JP4234546B2 - 真空密閉容器及びその製造方法 - Google Patents
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Description
まず、この発明に係る真空密閉容器の第1実施形態では、熱可塑性封止材としてロウ材を利用した気密封止について説明する。図1は、この第1実施形態に係る真空密閉容器100の構成を示す組立工程図である。
次に、この発明に係る真空密閉容器の第2実施形態では、熱可塑性封止材として熱可塑性接着剤を利用した気密封止について説明する。図4は、この第2実施形態に係る真空密閉容器200の構成を示す組立工程図である。
101、201、301…容器本体
140、240…薄膜窓部材(シリコン薄膜、ベリリウム薄膜)
150、250…熱可塑性封止材(ロウ材、熱可塑性接着剤)
160、260…金属板。
Claims (10)
- 所定サイズの窓部を規定するための開口を有する筐体と、
前記筐体の開口を覆った状態で該筐体表面に直接接触するよう貼り付けられた薄膜窓部材と、
前記筐体の開口位置に相当する前記薄膜窓部材の一部を露出した状態で、該薄膜窓部材の外周部分及び該筐体の表面に直接接触している熱可塑性封止材と、
前記筐体の開口位置に相当する前記薄膜窓部材の一部を露出する開口を有し、かつ、前記熱可塑性封止材上に配置された金属板とを備えた真空密閉容器。 - 前記筐体の表面には、前記薄膜窓部材に覆われる開口の周辺に段差部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の真空密閉容器。
- 前記筐体の開口エッジは、面取りされていることを特徴とする請求項1記載の真空密閉容器。
- 前記筐体に設けられた開口は、前記窓部を複数の区画に分割するようメッシュ構造を有することを特徴とする請求項1記載の真空密閉容器。
- 前記筐体に設けられた開口は、それぞれが前記窓部に相当する複数の貫通孔であることを特徴とする請求項1記載の真空密閉容器。
- 所定サイズの窓部を規定するための開口を有する筐体を用意し、
前記筐体の開口を覆った状態で該筐体表面に直接接触するよう薄膜窓部材を配置し、
前記筐体の開口位置に相当する前記薄膜窓部材の一部を露出させるとともに該筐体の表面の一部を覆った状態で、該薄膜窓部材の外周部上に熱可塑性封止材を配置し、
前記筐体の開口位置に相当する前記薄膜窓部材の一部を露出する開口を有する金属板を、前記熱可塑性封止材上に配置し、
前記熱可塑性封止材を加熱しながら前記金属板を前記筐体に押しつけることにより、前記筐体の開口を前記薄膜窓部材で気密封止する真空密閉容器の製造方法。 - 前記筐体の表面には、前記薄膜窓部材に覆われた開口周辺に段差部が設けられていることを特徴とする請求項6記載の真空密閉容器の製造方法。
- 前記筐体の開口エッジを、面取りすることを特徴とする請求項6記載の真空密閉容器の製造方法。
- 前記筐体に設けられた開口は、前記窓部を複数の区画に分割するようメッシュ構造を有することを特徴とする請求項6記載の真空密閉容器の製造方法。
- 前記筐体に設けられた開口は、それぞれが前記窓部に相当する複数の貫通孔であることを特徴とする請求項6記載の真空密閉容器の製造方法。
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