JP5197145B2 - プローブ位置修正方法及びプローバ - Google Patents
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Description
5 テスタ
11 プローブ
12 プローブカード
13 ウエハアライメントカメラ
21 ウエハチャック
22 ステージ
23 プローブ位置カメラ
31 画像処理/演算処理部
32 移動制御部
33 移動量演算部
34 表示装置
Claims (4)
- プローバの制御部を構成するコンピュータにより実行され、複数の電極パッドの形成されたウエハをプローブカードの複数のプローブに対してX,Y,Zの3軸方向に相対的に移動して、前記複数の電極パッドと前記複数のプローブを接触させる場合の、前記複数の電極パッドと前記複数のプローブの接触位置を修正するプローブ位置修正方法であって、
前記複数の電極パッドと前記複数のプローブを接触させ、
前記複数の電極パッド上の前記複数のプローブが接触したプローブ跡の画像を処理して、前記プローブ跡を検出し、
±X方向と±Y方向の4方向について、前記プローブ跡の前記複数の電極パッドの枠に対する余裕距離を算出し、
前記4方向のそれぞれについての最小余裕距離を算出し、
前記X方向の2つの前記最小余裕距離および前記Y方向の2つの前記最小余裕距離がそれぞれ等しくなるように、前記複数の電極パッドと前記複数のプローブの接触位置を修正することを特徴とするプローブ位置修正方法。 - プローバの制御部を構成するコンピュータにより実行され、複数の電極パッドの形成されたウエハをプローブカードの複数のプローブに対してX,Y,Zの3軸方向に相対的に移動して、前記複数の電極パッドと前記複数のプローブを接触させる場合の、前記複数の電極パッドと前記複数のプローブの接触位置を修正するプローブ位置修正方法であって、
前記複数の電極パッドと前記複数のプローブを接触させ、
前記複数の電極パッド上の前記複数のプローブが接触したプローブ跡の画像を処理して、前記プローブ跡を検出し、
±X方向と±Y方向の4方向について、前記プローブ跡の前記複数の電極パッドの枠に対する余裕距離を算出し、
前記4方向のそれぞれについての最小余裕距離を算出し、
前記4方向の最小余裕距離をモニタにグラフィック表示することを特徴とするプローブ位置修正方法。 - 前記4方向の最小余裕距離が算出された電極パッドのプローブ跡を含む画像を前記モニタに表示する請求項2に記載のプローブ位置修正方法。
- 複数のプローブを有するプローブカードと、複数の電極パッドの形成されたウエハを保持するウエハチャックと、前記ウエハチャックをX,Y,Zの3軸方向に移動する移動機構と、前記プローブカードの前記プローブの位置を検出するプローブ位置検出手段と、前記ウエハチャックに保持された前記ウエハの複数の電極パッドの位置を検出するウエハアライメント手段と、前記移動機構を制御する移動制御部とを備え、前記移動制御部は、前記プローブ位置検出手段の検出した前記複数のプローブの位置、ウエハアライメント手段の検出した前記複数の電極パッドの位置及び移動量演算補正値に基づいて、前記複数の電極パッドの所定位置を前記複数のプローブに接触させるように前記移動機構による移動量を演算する移動量演算部を備えるプローバであって、
前記ウエハアライメント手段は、
前記複数の電極パッド上の前記複数のプローブが接触したプローブ跡の画像を処理して、前記プローブ跡の位置を検出するプローブ跡検出手段と、
±X方向と±Y方向の4方向について、前記プローブ跡の前記複数の電極パッドの枠に対する余裕距離を算出し、前記4方向のそれぞれについての最小余裕距離を算出する最小余裕距離算出手段と、を備え、
前記移動量演算部は、前記X方向の2つの前記最小余裕距離および前記Y方向の2つの前記最小余裕距離がそれぞれ等しくなるように、移動量演算補正値を算出することを特徴とするプローバ。
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