JP5886550B2 - 電子線照射装置及び電子線透過ユニット - Google Patents
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- 電子線を発生する電子銃と、
前記電子銃が発生した前記電子線を通過させる電子線通過孔が設けられた筐体と、
前記電子線通過孔の出射側開口部に配置された電子線透過ユニットと、を備え、
前記電子線透過ユニットは、
前記出射側開口部に取り付けられた窓枠体と、
前記窓枠体の内側に配置されたメッシュ部を有する支持部材と、
前記メッシュ部上に支持され、前記電子線通過孔を通過した前記電子線を透過させる窓部材と、
前記メッシュ部と前記窓部材との間に配置された介在層と、を有し、
前記窓部材は、炭素を含む材料からなり、前記メッシュ部は、鉄を含む材料からなり、
前記介在層は、鉄を含まない金属材料からなる、電子線照射装置。 - 前記介在層の熱伝導率は、前記メッシュ部の熱伝導率よりも高くなっている、請求項1記載の電子線照射装置。
- 前記介在層の電気伝導率は、前記メッシュ部の電気伝導率よりも高くなっている、請求項1又は2記載の電子線照射装置。
- 前記介在層は、前記メッシュ部に形成されている、請求項1〜3のいずれか一項記載の電子線照射装置。
- 前記介在層は、前記窓部材に形成されている、請求項1〜3のいずれか一項記載の電子線照射装置。
- 前記介在層は、前記メッシュ部及び前記窓部材と別体の膜である、請求項1〜3のいずれか一項記載の電子線照射装置。
- 前記窓枠体は、前記電子線通過孔の前記出射側開口部に固定された枠状の固定部材と、前記固定部材に対して少なくとも前記窓部材を押圧した状態で前記固定部材に固定された枠状の押圧部材と、を有し、
前記支持部材は、内側に前記メッシュ部が張られた平板状の枠部を更に有し、
前記固定部材及び前記押圧部材は、前記枠部において少なくとも前記窓部材を挟持している、請求項1〜6のいずれか一項記載の電子線照射装置。 - 電子線を発生する電子銃と、前記電子銃が発生した前記電子線を通過させる電子線通過孔が設けられた筐体と、を具備する電子線照射装置において、前記電子線通過孔の出射側開口部に配置されて、前記電子線通過孔を通過した前記電子線を透過させるための電子線透過ユニットであって、
前記出射側開口部に取り付けられるための窓枠体と、
前記窓枠体の内側に配置されたメッシュ部を有する支持部材と、
前記メッシュ部上に支持された窓部材と、
前記メッシュ部と前記窓部材との間に配置された介在層と、を備え、
前記窓部材は、炭素を含む材料からなり、前記メッシュ部は、鉄を含む材料からなり、
前記介在層は、鉄を含まない金属材料からなる、電子線透過ユニット。
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