JP5887151B2

JP5887151B2 - 粘着性表面の異物除去回復方法

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Publication number: JP5887151B2
Application number: JP2012016106A
Authority: JP
Inventors: 浩一木暮
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2012-01-30
Filing date: 2012-01-30
Publication date: 2016-03-16
Anticipated expiration: 2032-01-30
Also published as: JP2013157413A

Description

この発明は、粘着性表面の異物除去回復方法に関し、さらに詳しくは、粘着性表面の表面状態を維持できるにもかかわらず、粘着した異物を効率よく除去できる粘着性表面の異物除去回復方法に関する。

従来、例えば、チップコンデンサ等の小型電子部品等を製造する際等に、この小型電子部品又は小型電子部品を製造可能な小型電子部品用部材等を、その表面に粘着保持可能な弾性粘着部材を備えた保持治具が用いられている。このような保持治具として、例えば、特許文献１に記載の保持治具は「少なくとも表面部が粘着性を有するゴム弾性材で形成され、その粘着力により小型部品をその弾性材表面において密着保持可能であることを特徴とする」（特許文献１の請求項１参照）。また、特許文献２に記載の小型電子部品の保持治具は「剛性を有する板材と、該板材の少なくとも片方の面に設けた表面が平坦な粘着性を有するゴム状弾性体と、該ゴム状弾性体の表面に小型電子部品が緩く嵌合する複数の案内孔を備えた案内シートとを有することを特徴とする」（特許文献２の請求項１等）。

このような保持治具を用いて軸線方向の両端部に電極を有するコンデンサチップ等の小型電子部品等を製造等するには、小型電子部品用部材は弾性粘着部材の粘着性表面に粘着保持された状態で第１の電極形成工程等に供され、この粘着性表面よりも強い粘着力を有する他の弾性粘着部材の粘着性表面に移し替えられた状態で第２の電極形成工程等に供された後に、製造等された小型電子部品等は掻き取りブレード等で強制的に弾性粘着部材から取り外される。

このような小型電子部品の製造等において、電極形成工程における導電ペーストの乾燥すなわち電極の形成が充分でないと、小型電子部品用部材又は小型電子部品等を弾性粘着部材から取り外すとき、又は他の弾性粘着部材に移し替えるときに、電極が破損し、又は電極が小型電子部品用部材から剥離することがある。また、導電ペーストを充分に乾燥しても小型電子部品用部材又は小型電子部品等を弾性粘着部材から取り外すときに小型電子部品用部材若しくは小型電子部品と掻き取りブレード等とが衝突して、又は小型電子部品用部材若しくは小型電子部品同士が衝突して、電極が破損することがある。特に強い粘着力を有する弾性粘着部材の場合には電極が小型電子部品用部材から剥離しやすくなる。このようにして電極が破損又は剥離すると破損又は剥離した電極の破片等が粘着性表面に粘着された状態で残存する。また、小型電子部品の製造等は全工程がクリーンルームで実施されるとは限らないから小型電子部品用部材等の粉塵、大気中の埃等が粘着性表面に付着することもある。

小型電子部品の製造等に用いられる保持治具は、その粘着性表面の汚れを除去すれば粘着力が回復して何回でも繰り返し使用できる（例えば、特許文献１の０００５及び００１０並びに特許文献２の００５５等）。例えば、保持治具は、粘着性表面の汚れを除去できれば、数百回、場合によっては千回以上にわたって繰り返して小型電子部品等の製造に使用できる。

破片、粉塵及び埃等の異物を保持治具の粘着性表面から除去する方法は特許文献１及び特許文献２には記載されていないが、このような除去方法として、例えば、粘着性表面を不織布等で拭う方法、粘着性表面を水等の洗浄液で洗浄する方法、粘着性表面に圧縮空気等を噴射する方法等が考えられる。

ところが、保持治具の粘着性表面はそもそも粘着性を有しているから、これらの異物は粘着性表面に強固に粘着保持されており、粘着性表面から容易に除去できるものではない。それでも異物を粘着性表面から除去しようとすると、粘着性表面が傷つき、粘着性表面の表面状態が損なわれて小型電子部品等を所望の粘着保持状態で粘着保持できず、保持治具を使用できなくなることもある。

特公平０７−０９３２４７号公報特開２００５−００５６５０号公報

この発明は、粘着性表面の表面状態を維持できるにもかかわらず、粘着した異物を効率よく除去できる粘着性表面の異物除去回復方法を提供することを、目的とする。

前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、被粘着物を粘着保持する保持治具の、被粘着物を粘着保持することのできる１〜６０ｇ／ｍｍ ^２の粘着力を有する粘着性表面に付着した異物を除去してその表面状態を回復させる方法であって、スチレンブタジエンゴム粘着剤で作製され、前記粘着性表面の１倍を超え３．５倍以下の粘着力を有する粘着部材と前記粘着性表面のうち少なくとも異物が粘着している表面領域とを貼着する工程と、前記貼着する工程の後に前記粘着部材を前記表面領域から剥離する工程とを有する粘着性表面の異物除去回復方法であり、
請求項２は、前記粘着部材はスチレンブタジエンゴム粘着剤で作製され、前記粘着力を有する粘着剤層が基材の表面に配置された粘着テープ又は粘着シートである請求項１に記載の粘着性表面の異物除去回復方法であり、
請求項３は、前記基材は伸び（ＪＩＳＺ０２３７）が１２０〜２００％である請求項２に記載の粘着性表面の異物除去回復方法である。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法は、スチレンブタジエンゴム粘着剤で作製されていると共に保持治具の粘着性表面の１倍を超え３．５倍以下の粘着力を有する粘着部材と粘着性表面のうち少なくとも異物が粘着している表面領域とを貼着する工程と、この貼着する工程の後に粘着部材を表面領域から剥離する工程とを有しているから、表面領域に与えるダメージが小さいにもかかわらず、表面領域に粘着している異物のほとんどすべてを粘着部材に転写させることができる。したがって、この発明によれば、粘着性表面の表面状態を維持できるにもかかわらず、粘着した異物を効率よく除去できる粘着性表面の異物除去回復方法を提供できる。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法によって異物が除去された粘着性表面は例えば数百、数千回にわたって異物が除去され異物除去回復されても、被粘着物を粘着保持する前の表面状態例えば平坦性を高度に維持しており、粘着力もほとんど低下しないから、数百、数千回にわたって被粘着物を粘着保持及び取り外すことができ、高い使用耐久性を発揮する。

図１は、この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる使用済みの保持治具の一例を示す概略図であり、図１（ａ）はこの発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる使用済みの保持治具の一例を示す概略平面図であり、図１（ｂ）はこの発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる使用済みの保持治具の一例を示す概略正面図である。図２は、この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法の一方法を説明する概略説明図であり、図２（ａ）はこの一方法において粘着テープを弾性粘着部材に粘着する工程を説明する概略説明図であり、図２（ｂ）はこの一方法において粘着テープを弾性粘着部材から剥離する工程を説明する概略説明図である。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる保持治具に粘着保持される被粘着物は、被粘着物を製造可能な被粘着物用部材、例えば、小型器具用部材、小型機械要素用部材及び小型電子部品用部材等が挙げられる。また、被粘着物の製造には被粘着物の搬送工程等も含まれるから、被粘着物は被粘着物そのもの、例えば、小型器具、小型機械要素及び小型電子部品等も含まれる。したがって、この発明においては、被粘着物と被粘着物用部材とは明確に区別される必要はない。これら被粘着物の中でも、この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる保持治具に好適に粘着保持される被粘着物として小型電子部品及び／又は小型電子部品用部材等が挙げられる。小型電子部品及び小型電子部品用部材としては、例えば、コンデンサチップ（チップコンデンサとも称されることがある。）、インダクタチップ、抵抗体チップ、ＦＰＣ、ウエハー等の完成品若しくは未完成品等、及び／又は、これらを製造可能な例えば、角柱体若しくは円柱体、一端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体、両端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体等が挙げられる。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる保持治具について説明する。この保持治具は公知のものを特に制限されることなく使用することができ、例えば、特許文献１の「保持治具」及び特許文献２の「本願発明」等が挙げられ、具体的には、板状又は無端状の治具本体と、治具本体の表面に配置され、被粘着物を粘着保持可能な粘着性表面を有する弾性粘着部材とを備えた保持治具が挙げられる。

このような保持治具の一例として図１に示される保持治具１について説明する。この保持治具１は、治具本体２と、治具本体２の表面に配置され、被粘着物を粘着保持可能な粘着性表面３ａを有する弾性粘着部材３とを備えている。

治具本体２は、平滑な表面を有する盤状体であり、その表面で弾性粘着部材３を支持する。治具本体２は弾性粘着部材３を支持することができる限り種々の設計変更に基づく各種の形態にすることができ、弾性粘着部材３を支持可能な材料で形成されている。このような材料としては、例えば、金属及び樹脂を挙げることができる。

弾性粘着部材３は、被粘着物の一平面に接して多数の被粘着物を粘着により保持することができるように設計され、治具本体２の表面に治具本体２よりも一回り小さな方形を成す盤状体に成形されている。この弾性粘着部材３は、例えば、後述する粘着力を有する粘着性材料又はこの粘着性材料の硬化物で形成されており、表面全体が被粘着物を粘着保持可能な粘着性表面になっている。

弾性粘着部材３の粘着性表面３ａは、被粘着物を粘着保持することのできる粘着力を有しており、例えば、後述する信越ポリマー法による粘着力が１〜６０ｇ／ｍｍ^２のであるがよく、７〜６０ｇ／ｍｍ^２であるのがよい。信越ポリマー法は後述する通りであるが、粘着性表面３ａの粘着力を測定する場合には押込み荷重を２５ｇ／ｍｍ^２にする。この粘着性表面３ａは、被粘着物を粘着保持する領域が通常平坦になっており、粘着保持する被粘着物の寸法等に応じて適宜の表面粗さを有している。粘着性表面３ａは、例えば、十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）が０．５〜３μｍであるのが好ましく、０．５〜２μｍであるのが特に好ましい。この十点平均粗さＲｚは、カットオフ０．８ｍｍ、測定長さ２．４ｍｍ等の条件で測定でき、複数個所の測定値を算術平均した値とすることができる。また、粘着性表面３ａすなわち弾性粘着部材３の硬度（ＪＩＳＫ６２５３［デュロメータＥ］）は５〜６０程度であるのが好ましい。

弾性粘着部材３は、接着剤層若しくはプライマー層によって、弾性粘着部材３の粘着力によって、又は、固定具等によって、治具本体２の表面に固定されていればよく、保持治具１において、弾性粘着部材３は接着剤層若しくはプライマー層を介して治具本体２の表面に固定されている。

弾性粘着部材３は、前記粘着力を発揮することのできる粘着性材料又はこの粘着性材料の硬化物で形成されていればよく、粘着材料として、例えば、フッ素系樹脂又はフッ素系ゴム、フッ素系樹脂又はフッ素系ゴムを含有するフッ素系組成物、シリコーン樹脂又はシリコーンゴム、シリコーン樹脂又はシリコーンゴムを含有するシリコーン組成物、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマー等が挙げられる。この中でも、シリコーンゴム、及び／又は、シリコーンゴムを含有する付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物及び過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物が好ましい。前記付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物としては、例えば、特開２００８−０９１６５９号公報に記載の、シリコーン生ゴム（ａ）と架橋成分（ｂ）と粘着力向上剤（ｃ）と触媒（ｄ）とシリカ系充填材（ｅ）とを含有する粘着性組成物を挙げることができる。前記過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物としては、例えば、特開２００８−０９１６５９号公報に記載の、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）とシリカ系充填材（ｅ）と有機過酸化物（ｆ）とを含有する粘着性組成物を挙げることができる。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる保持治具は、粘着性表面に被粘着物の破片、粉塵、大気中の埃等の異物が粘着した保持治具、具体的には、被粘着物の製造等に使用され、粘着性表面に被粘着物の破片、粉塵等が粘着した保持治具、大気中で使用、保存又は放置等され、粘着性表面に大気中の埃等が粘着した保持治具等が挙げられる。この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる保持治具の一例である保持治具１の粘着性表面３ａに異物５が粘着した状態が図１に示されている。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる保持治具は、前記した通りであり、その粘着性表面に異物が付着している。このような異物は、被粘着物を製造することによって、又は大気中で保存又は放置等することによって、保持治具の粘着性表面に付着する。この保持治具は、被粘着物の製造に１回用いた保持治具であってもよいし、被粘着物の製造に複数回用いた、比較的多数の異物５が粘着している保持治具であってもよい。図１には、軸線方向の両端部に電極を有するコンデンサチップの製造に１回用いた、粘着性表面３ａに異物５が付着した保持治具１を理解しやすくするため誇張した状態が示されている。

一般に、粘着性を持つ粘着部材は、これまで、粘着部材に含有されている粘着成分が粘着性表面に移行又は付着してしまうと考えられ、粘着性表面に粘着している異物を除去するのに用いようとさえされてこなかった。ところが、この発明の発明者は、このような考え及び慣行に反してあえて粘着部材を採用してみたところ、粘着部材を形成する成分としてこれまで格別注目されていなかったスチレンブタジエンゴムを採用することによってスチレンブタジエンゴム中の粘着成分が粘着性表面に移行しにくいことに加えて、このような粘着部材で異物を効果的に粘着性表面から除去できることを見出した。この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法に用いられる粘着部材は、粘着性表面３ａの１倍を超え３．５倍以下の粘着力（下記信越ポリマー法による）を有している。粘着部材の粘着力が粘着性表面３ａの１倍未満であると粘着性表面３ａに粘着しているほとんどすべての異物５を粘着性表面３ａから脱離させて粘着部材に転写させることができないことがあり、一方、粘着部材の粘着力が粘着性表面３ａの３．５倍を超えると粘着性表面３ａに粘着しているほとんどすべての異物５を粘着性表面３ａから脱離させることができるものの、粘着性表面３ａ、特に表面状態に大きなダメージを与えてしまい、粘着性表面３ａが所期の表面状態を維持できないことがある。粘着性表面３ａに与えるダメージが小さく、ほとんどすべての異物５を粘着性表面３ａから脱離させることができる点で、粘着部材は粘着性表面３ａの１．５倍以上３．５倍以下の粘着力を有しているのが好ましく、２倍以上３．５倍以下の粘着力を有しているのが特に好ましい。具体的には、信越ポリマー法による粘着力は粘着性表面３ａとの比が前記範囲内であって８７〜１０９ｇ／ｍｍ^２の範囲内にあるのが好ましい。

この粘着部材の粘着力は下記粘着力測定方法（信越ポリマー法とも称する。）における粘着力である。具体的には、粘着部材を水平に固定する吸着固定装置（例えば、商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック（株）製）又は真空吸引チャックプレート等と、測定部先端に、直径１０ｍｍの円柱を成したステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を取り付けたデジタルフォースゲージ（商品名：ＺＰ−５０Ｎ、（株）イマダ製）とを備えた荷重測定装置を用意し、この荷重測定装置における吸着固定装置又は真空吸引チャックプレート上に粘着部材を固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次いで、２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で粘着部材の被測定部位に接触するまで前記荷重測定装置に取り付けられた前記接触子を下降速度１０ｍｍ／ｍｉｎで下降させ、次いで、この接触子を被測定部位に所定の押込み荷重で被測定部に対して垂直に３秒間押圧する。ここで、前記所定の押込み荷重を２５ｇ／ｍｍ^２に設定する。次いで、８０ｍｍ／ｍｉｎの上昇速度で前記接触子を被測定部位から引き離し、このときに前記デジタルフォースゲージにより測定される引き離し荷重を読み取る。この操作を、被測定部位の複数箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均し、得られる算術平均値を粘着部材の粘着力とする。

粘着部材は、ある程度の厚さを有していればよく、例えば、粘着部材が後述する粘着テープ及び粘着シートである場合には総厚が４０〜８０μｍであるのが好ましい。

このような粘着力を有する粘着部材は、例えば、保持治具の弾性粘着部材と基本的に同様の弾性粘着部材、粘着テープ、粘着シート等が挙げられ、取扱性の観点からは粘着テープ、粘着シートが好ましく、保持治具を転用してコスト低減及び省資源化の観点からは弾性粘着部材が好ましい。

粘着部材は、粘着性表面３ａ、特にその中の、異物が粘着している表面領域に貼着される部分がスチレンブタジエンゴム粘着剤で作製されており、その全体がスチレンブタジエンゴム粘着剤で作製されていてもよい。このスチレンブタジエンゴム粘着剤としては、具体的には、スチレン及びブタジエンを構成モノマーとする共重合体であって、これらの他に反応性エチレン結合を有するモノマー、例えばイソプレン、エチレン等を構成モノマーとして含有していてもよい。

スチレンブタジエンゴムの特性又は物性としては、ＪＩＳＺ０２３７測定法による粘着力が３．３〜５．６Ｎ／ｃｍであるのが好ましい。スチレンブタジエンゴムの粘着力は弾性部材の粘着力と基本的に同様であり、具体的には、前記信越ポリマー法による粘着力が８７〜１０９ｇ／ｍｍ^２であるのが好ましい。このようなスチレンブタジエンゴム粘着剤はその構成モノマーを含む構成成分が粘着性表面３ａに移行又は付着しにくく粘着性表面３ａを実質的に汚染することがない。

この弾性部材は、伸び（ＪＩＳＺ０２３７）が小さいのが好ましく、具体的には、１４０〜２００％であるのが好ましく、１６０〜２００％であるのが好ましい。弾性部材の伸び（ＪＩＳＺ０２３７）が小さく、特に前記範囲内にあると粘着性表面３ａに貼着した弾性部材を剥離するときに弾性部材が伸びにくく粘着性表面３ａに与えるダメージを小さくして粘着性表面３ａの表面状態を維持できる。弾性部材の伸びはＪＩＳＺ０２３７に基づいて測定することもでき、またカタログ値を採用することもできる。

この弾性部材は、透明又は半透明であると異物５が粘着性表面３ａから自身の表面に転写したことを容易に確認できる。この発明において、「透明」及び「半透明」を明確に区別する必要はなく、弾性部材は弾性部材の表面に転写された異物５を弾性部材の裏面から確認できる程度の透明性を有していればよい。

粘着部材としての粘着テープ及び粘着シートは、基材と、基材の表面に配置された粘着剤層とを有しているのが好ましい。基材は粘着剤層を保持できればよく、例えば、樹脂製の長尺体又はフィルム等が挙げられる。このような樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン等が挙げられる。この基材は、例えば、厚さが２０〜１００μｍであるのが好ましく、伸び（ＪＩＳＺ０２３７）は１２０〜２００％であるのが好ましく、１６０〜２００％であるのが特に好ましい。基材が１２０〜２００％の伸びを有していると、粘着性表面３ａに貼着した粘着テープ又は粘着シートを剥離するときに粘着テープ又は粘着シートが伸びにくく粘着性表面３ａに与えるダメージを小さくして粘着性表面３ａの表面状態を維持できる。この基材は透明又は半透明であるのが好ましい。粘着剤層は、前記したスチレンブタジエンゴム粘着剤で作製され、前記の粘着力を有している。すなわち、粘着テープ又は粘着シートは基材を有する粘着部材とも称することができる。この粘着材層は、基材の表面全体に配置されてもよく、その一部に配置されてもよい。この粘着剤層は１０〜３０μｍの厚さと前記１４０〜２００％の伸び（ＪＩＳＺ０２３７）を有し、透明又は半透明であるのが好ましい。

このような粘着テープとして、例えば、住友スリーエム株式会社製の「スコッチプロボックスシーリングテープ」（基材：ポリプロピレン製、粘着剤：スチレンブタジエンゴム）等が挙げられる。「スコッチプロボックスシーリングテープ」としては、具体的には、商品名「スコッチプロ＃３６９ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力８７ｇ／ｍｍ^２、ＪＩＳＺ０２３７の接着力３．３Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１４０％、基材の厚さ２５μｍ、総厚４０μｍ）、商品名「スコッチプロ＃３７０ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力９４ｇ／ｍｍ^２、ＪＩＳＺ０２３７の接着力３．８Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１４０％、基材の厚さ３０μｍ、総厚４８μｍ）、商品名「スコッチプロ＃３７２ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力１０２ｇ／ｍｍ^２、ＪＩＳＺ０２３７の接着力４．７Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１７０％、基材の厚さ４０μｍ、総厚６２μｍ）、商品名「スコッチプロ＃３７５ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力１０９ｇ／ｍｍ^２、ＪＩＳＺ０２３７の接着力５．６Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１９０％、基材の厚さ５０μｍ、総厚７７μｍ）等が挙げられる。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法の一例（以下、一方法と称する。）を、図面を参照して、説明する。この一方法においては、粘着性表面３ａに異物５が粘着した保持治具１、粘着部材としての粘着テープ１０、粘着テープ１０を粘着性表面３ａに密着させるローラ１１をそれぞれ準備する。

準備する保持治具１及び粘着テープ１０は前記した通りである。ローラ１１は、図２（ａ）に示されるように、ゴム等で形成された円筒状をなし、その中心軸に回転可能に連結された握部を有している。このローラ１１は弾性粘着部材３を損傷させない程度の硬度及び／又は弾性を有しているのが好ましく、その軸線長さは特に限定されないが作業性を考慮すると弾性粘着部材３の一辺の長さと同一又はそれよりも長いのが好ましい。このローラ１１は、具体的には、スチレンブタジエンゴムで弾性粘着部材３の一辺の長さよりも長い円筒状に形成されている。

この一方法においては、準備した保持治具１の粘着性表面３ａに異物５が過度に付着している場合には、容易に除去できる異物５を予め除去する前処理工程を実施するのが好ましい。例えば、前処理工程として、後述する貼着する工程の前に粘着性表面３ａで拭う工程が挙げられる。拭う工程は、粘着性表面３ａを不織布等で拭くことができればよく、乾式であっても湿式であってもよい。湿式ではある場合には、例えば、洗浄液を不織布等に含浸させて粘着性表面３ａを拭く方法、粘着性表面３ａに洗浄液を噴射又は供給しつつ不織布等で拭く方法等が挙げられる。洗浄液は、弾性粘着部材３を損傷させない液体であればよく、例えば、水、アルコール、アルコール水等が挙げられる。

この一方法においては、保持治具１の粘着性表面３ａに準備した粘着テープ１０を載置して粘着性表面３ａ及び粘着テープ１０の粘着剤層を密着させる。このとき、粘着テープ１０は、粘着性表面３ａのうち少なくとも異物５が粘着した表面領域に密着されればよく、図２に示されるように、粘着性表面３ａの全面に粘着テープ１０を密着させてもよい。このようにして粘着テープ１０と粘着性表面３ａとを貼着する工程が終了する。

この一方法においては、所望により粘着性表面３ａに載置された粘着テープ１０を弾性粘着部材３に押圧して粘着性表面３ａと粘着剤層とを圧接又は圧着させる工程を実施するのが好ましい。これにより粘着性表面３ａに粘着している異物５のほとんどすべてを粘着テープ１０の粘着剤層に移行させることができる。この工程は、例えば、図２（ａ）に示されるように、粘着性表面３ａと粘着テープ１０との積層体を粘着テープ１０の基材上を図２（ａ）の矢印Ａ方向及び／又はその逆方向に沿って準備したローラ１１を転動させることで、実施される。このとき、ローラ１１は基材をある程度の圧力で弾性粘着部材３に対して押圧するように転動するのが好ましく、押圧力として例えば２．０ｋｇ／ｃｍ^２にすることができる。

この一方法においては、次いで、粘着性表面３ａに密着している粘着テープ１０を粘着性表面３ａから剥離する工程を実施する。この剥離する工程は、例えば、図２（ｂ）に示されるように、粘着テープ１０の一端縁を把持して図２（ｂ）に示される矢印Ｂの方向に沿って斜め上方に捲り上げることによって、弾性粘着部材３の一端縁から他端縁に向かって、この例においては図２（ａ）の矢印Ａを逆方向に粘着テープ１０を剥離する。そうすると、粘着テープ１０の粘着剤層は前記範囲の粘着力を有しているから、好ましくは粘着テープ１０が粘着性表面３ａに圧接又は圧着しているから、粘着性表面３ａに粘着していた異物５は粘着性表面３ａから粘着テープ１０の粘着剤層に転写され、粘着性表面３ａから剥離される粘着テープ１０の粘着剤層と共に粘着性表面３ａから除去される。したがって、この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法は粘着性表面の異物除去方法又は異物除脱方法とも称することができる。なお、この剥離する工程において粘着テープ１０を博する剥離速度は、特に限定されず、例えば４０〜１００ｍｍ／ｍｉｎとすることができる。

また、粘着テープ１０の粘着剤層はしたスチレンブタジエンゴム粘着剤で作製されているから、スチレンブタジエンゴム粘着剤中に含まれる粘着成分が粘着性表面３ａにほとんど移行せず、粘着性表面３ａを、異物５が付着する以前の未汚染状態、例えば製造後の未汚染状態に回復させることができる。

この一方法においては、粘着テープ１０の粘着剤層は前記したスチレンブタジエンゴム粘着剤で作製されることに加えて前記範囲の粘着力を有しているから、例えば被粘着物を一方の保持治具から移し替えられる他方の保持治具のように、粘着性表面３ａが比較的強い粘着力を有していても、粘着性表面３ａに大きな損傷又はダメージを与えることがなく、前記貼着する工程及び前記剥離する工程を実施する前の粘着性表面３ａの表面状態を保持できる。特に、前記した粘着テープを用いると粘着性表面３ａの表面状態を高度に保持できる。このように、一方法の実施前後における粘着性表面３ａの表面状態を保持できると、一方法の実施前後において粘着性表面３ａの表面粗さ及び粘着力がほとんど変化することがなく、粘着性表面３ａを異物除去回復、原状回復させることができる。したがって、この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法は粘着性表面の原状回復方法とも称することができる。

また、このように、一方法の実施前後において粘着性表面３ａの表面粗さ及び粘着力がほとんど変化することがないから、一方法で異物除去回復された粘着性表面３を有する保持治具１は被粘着物を実質的に同様の保持状態に再度粘着保持させることができる。したがって、異物５が除去された粘着性表面３ａは、数百、数千回にわたって被粘着物を粘着保持及び取り外すことができ、この粘着性表面３ａを有する保持治具１は高い使用耐久性を発揮する。

一方法の実施後における粘着性表面３ａの表面状態は、一方法の実施前における粘着性表面３ａの前記平坦性すなわち前記十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）を保持しており、その変化量及び変化率は極めて小さい。例えば、この発明において、表面状態の変化量は、被粘着物の寸法等によって一概には言えないが、通常、±３μｍ程度であればよく、特に縦０．３ｍｍ×横０．３ｍｍ×高さ０．６ｍｍの被粘着物を起立状態で粘着保持するのに使用する保持治具であれば±２μｍ程度であるのが好ましい。また、この発明において、表面状態の変化率は、この発明に係る異物除去回復方法を５００回実施したときに、この発明に係る異物除去回復方法を５００回実施する前の初期十点平均粗さＲｚとこの発明に係る異物除去回復方法を５００回実施した後の実施後十点平均粗さＲｚとの差（初期十点平均粗さＲｚ−実施後十点平均粗さＲｚ）が初期十点平均粗さＲｚに対して±１５０％以内であるのが好ましい。

なお、この発明において、この発明に係る異物除去回復方法を実施する前の十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）は異物５が粘着する前すなわち保持治具１に被粘着物を粘着保持させる前の粘着性表面３ａにおける十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）であり、異物５が粘着した後の粘着性表面３ａにおける十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）ではない。

一方法の実施後における粘着性表面３ａの粘着力は、一方法の実施前における粘着性表面３ａの粘着力を保持しており、その変化量及び変化率は極めて小さい。例えば、この発明において、粘着力の変化量は、被粘着物の寸法等によって一概には言えないが、通常、±３ｇ／ｍｍ^２程度であればよい。また、この発明において、粘着力の変化率は、この発明に係る異物除去回復方法を５００回実施したときに、この発明に係る異物除去回復方法を５００回実施する前の初期粘着力とこの発明に係る異物除去回復方法を５００回実施した後の実施後粘着力との差（初期粘着力−実施後粘着力）が初期粘着力に対して±１０％以内であるのが好ましい。

なお、この発明において、この発明に係る異物除去回復方法を実施する前の粘着力は異物５が粘着する前すなわち保持治具１に被粘着物を粘着保持させる前の粘着性表面３ａにおける粘着力であり、異物５が粘着した後の粘着性表面３ａにおける粘着力ではない。

このように、一方法によれば、粘着性表面３ａ、具体的には異物５が粘着している表面領域に与えるダメージが小さいにもかかわらず、表面領域に粘着している異物５のほとんどすべてを粘着テープ１０の粘着剤層に転写させることができる。

この発明に係る粘着性表面の異物除去回復方法は、前記した一方法に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。

前記一方法においては、所望により前処理工程として拭う工程を実施するが、この発明において、前処理工程は、拭う工程に代えて又は加えて、粘着性表面を洗浄液で洗浄する工程及び／又は粘着性表面に圧縮空気等を噴射する工程等を実施することもできる。

前記一方法においてはローラ１１を転動させる圧接又は圧着させる工程を所望により実施するが、この発明において、圧接又は圧着させる工程は、ローラ以外にも平坦な板状部材等で基材を弾性粘着部材に対して押圧してもよい。

前記一方法において、剥離する工程は粘着テープ１０を矢印Ｂの方向に沿って捲り上げて実施しているが、この発明において、粘着テープを図２（ａ）に示される矢印Ａと逆方向に粘着性表面３ａに沿って、すなわち所謂「１８０°剥離試験」と同様にして剥離する工程を実施することもできる。

また前記一方法において、剥離する工程は弾性粘着部材３の一端縁から他端縁に向かって粘着テープ１０を剥離しているが、この発明において、粘着テープを剥離する方法は特に限定されず、例えば、弾性粘着部材の対角線に沿って粘着テープを剥離してもよい。

前記一方法において、前記貼着する工程と前記剥離する工程とはそれぞれ１回ずつ実施されてもよく、異物５が過度に粘着性表面３ａに粘着している場合、前記前処理工程を実施しない場合等には、前記貼着する工程と前記剥離する工程とをそれぞれ複数回実施することもできる。

（保持治具の準備）
次のようにして保持治具１を製造した。すなわち、ステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４製、厚さ０．５ｍｍ）から一辺の長さが１２０ｍｍである正方形の盤状体を切り出した。この盤状体における一方の表面をアセトンで脱脂処理した後、シリコーンゴム接着用プライマー（商品名「Ｘ−３３−１５６−２０」、信越化学工業株式会社製）を適量塗布して、２３℃の環境中で乾燥し、プライマー層（厚さ３μｍ）を形成した。このようにして治具本体２を作製した。次いで、作製した治具本体２を金型に収納して、下記組成を有する付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物を金型と治具本体２とで形成されたキャビティ（一辺の長さが１１０ｍｍ、厚さ０．８ｍｍ）に注入し、１２０℃、１０ＭＰａの条件下、トランスファー成形し、次いで、２００℃、４時間の条件下、さらに硬化させて、治具本体２の表面に弾性粘着部材３を形成して保持治具１を製造した。
＜付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物の組成＞
・シリコーンゴム（商品名「Ｘ−３４−６３２Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）９９質量％及びシリカ系充填材（株式会社龍森製、商品名「クリスタライト」）１質量％を含有する粘着性シリコーン組成物６０質量部
・粘着力調整組成物として液状シリコーンゴム組成物（商品名「ＫＥ−１９５０／４０Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）４０質量部

この保持治具１（未使用）における粘着性表面３ａの十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）を前記のようにして、非接触式表面粗さ計（商品名「カラー３Ｄレーザー顕微鏡」、型番「ＶＫ−８７１０」、株式会社キーエンス製）を用いて、測定したところほぼ０．８μｍ（測定誤差を含めた実測値は０．７〜１．２μｍ）であり、粘着力を前記のようにして測定したところほぼ３６ｇ／ｍｍ^２（測定誤差を含めた実測値は３３〜３７ｇ／ｍｍ^２）であった。

次いで、この保持治具１の粘着性表面３ａに被粘着物として縦０．３ｍｍ×横０．３ｍｍ×高さ０．６ｍｍのチップコンデンサ２０，０００個を高さ方向に起立状態となるように縦横方向に等間隔で粘着保持させ、次いで掻き取りブレードを粘着性表面３ａ上で摺動させて粘着性表面３ａからチップコンデンサを強制的に取り外した。このようなチップコンデンサの粘着保持及び脱離を３００回繰り返して実施した。このようにして粘着性表面３ａに異物５が粘着保持された保持治具１（３００）を準備した。この保持治具１（３００）における表面領域の十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）を前記のようにして前記非接触式表面粗さ計を用いて測定したところ、測定誤差を含めた実測値は１．３〜５．６μｍであった。

また、保持治具１（３００）と同様にして被粘着物の粘着保持及び脱離を１０００回繰り返し実施した保持治具１（１０００）を準備した。この保持治具１（１０００）における表面領域の十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）を前記のようにして前記非接触式表面粗さ計を用いて測定したところ、測定誤差を含めた実測値は１．７〜５．４μｍであった。

（実施例１）
保持治具１（３００）の粘着性表面３ａに、図２（ａ）に示されるように、粘着テープ１０を載置して粘着性表面３ａ及び粘着剤層を密着させた。粘着テープ１０は、商品名「スコッチプロ＃３７５ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力１０９ｇ／ｍｍ^２、保持治具１の粘着性表面３ａの粘着力（３６ｇ／ｍｍ^２）に対して３．０３倍、ＪＩＳＺ０２３７の接着力５．６Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１９０％、基材の厚さ５０μｍ、総厚７７μｍ）を用いた。次いで、図２（ａ）に示されるように、スチレンブタジエンゴムで作製され、弾性粘着部材３の一辺の長さよりも長い円筒状のローラ１１を粘着テープ１０の基材上に配置して２．０ｋｇ／ｃｍ^２の押圧力で基材を弾性粘着部材３に向けて押圧しつつ、基材上を図２（ａ）の矢印Ａ方向に沿って一方向に１回転動させた。次いで、図２（ｂ）に示されるように、粘着テープ１０の一端縁を把持して図２（ｂ）に示される矢印Ｂの方向に沿って斜め上方に粘着テープ１０を捲り上げて、弾性粘着部材３の一端縁から他端縁に向かって粘着テープ１０を剥離した。このときの剥離速度は６０ｍｍ／ｍｉｎであった。このようにして保持治具１（３００）の粘着性表面３ａの異物除去回復をした。

（実施例２〜４）
粘着テープ１０として、商品名「スコッチプロ＃３７５ＨＱ」に代えて、商品名「スコッチプロ＃３７２ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力１０２ｇ／ｍｍ^２、保持治具１の粘着性表面３ａの粘着力（３７ｇ／ｍｍ^２）に対して２．７６倍、ＪＩＳＺ０２３７の接着力４．７Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１７０％、基材の厚さ４０μｍ、総厚６２μｍ）、商品名「スコッチプロ＃３７０ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力９４ｇ／ｍｍ^２、保持治具１の粘着性表面３ａの粘着力（３６ｇ／ｍｍ^２）に対して２．６１倍、ＪＩＳＺ０２３７の接着力３．８Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１４０％、基材の厚さ３０μｍ、総厚４８μｍ）、又は、商品名「スコッチプロ＃３６９ＨＱ」（信越ポリマー法による粘着力８７ｇ／ｍｍ^２、保持治具１の粘着性表面３ａの粘着力（３７ｇ／ｍｍ^２）に対して２．３５倍、ＪＩＳＺ０２３７の接着力３．３Ｎ／ｃｍ、ＪＩＳＺ０２３７の伸び１４０％、基材の厚さ２５μｍ、総厚４０μｍ）を用いたこと以外は実施例１と基本的に同様にして保持治具１（３００）の粘着性表面３ａの異物除去回復をした。

（実施例５〜８）
保持治具１（３００）に代えて保持治具１（１０００）を用いたこと以外は実施例１〜４それぞれと基本的に同様にして保持治具１（１０００）の粘着性表面３ａの異物除去回復をした。

（比較例１）
粘着テープ１０として、商品名「スコッチプロ＃３７５ＨＱ」に代えて、信越ポリマー法による粘着力が粘着性表面３ａと同等（３６ｇ／ｍｍ^２）の粘着剤層を有する粘着テープを用いたこと以外は実施例１と基本的に同様にして保持治具１（３００）の粘着性表面３ａの異物除去回復をした。

（比較例２）
粘着テープ１０として、商品名「スコッチプロ＃３７５ＨＱ」に代えて、信越ポリマー法による粘着力が粘着性表面３ａ（３３ｇ／ｍｍ^２）の３．７倍（１２２ｇ／ｍｍ^２）の粘着剤層を有する粘着テープを用いたこと以外は実施例１と基本的に同様にして保持治具１（３００）の粘着性表面３ａの異物除去回復をした。

（比較例３）
前記保持治具１（３００）の粘着性表面３ａ上に純粋を供給しつつ不織布で拭って保持治具１（３００）の粘着性表面３ａを洗浄した。比較例３においては、粘着テープによる粘着性表面３ａの異物除去回復方法を実施していない。

（異物の除去効果）
実施例１〜８及び比較例１〜３で粘着性表面３ａを異物除去回復した保持治具１（３００）及び保持治具１（１０００）の粘着性表面３ａをマイクロスコープ（キーエンス製ＨＶ−５００）で確認したところ、実施例１〜８及び比較例２はすべて粘着性表面３ａに異物５が残存していなかったのに対して、比較例１は粘着性表面３ａに異物５が残存しており、比較例３は粘着性表面３ａに多数の異物５が残存していた。

（平坦性評価）
粘着性表面３ａの平坦性を評価するために、製造した保持治具１（未使用）の粘着性表面３ａに対して実施例１〜８及び比較例１〜３における異物除去回復方法又は洗浄方法を繰り返し５００回行った。その後、粘着性表面３ａを前記方法に準拠して前記非接触式表面粗さ計を用いて十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）を測定した。測定された十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）を、保持治具１（未使用）時の十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）、保持治具１（３００）の十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）及び保持治具１（１０００）の十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）と共に第１表に示す。また、十点平均粗さＲｚ（ＪＩＳＢ０６０１−１９９４）の変化量及び変化率を算出した結果を第１表に示す。なお、５００回の試験後に変化量が±２．０μｍで変化率が±１５０％以内の変化であれば実用上問題がないことが分かっている。

（粘着力評価）
粘着性表面３ａの粘着力を評価するために、製造した保持治具１（未使用）の粘着性表面３ａに対して実施例１〜８及び比較例１〜３における異物除去回復方法又は洗浄方法を繰り返し５００回行った。その後、粘着性表面３ａの粘着力を前記方法に準拠して測定した。測定された粘着力を、保持治具１（未使用）時の粘着力と共に第１表に示す。また、粘着力の変化量及び変化率を算出した結果を第２表に示す。なお、５００回の試験後に変化量が±３ｇ／ｍｍ^２で変化率が±１０％程度での変化であれば実用上問題がないことが分かっている。

（成分移行試験）
実施例１〜８において異物除去回復した粘着性表面３ａをＡＴＲ法でＩＲ分析したところ、実施例１〜８はいずれも粘着性表面３ａに粘着テープ１０の粘着成分が検出されず、粘着性表面への移行は確認できなかった。

１保持治具
２治具本体
３弾性粘着部材
３ａ粘着性表面
５異物
１０粘着テープ
１１ローラ

Claims

被粘着物を粘着保持する保持治具の、被粘着物を粘着保持することのできる１〜６０ｇ／ｍｍ ^２の粘着力を有する粘着性表面に付着した異物を除去してその表面状態を回復させる方法であって、
スチレンブタジエンゴム粘着剤で作製され、前記粘着性表面の１倍を超え３．５倍以下の粘着力を有する粘着部材と前記粘着性表面のうち少なくとも異物が粘着している表面領域とを貼着する工程と、
前記貼着する工程の後に前記粘着部材を前記表面領域から剥離する工程とを有する粘着性表面の異物除去回復方法。
前記粘着部材は、スチレンブタジエンゴム粘着剤で作製され、前記粘着力を有する粘着剤層が基材の表面に配置された粘着テープ又は粘着シートである請求項１に記載の粘着性表面の異物除去回復方法。
前記基材は、伸び（ＪＩＳＺ０２３７）が１２０〜２００％である請求項２に記載の粘着性表面の異物除去回復方法。