JP5857176B2 - 蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法 - Google Patents
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Description
図1(a)は本発明の実施の形態1における蒸着用ルツボの斜視図であり、図1(b)は蒸着装置の概略構成図である。また、図2は蒸着装置の概略上面図であり、図3はルツボの(a)は上面図、(b)は正面の断面図、(c)は右測面の断面図である。
本発明の実施の形態2について、図6のルツボの上面図を用いて説明する。本実施の形態2において、図6に示すルツボ41の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態1の各図と同様の構成である。
本発明の実施の形態3について、図7の波紋とスプラッシュの関係を説明する図を用いて説明する。また、本実施の形態3において、図7に示すルツボ51の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態1の各図と同様の構成である。また、図8はルツボの構成を示す図であって、(a)は斜視図、(b)は正面の断面図である。
本発明の実施の形態4について、図9(a)のルツボの上面図、(b)の正面の断面図を用いて説明する。本実施の形態4において、図9で示すルツボ61に仕切り板3A,3Bを設けたこと以外は、前述した実施の形態1と同様な形態である。
本発明の実施の形態5について、図10(a)のルツボの上面図、(b)のA−A断面図と部分拡大図を用いて説明する。本実施の形態5において、図10(b)で示すルツボ71における蒸着材料溶融部分71Bの壁の一部に傾斜を設けたこと以外は、実施の形態1と同様な形態である。
本発明の実施の形態6について、前述の各実施の形態で説明した蒸着用ルツボを使用し、磁気記録媒体を製造する蒸着装置を説明する。本実施の形態6の蒸着装置により製造される磁気記録媒体は、非磁性支持体であるベースフイルム15上に強磁性金属、あるいはその合金の薄膜からなる磁性層が形成されるとともに、この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層が形成される磁気記録媒体である。
・ポリエンエチレンテレフタレート(PET)フイルムからなるベースフイルム15(厚み6.3μ)上にCoを蒸着させ磁性層を形成する(ステップS1)。この時のCoの純度は99.99%、また厚みは2000Åである。
・この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層を形成する(ステップS2)。バックコートの形成に当たっては、主成分はニトロセルロースを塗布工法により、WET厚み50μで形成する。
・磁性層の形成面に防錆目的で防錆層を形成する(ステップS3)。防錆層の形成に当たっては、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)層を形成するために、スパッタ法でカーボンをターゲットとして、70Åの膜を形成する。
・磁性層の潤滑目的で、潤滑層を形成する(ステップS4)。潤滑層の形成に当たっては、主成分はパーフルオロポリエーテルを塗布工法により、WET厚み15μで形成する。
・ドロップアウトの測定目的で、6.35mm幅に裁断し、DVC(6.35mm幅)カセットに組み込む(ステップS5)。
(実施例1)
前述の実施の形態1と同様な形態で、同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。なお、この時の蒸着速度は60m/分である。
(実施例2)
ルツボが実施の形態2と同様な形態(ルツボ41)で、蒸着材料(固体状態)20aの棒材を両側から供給し、蒸着速度を120m/分とした以外は、実施例1と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
(実施例3)
ルツボが実施の形態3と同様な形態(ルツボ51)とした以外は、実施例1と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
(実施例4)
ルツボが実施の形態4と同様な形態(ルツボ61)とした以外は、実施例1と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
(実施例5)
ルツボが実施の形態5と同様な形態(ルツボ71)とした以外は、実施例1と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
(比較例)
ルツボ1が通常の形態(図4のルツボ101)とした以外は、実施例1と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
1A,31A,41A,51A,61A,71A 蒸着材料蒸発部分
1B,31B,41B,51B,61B,71B 蒸着材料溶融部分
2A,2B,3A,3B 仕切り板
4A 蒸発専用電子ビーム
4B 溶解専用電子ビーム
5 供給路
6,7 湾曲部
9 ホッパー
10 蒸着材料
11 排気口
12 真空室
13 送りロール
14 巻取りロール
15 ベースフイルム
16 冷却キャン
17,18 ガイドロール
20 ペレット
20a 蒸着材料(固体状態)
20b 蒸着材料(溶融状態)
21A 蒸発用電子銃
21B 溶解用電子銃
22a,22b 入射角制限マスク
24 酸素ガス導入口
110 溶融材料
111 溶融表面
Claims (4)
- 蒸着層が形成される蒸着基材を搬送しながら冷却する冷却キャンと、
前記蒸着層を形成する蒸着材料が充填される蒸着材料溶融部を有するL字形のルツボと、前記ルツボ内の蒸着材料に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、を備え、
前記ルツボは、前記冷却キャンの幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部と、前記幅方向と垂直に伸びた前記蒸着材料溶融部とを有し、
前記蒸着材料蒸発部と前記蒸着材料溶融部との連通部が、前記幅方向と垂直に配置された仕切り板を有し、
前記仕切り板は、前記蒸着材料溶融部側の第1仕切り板と、前記蒸着材料蒸発部側の第2仕切り板から構成され、
前記第1仕切り板は、前記蒸着材料の充填箇所から遠い側の前記蒸着材料蒸発部の側壁から突出し、前記第2仕切り板は、前記蒸着材料の充填箇所に近い側の前記蒸着材料蒸発部の側壁から突出したこと
を特徴とする蒸着装置。 - 前記仕切り板は、前記ルツボの底部付近以外を仕切っていること
を特徴とする請求項1記載の蒸着装置。 - 前記蒸着材料溶融部の壁の一部が傾斜面を有していること
を特徴とする請求項1または2に記載の蒸着装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の蒸着装置において、電子ビーム照射手段により加熱した前記ルツボ内の蒸着材料によって、前記冷却キャンで冷却されながら搬送される前記蒸着基材に蒸着層を形成すること
を特徴とする蒸着方法。
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