搬送ボード３の特性劣化時に搬送ボード３を交換 Hereinafter, the case where the FPC 10 is transported using the transport jig 1 and used in the mounting process will be described.
In the transport method of the present invention, the process using the transport jig 1 generally includes the following processes.
(A1) Adhesion of adhesive sheet 5 to conveyance board 3 (a2) Arrangement and adhesion of FPC 10 on adhesive sheet 5 (b1) Soldering process of chip parts (b2) Mounting of chip parts on FPC 10 ( b3) Reflow high-temperature heat treatment (c1) After cooling, peel off the FPC 10 from the transfer board 3 (c2) Repeat (b1) to (b3) (c3) At an appropriate timing such as when the characteristics of the adhesive sheet 5 are deteriorated, Remove the adhesive sheet 5 from the transport board 3 and return to (a1). (C4) Replace the transport board 3 when the characteristics of the transport board 3 deteriorate.

ここで、（ａ１）、（ａ２）は、搬送治具１の準備工程であり、（ｂ１）〜（ｂ３）がＦＰＣ１０の実装工程であり、（ｃ１）〜（ｃ４）は、搬送治具１の再利用およびメンテナンス工程である。なお、上記工程は一例であり、これに限定されるものではない。 Here, (a1) and (a2) are preparation steps for the transport jig 1, (b1) to (b3) are mounting steps for the FPC 10, and (c1) to (c4) are transport jig 1 Reuse and maintenance process. In addition, the said process is an example and is not limited to this.

詳細には、まず、搬送ボード３に粘着性シート５の剥離フィルム１１を剥がして、粘着性シート５の粘着剤層９が搬送ボード３の表面３ａに貼着するように貼付する。 Specifically, first, the release film 11 of the pressure-sensitive adhesive sheet 5 is peeled off from the conveyance board 3, and the pressure-sensitive adhesive layer 9 of the pressure-sensitive adhesive sheet 5 is adhered so as to adhere to the surface 3 a of the conveyance board 3.

次に、搬送ボード３の上に、粘着性シート５を介して複数のＦＰＣ１０を配置する。本発明で実装するプリント配線基板（ＦＰＣ１０）は、薄板のものであり、フレキシブルプリント配線基板を使用する。
そして、ＦＰＣ１０に実装する部品の搭載場所に、クリーム半田を塗布（所謂、メタルマスク印刷）する。そして、各ＦＰＣ１０上にチップ部品をマウントし、リフロー炉にて、高温加熱処理して、チップ部品を半田付けして実装工程を終了する。加熱処理は、たとえば、予備加熱１６０〜１８０℃で１２０秒間、本加熱２２０℃で６０秒間、本加熱中ピーク時は２６０℃の高温で１０秒間程度となる。
そして、冷却後、搬送ボード３からＦＰＣ１０を剥がし、完成する。このとき、ＦＰＣ１０は搬送ボード３から簡単に剥がすことができ、また、搬送ボード３から粘着性シート５が剥がれたり貼り付け位置がずれたりすることもない。 Next, a plurality of FPCs 10 are arranged on the conveyance board 3 via the adhesive sheet 5. The printed wiring board (FPC 10) to be mounted in the present invention is a thin plate, and a flexible printed wiring board is used.
And cream solder is apply | coated (what is called metal mask printing) to the mounting place of the components mounted in FPC10. Then, a chip component is mounted on each FPC 10, subjected to high temperature heat treatment in a reflow furnace, the chip component is soldered, and the mounting process is completed. The heat treatment is, for example, preheating at 160 to 180 ° C. for 120 seconds, main heating at 220 ° C. for 60 seconds, and at a peak during main heating at a high temperature of 260 ° C. for about 10 seconds.
Then, after cooling, the FPC 10 is peeled off from the transfer board 3 to complete. At this time, the FPC 10 can be easily peeled off from the transport board 3, and the adhesive sheet 5 is not peeled off from the transport board 3 and the attaching position is not shifted.

そして、搬送ボード３は、粘着性シート５をそのまま交換せずに、次の新たなＦＰＣ１０を搬送ボード３上に粘着性シート５を介して配置し、ＦＰＣ１０の実装工程に使用できる。
繰り返し実装工程に使用した後、粘着性シート５の第２接着面５ｂの粘着性が低下し、搬送対象物を好適に保持できない状態になった場合等の適当なタイミングで、粘着性シート５を搬送ボード３から剥がし、新しい粘着性シート５に張り替えて、再び、搬送ボード３を使用できる。搬送ボード３が変形または破損するまで、粘着性シート５を張り替えるだけで、繰り返し使用できる。本実施形態では、搬送ボード３に粘着性シート５の粘着剤層９が糊残りすることなく、また、搬送ボード３表面３ａを剥離させたりすることなく、粘着性シート５を剥がして、新しいものに交換できる。 And the conveyance board 3 arrange | positions the next new FPC10 via the adhesive sheet 5 on the conveyance board 3, without replacing | exchanging the adhesive sheet 5 as it is, and can use it for the mounting process of FPC10.
After repeated use in the mounting process, the adhesive sheet 5 is attached at an appropriate timing such as when the adhesiveness of the second adhesive surface 5b of the adhesive sheet 5 decreases and the conveyance object cannot be suitably held. The transfer board 3 can be peeled off and replaced with a new adhesive sheet 5 to use the transfer board 3 again. Until the transfer board 3 is deformed or broken, it can be used repeatedly only by replacing the adhesive sheet 5. In the present embodiment, the adhesive sheet 5 is peeled off without causing the adhesive layer 9 of the adhesive sheet 5 to remain on the transport board 3 and without causing the surface 3a of the transport board 3 to peel off. Can be replaced.

粘着性シート５の交換タイミングは、搬送治具１の使用条件（たとえば、搬送対象物の種類、サイズ、加熱処理の温度、時間、粘着性シート５の厚さ、サイズ等）により異なる。上述したように、たとえば、粘着性シート５の第２接着面５ｂの粘着性が弱り、搬送対象物を好適に搬送できなくなった場合、あるいは、粘着性シート５が破損または摩耗した場合に交換できる。 The replacement timing of the adhesive sheet 5 varies depending on the use conditions of the transport jig 1 (for example, the type and size of the transport object, the temperature and time of the heat treatment, the thickness and the size of the adhesive sheet 5). As described above, for example, when the adhesiveness of the second adhesive surface 5b of the adhesive sheet 5 is weak and the object to be conveyed cannot be suitably conveyed, or when the adhesive sheet 5 is damaged or worn, it can be replaced. .

本発明によれば、高温加熱工程を含むものにも使用できる。たとえば、プリント配線基板の実装工程における鉛フリーはんだなどのような、ピーク時２６０℃程度まで加熱されるような高温加熱工程を含むはんだリフロー工程での繰り返し使用にも耐えることができる。そして、搬送ボード３が破損するまで、粘着性シート５を張り替えてさらに繰り返し使用することが可能である。 According to the present invention, it can be used also for a thing including a high temperature heating process. For example, it can withstand repeated use in a solder reflow process including a high-temperature heating process such as lead-free soldering in a mounting process of a printed wiring board that is heated to about 260 ° C. at the peak. And until the conveyance board 3 is damaged, the adhesive sheet 5 can be replaced and used repeatedly.

以上説明したように、本発明によれば、繰り返し使用に対する耐久性の高い搬送治具、その搬送治具を用いた搬送方法、およびその搬送治具材料を提供できる。搬送ボード３に粘着性シート５を必要な形状に裁断して貼付するだけでよいので、簡単な作業工程でＦＰＣ１０の実装工程の準備ができるので、作業コストを削減できる。また、搬送ボード３を繰り返し使用できるので、製造コストの削減にもつながる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a transport jig having high durability against repeated use, a transport method using the transport jig, and a transport jig material. Since it is only necessary to cut and stick the adhesive sheet 5 to the necessary shape on the transport board 3, the FPC 10 mounting process can be prepared with a simple work process, so that the work cost can be reduced. Moreover, since the conveyance board 3 can be used repeatedly, it leads to the reduction of manufacturing cost.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
以下、参考形態の例を付記する。
＜１＞
搬送対象物を保持し搬送する搬送治具であって、
前記搬送対象物を保持する搬送ボードと、
前記搬送対象物と前記搬送ボードとの間に介在するように、前記搬送ボードの表面の少なくとも一部に貼付される第１接着面および前記搬送対象物が貼付される第２接着面を有するシート状粘着性部材と、を備え、
前記シート状粘着性部材の前記第１接着面は、強粘着性を有し、
前記シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記第１接着面の粘着性よりも相対的に弱い弱粘着性を有する搬送治具。
＜２＞
＜１＞に記載の搬送治具において、
前記シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成される搬送治具。
＜３＞
＜２＞に記載の搬送治具において、
前記シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記シリコーンゴムからなる基材の他面である搬送治具。
＜４＞
＜１＞乃至＜３＞いずれかに記載の搬送治具において、
前記搬送対象物は、電子部品または基板である搬送治具。
＜５＞
＜１＞乃至＜４＞いずれかに記載の搬送治具において、
加熱処理を含む工程中の搬送に用いられる搬送治具。
＜６＞
＜１＞乃至＜５＞いずれかに記載の搬送治具を用いた搬送方法であって、
搬送対象物を、前記搬送治具の前記搬送ボードに貼り付けられた前記シート状粘着性部材の前記第２接着面に貼付する第１貼付工程と、
前記第１貼付工程で貼付された前記搬送対象物を搬送する第１搬送工程と、
前記搬送対象物を前記シート状粘着性部材から外す第１取り外し工程と、
さらに、別の搬送対象物を前記シート状粘着性部材の前記第２接着面に貼付する第２貼付工程と、
前記第２貼付工程で貼付された前記搬送対象物を搬送する第２搬送工程と、
前記搬送対象物を前記シート状粘着性部材から外す第２取り外し工程と、を含む搬送方法。
＜７＞
＜６＞に記載の搬送方法において、
前記第１取り外し工程または前記第２取り外し工程の後に、
使用した前記シート状粘着性部材を前記搬送ボードの前記表面から剥がす工程と、
新たなシート状粘着性部材を前記搬送ボードに貼付する工程と、を含み、
前記搬送治具を再生した後、さらに、別の搬送対象物を貼り付け、搬送する搬送方法。
＜８＞
＜６＞または＜７＞に記載の搬送方法において、
前記第１貼付工程と前記第１取り外し工程の間、または前記第２貼付工程と前記第２取り外し工程の間に、
前記搬送治具に貼付された前記搬送対象物の処理工程を含む搬送方法。
＜９＞
＜８＞に記載の搬送方法において、
前記処理工程は、前記搬送対象物の加熱工程を含む搬送方法。
＜１０＞
搬送対象物を搬送する搬送方法に用いる搬送治具を構成する搬送治具材料であって、
前記搬送対象物を保持する搬送ボードと、
前記搬送ボードに貼付する第１シート状粘着性部材と、
前記搬送ボードに貼付する第２シート状粘着性部材と、を備え、
前記第１シート状粘着性部材および前記第２シート状粘着性部材は、いずれも前記搬送ボードの表面の少なくとも一部に貼付される第１接着面および前記搬送対象物が貼付される第２接着面を有するとともに、前記第１接着面は、強粘着性を有し、前記第２接着面は、前記第１接着面の粘着性よりも相対的に弱い弱粘着性を有し、
さらに、前記第１シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記第２シート状粘着性部材の前記第２接着面の粘着性と異なる強度を有する搬送治具材料。
＜１１＞
＜１０＞に記載の搬送治具材料において、
前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成される搬送治具材料。
＜１２＞
＜１１＞に記載の搬送治具材料において、
前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記シリコーンゴムからなる基材の他面である搬送治具材料。
＜１３＞
＜１２＞に記載の搬送治具材料において、
前記第１シート状粘着性部材および前記第２シート状粘着性部材の前記シリコーンゴムは、互いに異なる硬度を有する搬送治具材料。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.
Hereinafter, examples of the reference form will be added.
<1>
A transport jig for holding and transporting a transport object,
A transport board for holding the transport object;
A sheet having a first adhesive surface affixed to at least a part of the surface of the transport board and a second adhesive surface affixed to the transport object so as to be interposed between the transport object and the transport board A sticky adhesive member,
The first adhesive surface of the sheet-like adhesive member has strong adhesiveness,
The conveyance jig in which the 2nd adhesion surface of the sheet-like adhesive member has weak adhesion relatively weaker than the adhesion of the 1st adhesion surface.
<2>
In the conveyance jig as described in <1>,
The sheet-like adhesive member is a transport jig in which the first adhesive surface is formed by providing an adhesive layer made of a silicone-based adhesive on one surface of a base material made of silicone rubber.
<3>
In the conveyance jig as described in <2>,
The conveying jig, wherein the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member is the other surface of the base material made of the silicone rubber.
<4>
In the conveyance jig in any one of <1> thru | or <3>,
The conveyance object is a conveyance jig which is an electronic component or a substrate.
<5>
In the conveyance jig in any one of <1> thru | or <4>,
A conveyance jig used for conveyance in a process including heat treatment.
<6>
<1> thru | or <5> It is a conveyance method using the conveyance jig in any one,
A first pasting step of pasting a transport object to the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member affixed to the transport board of the transport jig;
A first transport step for transporting the transport object pasted in the first pasting step;
A first removal step of removing the transport object from the sheet-like adhesive member;
Furthermore, a second pasting step of pasting another transport object to the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member;
A second transport step for transporting the transport object pasted in the second pasting step;
A second removing step of removing the conveyance object from the sheet-like adhesive member.
<7>
In the conveyance method as described in <6>,
After the first removal step or the second removal step,
Peeling the used sheet-like adhesive member from the surface of the transport board;
Attaching a new sheet-like adhesive member to the transport board,
A transport method in which another transport object is attached and transported after the transport jig is regenerated.
<8>
In the conveyance method as described in <6> or <7>,
Between the first pasting step and the first removing step, or between the second pasting step and the second removing step,
A transport method including a processing step of the transport object attached to the transport jig.
<9>
In the conveyance method as described in <8>,
The said process process is a conveying method containing the heating process of the said conveyance target object.
<10>
A transport jig material constituting a transport jig used in a transport method for transporting a transport object,
A transport board for holding the transport object;
A first sheet-like adhesive member to be affixed to the transport board;
A second sheet-like adhesive member to be affixed to the transport board,
The first sheet-like pressure-sensitive adhesive member and the second sheet-like pressure-sensitive adhesive member are both a first adhesion surface that is affixed to at least a part of the surface of the conveyance board and a second adhesion that is affixed to the conveyance object. The first adhesive surface has strong adhesiveness, the second adhesive surface has weak adhesiveness relatively weaker than the adhesiveness of the first adhesive surface,
Furthermore, the said 2nd adhesive surface of a said 1st sheet-like adhesive member is conveyance jig material which has the intensity | strength different from the adhesiveness of the said 2nd adhesive surface of a said 2nd sheet-like adhesive member.
<11>
In the conveyance jig material as described in <10>,
The first sheet-like pressure-sensitive adhesive member or the second sheet-like pressure-sensitive adhesive member is provided with a pressure-sensitive adhesive layer made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive on one surface of a base material made of silicone rubber to form the first adhesive surface. Transport jig material.
<12>
In the conveyance jig material as described in <11>,
The conveying jig material, wherein the second adhesive surface of the first sheet-like adhesive member or the second sheet-like adhesive member is the other surface of the base material made of the silicone rubber.
<13>
In the conveyance jig material as described in <12>,
The silicone rubber of the first sheet-like adhesive member and the second sheet-like adhesive member is a conveying jig material having different hardnesses.

（実施例１）
以下、本発明の搬送治具１について、実施例によって具体的に説明する。但し、本発明の搬送治具１はこれらに限定されるものではない。
搬送ボード３は、ニッカン工業株式会社社製のニカプレートＬＳ−６７０６を用いた。サイズ縦２５０ｍｍ×横５００ｍｍ。
粘着性シート５は、オールシリコーン粘着テープＮｏ．６７１０（シングルコート）（マクセルスリオンテック社製）、テープ厚さ３００μｍ、ゴム硬度７０度のものを用いて、搬送ボード３の上に、貼着した。 (Example 1)
Hereinafter, the conveyance jig 1 of the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the conveyance jig 1 of the present invention is not limited to these.
As the transport board 3, Nika Plate LS-6706 manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd. was used. Size length 250mm x width 500mm.
The adhesive sheet 5 is an all-silicone adhesive tape no. 6710 (Single coat) (manufactured by Ma habit Le Sliontec Co.), tape thickness 300 [mu] m, using those rubber hardness of 70 degrees, on the transport board 3, and adhered.

粘着性シート５の上に、複数のＦＰＣ１０を配置して、リフロー実装処理工程を行った。処理工程が終了したら、ＦＰＣ１０をすべて粘着性シート５から剥がし、再び、複数のＦＰＣ１０を配置してリフロー実装処理工程を同様に行った。リフロー実装処理は、千住金属工業株式会社のリフロー機エコリフローＳＮＲ−８２５８ゾーンタイプを用いた。加熱工程は、ピーク温度、２６０℃１０秒とした。
リフロー実装処理工程が終了するたびに、ＦＰＣ１０を取り替え、１００回、これらの処理工程を繰り返し行った。 A plurality of FPCs 10 were arranged on the adhesive sheet 5 to perform a reflow mounting process. When the processing step was completed, all the FPCs 10 were peeled off from the adhesive sheet 5, and a plurality of FPCs 10 were again arranged to perform the reflow mounting processing step in the same manner. The reflow mounting process used a Senju Metal Industry Co., Ltd. reflow machine Eco Reflow SNR-825 8 zone type. The heating step was performed at a peak temperature of 260 ° C. for 10 seconds.
Each time the reflow mounting process was completed, the FPC 10 was replaced and these processes were repeated 100 times.

処理を行うたびに、以下の項目について処理工程毎に毎回計測評価を行った。
（ａ）粘着性シート５の剥がれの有無と、剥がれ有りの場合の程度を目視で確認して評価
（ｂ）搬送対象物表面の剥がれや搬送対象物に付属の部品などの剥がれの有無と程度を目視で確認して評価
（ｃ）粘着性シート５の第１接着面５ａの粘着性が良好か否かを評価
（ｄ）搬送対象物の剥がしやすさが良好か否かを評価
（ｆ）粘着性シート５の変形、変色、膨れなどの変化の有無を目視で確認して評価 Each time the process was performed, the following items were measured and evaluated for each process step.
(A) The presence or absence of peeling of the pressure-sensitive adhesive sheet 5 and the degree of peeling are visually confirmed and evaluated. (B) The presence or degree of peeling of the surface of the conveyance object or the parts attached to the conveyance object. (C) Evaluate whether or not the adhesiveness of the first adhesive surface 5a of the adhesive sheet 5 is good (d) Evaluate whether or not the conveyance object is easily peeled off (f) Evaluation by visually confirming the presence or absence of changes such as deformation, discoloration, and swelling of the adhesive sheet 5

上記評価の結果から、１００回のリフロー実装処理工程を繰り返しても、粘着性シート５の物性に大きな変化はなく、同じ粘着性シート５を繰り返して使用し続けることができることがわかった。また、搬送対象物であるＦＰＣ１０が破損したり、粘着性シート５が搬送ボード３から剥がれたり貼り付け位置がずれたりすることもなく、ＦＰＣ１０を外すことができ、他のＦＰＣ１０の実装工程に繰り返し利用することができた。 From the results of the above evaluation, it was found that even if the reflow mounting treatment process was repeated 100 times, the physical properties of the adhesive sheet 5 were not significantly changed, and the same adhesive sheet 5 could be used repeatedly. Further, the FPC 10 that is the object to be transported is not damaged, and the adhesive sheet 5 is not peeled off from the transport board 3 and the attaching position is not shifted, so that the FPC 10 can be removed and repeated in the mounting process of other FPCs 10. I was able to use it.

そして、リフロー実装処理工程を、繰り返した後、適当なタイミングで粘着性シート５を搬送ボード３から剥がし、新しい粘着性シート５と交換し、搬送ボード３を再利用することができた。搬送ボード３に粘着性シート５の粘着剤層９が糊残りすることもなく、粘着性シート５を搬送ボード３から剥がすことができた。 Then, after repeating the reflow mounting process, the adhesive sheet 5 was peeled off from the transport board 3 at an appropriate timing, replaced with a new adhesive sheet 5, and the transport board 3 could be reused. The adhesive sheet 5 could be peeled from the transport board 3 without the adhesive layer 9 of the adhesive sheet 5 remaining on the transport board 3.

（比較例１）
図４に示すように、ＦＰＣ１０は、実施例１と同じものを使用した。搬送ボード３および粘着性シート５として、大晶電子社製のマジックレジンキャリアを使用した。
図４に示すように、比較例１では、シリコーンゴムからなる基材７を粘着性シート５とし、その第１接着面５ｂを搬送ボード３に直接、熱融着して構成されている。
比較例１では、搬送ボード３にシリコーンゴムの粘着性シート５が熱融着されているため、粘着性シート５を搬送ボード３から剥がすことはできず、搬送ボード３を再利用することはできなかった。 (Comparative Example 1)
As shown in FIG. 4, the same FPC 10 as in Example 1 was used. As the conveyance board 3 and the adhesive sheet 5, a magic resin carrier manufactured by Taisho Electronics Co., Ltd. was used.
As shown in FIG. 4, in Comparative Example 1, the base material 7 made of silicone rubber is used as the adhesive sheet 5, and the first adhesive surface 5 b is directly heat-sealed to the transport board 3.
In Comparative Example 1, since the silicone rubber adhesive sheet 5 is heat-sealed to the transport board 3, the adhesive sheet 5 cannot be peeled off from the transport board 3, and the transport board 3 can be reused. There wasn't.

（比較例２）
市販のシリコーンゴム固定用のアクリル系粘着剤を用いた両面テープを使用してシリコーンゴムからなる基材７を搬送ボード３に接着し、ＦＰＣ１０を貼り付けて実装工程を行った。高温の加熱工程により、１回で使用できなくなった。 (Comparative Example 2)
A substrate 7 made of silicone rubber was adhered to the conveyance board 3 using a double-sided tape using a commercially available acrylic adhesive for fixing silicone rubber, and the FPC 10 was attached to perform the mounting process. Due to the high temperature heating process, it could not be used once.

以上、実施形態および実施例を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態および実施例に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。 While the present invention has been described with reference to the embodiments and examples, the present invention is not limited to the above embodiments and examples. Various changes that can be understood by those skilled in the art can be made to the configuration and details of the present invention within the scope of the present invention.

１搬送治具
３搬送ボード
３ａ表面
５粘着性シート
５ａ第１接着面
５ｂ第２接着面
７基材
９粘着剤層
１０ＦＰＣ
１１剥離フィルム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveying jig 3 Conveying board 3a Surface 5 Adhesive sheet 5a 1st adhesive surface 5b 2nd adhesive surface 7 Base material 9 Adhesive layer 10 FPC
11 Release film

Claims

搬送対象物を保持し搬送する搬送治具であって、
前記搬送対象物を保持する搬送ボードと、
前記搬送対象物と前記搬送ボードとの間に介在するように、前記搬送ボードの表面の少なくとも一部に貼付される第１接着面および前記搬送対象物が貼付される第２接着面を有するシート状粘着性部材と、を備え、
前記シート状粘着性部材の前記第１接着面は、強粘着性を有し、
前記シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記第１接着面の粘着性よりも相対的に弱い弱粘着性を有し、
前記シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成され、
前記基材と前記粘着剤層とが互いに直接接している搬送治具。 A transport jig for holding and transporting a transport object,
A transport board for holding the transport object;
A sheet having a first adhesive surface affixed to at least a part of the surface of the transport board and a second adhesive surface affixed to the transport object so as to be interposed between the transport object and the transport board A sticky adhesive member,
The first adhesive surface of the sheet-like adhesive member has strong adhesiveness,
Wherein said second adhesive surface of the sheet-like adhesive member, have a relatively weak low adhesive than adhesive of the first adhesive surface,
The sheet-like pressure-sensitive adhesive member is provided with a pressure-sensitive adhesive layer made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive on one surface of a base material made of silicone rubber, and the first adhesive surface is formed.
Transfer jig and the substrate and the pressure-sensitive adhesive layer that has direct contact with each other.

請求項１に記載の搬送治具において、
前記シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記シリコーンゴムからなる基材の他面である搬送治具。 In the conveyance jig of Claim 1 ,
The conveying jig, wherein the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member is the other surface of the base material made of the silicone rubber.

請求項１または２に記載の搬送治具において、 In the conveyance jig according to claim 1 or 2,
前記シート状粘着性部材の厚みが５０μｍ〜１５００μｍである搬送治具。 The conveyance jig whose thickness of the said sheet-like adhesive member is 50 micrometers-1500 micrometers.

請求項１乃至３いずれかに記載の搬送治具において、 In the conveyance jig in any one of Claims 1 thru | or 3,
前記シリコーンゴムの硬度が５０〜７０度である搬送治具。 The conveyance jig whose hardness of the said silicone rubber is 50-70 degree | times.

請求項１乃至４いずれかに記載の搬送治具において、 In the conveyance jig in any one of Claims 1 thru | or 4,
前記第１接着面の対ステンレスで測定した粘着力が、０．８Ｎ／１０ｍｍ以上である搬送治具。 The conveyance jig whose adhesive force measured with respect to stainless steel of the said 1st adhesion surface is 0.8 N / 10mm or more.

請求項１乃至５いずれかに記載の搬送治具において、
前記搬送対象物は、電子部品または基板である搬送治具。 In the conveyance jig in any one of Claims 1 thru | or 5 ,
The conveyance object is a conveyance jig which is an electronic component or a substrate.

請求項１乃至６いずれかに記載の搬送治具において、
加熱処理を含む工程中の搬送に用いられる搬送治具。 In the conveyance jig in any one of Claims 1 thru | or 6 ,
A conveyance jig used for conveyance in a process including heat treatment.

請求項１乃至７いずれかに記載の搬送治具を用いた搬送方法であって、
前記搬送対象物を、前記搬送治具の前記搬送ボードに貼り付けられた前記シート状粘着性部材の前記第２接着面に貼付する第１貼付工程と、
前記第１貼付工程で貼付された前記搬送対象物を搬送する第１搬送工程と、
前記搬送対象物を前記シート状粘着性部材から外す第１取り外し工程と、
さらに、別の搬送対象物を前記シート状粘着性部材の前記第２接着面に貼付する第２貼付工程と、
前記第２貼付工程で貼付された前記搬送対象物を搬送する第２搬送工程と、
前記搬送対象物を前記シート状粘着性部材から外す第２取り外し工程と、を含む搬送方法。 A conveyance method using a transfer jig according to any one of claims 1 to 7,
A first pasting step of pasting the transport object on the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member affixed to the transport board of the transport jig;
A first transport step for transporting the transport object pasted in the first pasting step;
A first removal step of removing the transport object from the sheet-like adhesive member;
Furthermore, a second pasting step of pasting another transport object to the second adhesive surface of the sheet-like adhesive member;
A second transport step for transporting the transport object pasted in the second pasting step;
A second removing step of removing the conveyance object from the sheet-like adhesive member.

請求項８に記載の搬送方法において、
前記第１取り外し工程または前記第２取り外し工程の後に、
使用した前記シート状粘着性部材を前記搬送ボードの前記表面から剥がす工程と、
新たなシート状粘着性部材を前記搬送ボードに貼付する工程と、を含み、
前記搬送治具を再生した後、さらに、別の搬送対象物を貼り付け、搬送する搬送方法。 In the conveyance method of Claim 8 ,
After the first removal step or the second removal step,
Peeling the used sheet-like adhesive member from the surface of the transport board;
Attaching a new sheet-like adhesive member to the transport board,
A transport method in which another transport object is attached and transported after the transport jig is regenerated.

請求項８または９に記載の搬送方法において、
前記第１貼付工程と前記第１取り外し工程の間、または前記第２貼付工程と前記第２取り外し工程の間に、
前記搬送治具に貼付された前記搬送対象物の処理工程を含む搬送方法。 In the conveyance method of Claim 8 or 9 ,
Between the first pasting step and the first removing step, or between the second pasting step and the second removing step,
A transport method including a processing step of the transport object attached to the transport jig.

請求項１０に記載の搬送方法において、
前記処理工程は、前記搬送対象物の加熱工程を含む搬送方法。 In the conveyance method of Claim 10 ,
The said process process is a conveying method containing the heating process of the said conveyance target object.

搬送対象物を搬送する搬送方法に用いる搬送治具を構成する搬送治具材料であって、
前記搬送対象物を保持する搬送ボードと、
前記搬送ボードに貼付する第１シート状粘着性部材と、
前記搬送ボードに貼付する第２シート状粘着性部材と、を備え、
前記第１シート状粘着性部材および前記第２シート状粘着性部材は、いずれも前記搬送ボードの表面の少なくとも一部に貼付される第１接着面および前記搬送対象物が貼付される第２接着面を有するとともに、前記第１接着面は、強粘着性を有し、前記第２接着面は、前記第１接着面の粘着性よりも相対的に弱い弱粘着性を有し、
さらに、前記第１シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記第２シート状粘着性部材の前記第２接着面の粘着性と異なる強度を有し、
前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材は、シリコーンゴムからなる基材の一面に、シリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を設けて前記第１接着面が形成され、
前記基材と前記粘着剤層とが互いに直接接している搬送治具材料。 A transport jig material constituting a transport jig used in a transport method for transporting a transport object,
A transport board for holding the transport object;
A first sheet-like adhesive member to be affixed to the transport board;
A second sheet-like adhesive member to be affixed to the transport board,
The first sheet-like pressure-sensitive adhesive member and the second sheet-like pressure-sensitive adhesive member are both a first adhesion surface that is affixed to at least a part of the surface of the conveyance board and a second adhesion that is affixed to the conveyance object. The first adhesive surface has strong adhesiveness, the second adhesive surface has weak adhesiveness relatively weaker than the adhesiveness of the first adhesive surface,
Further, the second adhesive surface of the first sheet-shaped adhesive member is to have a sticky and different intensity of the second adhesive surface of the second sheet-shaped adhesive member,
The first sheet-like pressure-sensitive adhesive member or the second sheet-like pressure-sensitive adhesive member is provided with a pressure-sensitive adhesive layer made of a silicone-based pressure-sensitive adhesive on one side of a base material made of silicone rubber, and the first adhesive surface is formed.
Transfer jig material as the base material and the adhesive layer is that in direct contact with each other.

請求項１２に記載の搬送治具材料において、
前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材の前記第２接着面は、前記シリコーンゴムからなる基材の他面である搬送治具材料。 In the conveyance jig material according to claim 12 ,
The conveying jig material, wherein the second adhesive surface of the first sheet-like adhesive member or the second sheet-like adhesive member is the other surface of the base material made of the silicone rubber.

請求項１２または１３に記載の搬送治具材料において、 In the conveyance jig material according to claim 12 or 13,
前記第１シート状粘着性部材または前記第２シート状粘着性部材の厚みが５０μｍ〜１５００μｍである搬送治具材料。 The conveyance jig material whose thickness of the said 1st sheet-like adhesive member or the said 2nd sheet-like adhesive member is 50 micrometers-1500 micrometers.

請求項１２乃至１４いずれかに記載の搬送治具材料において、 In the conveyance jig material in any one of Claims 12 thru | or 14,
前記シリコーンゴムの硬度が５０〜７０度である搬送治具材料。 The conveyance jig material whose hardness of the said silicone rubber is 50-70 degree | times.

請求項１２乃至１５いずれかに記載の搬送治具材料において、
前記第１シート状粘着性部材および前記第２シート状粘着性部材の前記シリコーンゴムは、互いに異なる硬度を有する搬送治具材料。 In the conveyance jig material in any one of Claims 12 thru | or 15 ,
The silicone rubber of the first sheet-like adhesive member and the second sheet-like adhesive member is a conveying jig material having different hardnesses.

請求項１２乃至１６いずれかに記載の搬送治具材料において、 The conveying jig material according to any one of claims 12 to 16,
前記第１接着面の対ステンレスで測定した粘着力が、０．８Ｎ／１０ｍｍ以上である搬送治具材料。 The conveyance jig material whose adhesive force measured with respect to stainless steel of the said 1st adhesion surface is 0.8 N / 10mm or more.