JP2000195044A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長時間に亘ってスプラッシュ等を発生するこ
となく磁気記録媒体を製造して生産性に優れる。 【解決手段】 磁性層が形成される非磁性支持体を搬送
しながら冷却する冷却キャンと、上記冷却キャンに対向
して配設され、溶融した磁性材料が充填されるルツボ
と、上記ルツボに対して細線状の磁性材料を順次供給す
るワイヤー供給装置と、上記ワイヤ供給装置を熱から遮
蔽する熱遮蔽手段と、上記ルツボ内に充填された磁性材
料に対して電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と
を備えることを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ルツボ内で溶融す
る磁性材料を非磁性支持体上に蒸着することにより磁性
層を形成する磁気記録媒体の製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダ等の分野
においては、高画質化を図るために高密度記録化が一層
強く要求されている。これに対応する磁気記録媒体とし
て、金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成技術（真空
蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法
等）により、直接非磁性支持体上に被着せしめて磁性層
を形成する、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が
ある。

【０００３】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、保
磁力、角形比及び短波長領域における電磁変換特性に優
れるばかりでなく、磁性層の薄膜化が可能であり、加え
て塗布型の磁気記録媒体のように結合剤等の非磁性材料
を磁性層に含ませなくてよいことから磁性材料の充填密
度を高くできること等、数々の利点を有している。

【０００４】中でも真空蒸着法によって磁性層が形成さ
れる蒸着タイプの磁気テープ（蒸着テープ）は、生産効
率が高く特性も安定していることから、既に実用化され
ている。

【０００５】ところで、上記蒸着テープにおいて、磁性
層を形成するための蒸着は、真空槽内に、非磁性支持体
を案内する円筒キャンと、蒸着源となる磁性材料と、蒸
着源を加熱するための加熱手段等を有する蒸着装置によ
って行われる。

【０００６】具体的に、蒸着装置は、図４に示すよう
に、非磁性支持体であるべ一スフィルム１００を外周表
面に走行させながら支持する円筒状の冷却キヤン１０１
と、この冷却キャン１０１に対向して配設されたルツボ
１０２と、このルツボ１０２内に収容された蒸着源であ
るＣｏ−Ｎｉ系の強金属磁性材料等からなる磁性材料１
０３と、ベースフィルム１００の所定範囲を被う入射角
制限マスク１０４と、磁性材料１０３を蒸発させる電子
ビーム銃１０５とが、真空層１０６内に配置されて構成
される。

【０００７】この蒸着装置では、電子ビーム銃１０５か
ら放出される電子ビームが蒸着源となる磁性材料１０３
に照射されることによって、当該磁性材料１０３を蒸発
させる。これにより、蒸発した磁性材料は、粒子状とな
ってベースフィルム１０２上に被着され、蒸着膜として
形成される。

【０００８】また、この蒸着装置では、長時間に亘って
蒸着を行うような場合、ルツボ１０２内に収容された磁
性材料１０３を所定量に維持するため、上述したように
蒸着膜を形成すると同時に、ルツボ１０２内に磁性材料
１０３を順次供給している。この磁性材料１０３を供給
する手法としては、（１）磁性体を直径１０ｍｍ以下程
度の細線状に形成してなるワイヤーをルツボ１０２に連
続的に供給する手法、（２）磁性体を直径約１０ｍｍ程
度で長さ数十ｍｍ程度に形成してなるペレットを一定の
間隔でルツボ１０２に供給する手法、（３）磁性体を直
径６０〜８０ｍｍ程度の棒状に形成してなるロッドをル
ツボ１０２の下部又は側面から連続的に供給する手法等
を挙げることができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような蒸着装置では、長時間に亘って蒸着を行うに際
して、生産性良く蒸着テープを作製することができない
といった問題点があった。これは、ルツボ１０２内で溶
融する磁性材料１０３が跳ね上がってしまう、いわゆ
る、スプラッシュが発生してしまったり、上述したよう
な磁性材料を供給する磁性体供給装置等が熱負けしてし
まうためである。

【００１０】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、長時間に亘ってスプラッ
シュ等を発生することなく磁気記録媒体を製造する、生
産性に優れた磁気記録媒体の製造装置を提供することを
目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成した本
発明に係る磁気記録媒体の製造装置は、磁性層が形成さ
れる非磁性支持体を搬送しながら冷却する冷却キャン
と、上記冷却キャンに対向して配設され、溶融した磁性
材料が充填されるルツボと、上記ルツボに対して細線状
の磁性材料を順次供給するワイヤー供給装置と、上記ワ
イヤ供給装置を熱から遮蔽する熱遮蔽手段と、上記ルツ
ボ内に充填された磁性材料に対して電子ビームを照射す
る電子ビーム照射手段とを備えることを特徴とするもの
である。

【００１２】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体の製造装置では、熱遮蔽手段によって、細線状
の磁性材料を供給するワイヤ供給装置に対して印加され
る熱を遮蔽している。また、この磁気記録媒体の製造装
置では、ルツボ内に充填された溶融状態の磁性材料に、
細線状の磁性材料を順次供給しているため、スプラッシ
ュの発生が低減されている。このため、この磁気記録媒
体の製造装置では、長時間に亘って蒸着膜を形成するこ
とができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気記録媒体
の製造装置の具体的な実施の形態について図面を参照し
て詳細に説明する。

【００１４】本実施の形態に示す磁気記録媒体の製造装
置は、図１に示すような、いわゆる真空蒸着法に用いら
れる真空蒸着装置１である。

【００１５】この真空蒸着装置は、上端部及び下端部に
形成された一対の排気口２ａ，２ｂを有する真空室３
と、この真空室３内に配設され図中の時計回りに回転す
る供給ロール４と、図中の時計回り方向に回転する巻取
りロール５が設けられ、これら供給ロール４から巻取り
ロール５に帯状の非磁性支持体６が順次走行するように
なされている。そして、この真空蒸着装置１は、略帯状
に形成された非磁性支持体６の一主面に順次金属磁性膜
を、蒸着によって成膜するものである。ここで、非磁性
支持体６としては、ポリエチレンテレフタレート等のポ
リエステル類、ポリエチレン，ポリプロピレン等のポリ
オレフィン類、セルローストリアセテート，セルロース
ジアセテート，セルロースアセテートブチレート等のセ
ルロース誘導体、ポリ塩化ビニル，ポリ塩化ビニリデン
等のビニル系樹脂、ポリカーボネート，ポリイミド，ポ
リアミド，ポリアミドイミド等のプラスティック等を例
示できる。

【００１６】これら供給ロール４から巻取りロール５側
に上記非磁性支持体６が走行する中途部には、供給ロー
ル４及び巻取りロール５の径よりも大径となされた冷却
キャン７が設けられている。この冷却キャン７は、上記
非磁性支持体６を図中右方に引き出すように設けられ、
図中の時計回り方向に定速回転する構成とされる。尚、
上記供給ロール４，巻取りロール５及び冷却キャン７
は、それぞれ非磁性支持体６の幅と略同じ長さからなる
円筒状をなすものであり、また冷却キャン７には、内部
に図示しない冷却装置が設けられ、上記非磁性支持体６
の温度上昇による変形等を抑制し得るようになされてい
る。なお、この冷却キャン７の温度は例えば−２５℃程
度に設定される。

【００１７】さらに、供給ロール４と冷却キャン７の間
及び冷却キャン７と巻取りロール５の間には、それぞれ
ガイドロール８が設けられ、供給ロール４、冷却キャン
７、巻取りロール５に亘って走行する非磁性支持体６に
所定のテンションがかけられ、非磁性支持体６が円滑に
走行するようになされている。

【００１８】また、真空槽３内には、冷却キャン７に対
して、図中の右側斜め下方にルツボ９が設けられ、この
ルツボ９内に金属磁性材料が蒸着源１０として充填され
ている。この金属磁性材科としては、通常の蒸着テープ
に使用されるものであれば、如何なるものであっても良
い。例示すれば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の強磁性金属、Ｆ
ｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃ
ｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｆｅ−Ｃ
ｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げられる。

【００１９】このルツボ９は、冷却キャン７の周面を走
行する非磁性支持体と略等しい幅を有している。このた
め、冷却キャン７の周面を走行する非磁性支持体６で
は、ルツボに対して全幅が対向することができる。

【００２０】さらに、真空槽３の側壁部には、ルツボ９
内に充填された蒸着源１０を加熱蒸発させるための電子
銃１１が取り付けられている。この電子銃１１は、当該
電子銃１１より放出される電子線１２がルツボ９内の蒸
着源１０に照射されるような位置に配設される。

【００２１】さらにまた、この真空蒸着装置１では、非
磁性支持体６から外れた金属磁性粒子が拡散して真空槽
３の内壁に付着するのを防止する防着板１３が設けられ
ている。この防着板１３は、冷却キャン７の幅と略等し
い幅を有する板材からなり、真空室３内を、ルツボ９が
配設された側と供給ロール４及び巻取りロール５が配設
された側とに分割している。

【００２２】さらにまた、この真空蒸着装置１には、金
属磁性粒子を非磁性支持体６に対して所定の入射角度で
入射するさせるための入射角制限マスク１４ａ，１４ｂ
が配設されている。これら入射角制限マスク１４ａ，１
４ｂは、冷却キャン７とルツポ９との間であって当該冷
却キャン７の近傍に、所定の間隔をもって取りつけられ
ている。

【００２３】これら入射角制限マスク１４ａ，１４ｂ
は、蒸発源１０から飛来する金属磁性材料の入射角度を
規制するためのもので、通常、一方の入射角制限マスク
１４ａが低入射角度を制限し、他方の入射角制限マスク
１４ｂが高入射角度を制限している。この真空蒸着装置
１では、これら入射角制限マスク１４ａ，１４ｂが冷却
キヤン７の外周表面を定速走行する非磁性支持体６の所
定領域を覆う形で配設されるため、これら入射角制限マ
スク１４ａ，１４ｂにより蒸発した金属磁性材科粒子が
非磁性支持体６に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着さ
れるようになっている。具体的に、この真空蒸着装置１
では、金属磁性粒子の入射角を４５°となるように入射
角制限マスク１４ａ，１４ｂを配設した。

【００２４】さらにまた、真空蒸着装置１には、冷却キ
ャン７と一方の入射角制限マスク１４ａとの間に、酸素
ガス供給装置１５が配設されている。この酸素ガス供給
装置１５は、非磁性支持体６の金属磁性粒子が堆積する
部分に酸素ガスを供給する。

【００２５】一方、この真空蒸着装置１では、図２に示
すように、ワイヤー状の金属磁性材料をルツボ９内に供
給するワイヤ供給装置１６が配設されている。このワイ
ヤ供給装置１６は、約１０ｍｍ以下の細線状に形成され
たワイヤー状の金属磁性材料１７（以下、単にワイヤ１
７と呼ぶ。）を複数巻回してなるワイヤ供給ロール１８
と、このワイヤ供給ロール１８から導出されたワイヤ１
７を所定の送り速度で送出する送出装置１９とから構成
されている。

【００２６】このワイヤ供給装置１６では、ワイヤ１７
を直径約６００ｍｍのローラ２０に巻き付けることによ
って、ワイヤ供給ローラ１８を形成し、細線状のワイヤ
１７を収納している。このように、真空蒸着装置１で
は、細線状のワイヤ１７をローラ１９に巻回することに
よって、長時間に亘って使用できる長さを有するワイヤ
１７を収納できる。言い換えると、この真空蒸着装置１
では、ローラ２０にワイヤ１７を複数巻回することによ
って、長時間に亘っての使用が可能となる。

【００２７】また、このワイヤ供給装置１６において、
送出装置１９は、鋳物等からなる一対の送りローラ２１
からなり、ワイヤ供給ロール１８とルツボ９との間に配
設される。そして、これら一対の送りローラ２１の間に
は、上述したワイヤ供給ロール１８から導出されたワイ
ヤ１７が挟み込まれることになる。一対のローラ２１
は、この状態で回転駆動されることによって、ワイヤ１
７をルツボ９に順次供給することができる。

【００２８】なお、これら一対の送りローラ２１は、そ
れらの間隔がワイヤ１７の太さよりもやや大となるよう
に配設されることが好ましい。このように、一対の送り
ローラ２１の間隔をワイヤ１７よりも大とすることによ
って、熱によりワイヤ１７が膨張した場合でも、確実に
ワイヤ１７を送出することができる。また、これら一対
の送りローラ２１は、耐熱性を有する材料から構成され
ることが好ましい。一対のの送りローラ２１に耐熱性を
付与することによって、送出装置１９の耐熱性を向上さ
せることができる。

【００２９】さらに、この真空蒸着装置１は、送出装置
１９を囲うように配設された熱遮蔽装置２２を有してい
る。この熱遮蔽装置２２は、いわゆる、熱遮蔽板から構
成され、一対の送りローラ２１に付加される熱を遮蔽し
ている。ここで、熱遮蔽板としては、真空槽３内の真空
度を等に影響を及ぼさないような材料を選定することが
好ましい。具体的に、熱遮蔽板としては、ステン３１０
Ｓ、セラミック、チタン等の耐熱性材料を例示すること
ができる。また、この熱遮蔽装置２１においては、特
に、ルツボ９に対向する側に配される熱遮蔽板の耐熱性
を向上させることが好ましい。

【００３０】さらにまた、この真空蒸着装置１には、上
述したワイヤ供給装置１６から供給されたワイヤ１７を
ルツボ９内に導くためのワイヤガイド２３が配設されて
いる。このワイヤガイド２３は、ルツボ９と冷却キャン
７の周面を走行する非磁性支持体６との間を除く領域に
配設される。このワイヤガイド２３は、当接面が所定の
曲率を有するような小片状に形成されている。

【００３１】以上のように構成された真空蒸着装置１
は、供給ロール４から冷却キャン７及び巻取りロール５
へと順次走行する非磁性支持体６に対して金属磁性膜を
成膜する。このとき、真空蒸着装置１は、電子銃１１が
駆動して、蒸着源１０に対して電子線１２が照射され
る。これにより、蒸着源１０は、加熱されて溶融し、更
に加熱されることによって蒸発することとなる。

【００３２】そして、この真空蒸着装置１では、蒸発し
た蒸着源１０が一対の入射角規制マスク１４ａ，１４ｂ
の間に形成された開口部から入射して、走行する非磁性
支持体６上に順次堆積する。これにより、非磁性支持体
６上には、金属磁性膜が成膜されることになる。

【００３３】このとき、この真空蒸着装置１では、ルツ
ボ９内にワイヤ１７を供給することによって、ルツボ９
内に充填される金属磁性材料の量を一定に維持してい
る。すなわち、この真空蒸着装置１では、ルツボ９内に
充填される金属磁性材料の量を一定に保つため、蒸発に
より減少した金属磁性材料に相当する量のワイヤ１７を
ルツボ９内に供給している。

【００３４】この真空蒸着装置１において、ワイヤ１７
は、送出装置１９により送出量が制御され、ルツボ９内
に導かれる。このとき、ワイヤ１７は、送出装置１９か
ら導出されると、ワイヤガイド２３の当接面に沿ってル
ツボ９内に導かれる。このワイヤ１７は、上述したよう
な約１０ｍｍ以下の細線状に形成されているため、ワイ
ヤガイド２３の当接面に沿って屈曲することができ、容
易にルツボ９内に導かれる。

【００３５】このように、ワイヤ１７の先端部がルツボ
９内で溶融した金属磁性材料内に浸漬されると、浸漬さ
れた部分のワイヤ１７が溶融し、ルツボ９内を充填する
こととなる。これにより、この真空蒸着装置１は、ルツ
ボ９内に、常に溶融した金属磁性材料が充填された状態
を維持することができる。したがって、この真空蒸着装
置１は、非磁性支持体６の長さを非常に長くして長時間
に亘って金属磁性膜を成膜するような場合にも、蒸着源
１０たる金属磁性材料が不足してしまうようなことがな
い。このため、この真空蒸着装置１によれば、長時間に
亘って連続して金属磁性膜を成膜することができる。

【００３６】この真空蒸着装置１では、ワイヤ１７の先
端部が常にルツボ９内の溶融した金属磁性材料中に浸漬
している。このため、ワイヤ１７の先端部近傍は、常に
高温に加熱された状態となる。言い換えると、この真空
蒸着層値１では、ルツボ９内で溶融した金属磁性材料の
温度とワイヤ１７がの温度との差が小となっている。し
たがって、ワイヤ１７がルツボ９内の金属磁性材料中に
供給された場合であっても、スプラッシュを発生させる
ことなく溶融することとなる。

【００３７】ところで、上述した真空蒸着装置１におい
て、ルツボ９は、電子線１２が照射されて非常に高温度
になっている。また、この真空蒸着装置１では、このル
ツボ９自体の温度だけでなく、その周囲の温度までも非
常に高くなっている。しかしながら、この真空蒸着装置
１では、送出装置１９の周囲に熱遮蔽装置２１を配設し
ているため、送出装置１９に対して熱を遮蔽することが
できる。

【００３８】これに対して、従来の真空蒸着装置のよう
に、送出装置に対して高温が加わり続けると、一対の送
りローラを駆動させる駆動手段等が熱の影響を受けて不
安定になってしまう。このような場合、ワイヤを正確に
供給することができないといった不都合が生じるため、
長時間に亘って金属磁性膜を成膜することができなかっ
た。

【００３９】ところが、上述した真空蒸着装置１では、
内部の熱が送出装置１９に対して遮蔽されているため、
ワイヤ１７を常に正確に送り続けることができる。した
がって、この真空蒸着装置１は、長期間に亘って蒸着を
続けた場合でも、確実に非磁性支持体６上に金属磁性膜
を成膜することができる。

【００４０】一方、本発明に係る磁気記録媒体の製造装
置は、上述したような熱遮蔽装置２１を有するような構
成に限定されるのもではない。すなわち、本発明に係る
磁気記録媒体の製造装置は、図３に示すように、送出装
置１９を冷却する冷却装置３０を有する真空蒸着装置１
であってもよい。なお、以下の説明において、上述した
真空蒸着装置１と同様な部材に関しては、同一の符号を
付することによって、その構成及び動作の詳細な説明は
省略する。

【００４１】この真空蒸着装置１において、冷却装置３
０は、外部に配設された冷却水ポンプ３１と、この冷却
ポンプ３１に接続され、冷却水が循環する循環流路３２
とから構成されている。この冷却装置３０は、冷却水を
用いて冷却を行っているが、このような構成に限定され
ず、例えば、冷気等を吹き付けることにより送出装置１
９を冷却するようなものであってもよい。

【００４２】このように構成された真空蒸着装置１で
は、ルツボ９に供給されるワイヤ１７を溶融した金属磁
性材料に浸漬すると、溶融した金属磁性材料の温度がワ
イヤ１７に伝達されるようになる。このため、ワイヤ１
７が非常に高温となるとともにワイヤ１７を伝って送出
装置１９に温度が達してしまう。しかしながら、この真
空蒸着装置１では、冷却水ポンプ３１から供給された冷
却水が循環流路３２内を循環することによって、送出装
置１９から熱を除去することができる。このため、真空
蒸着装置１では、送出装置１９が蓄熱してしまい、動作
が不安定になってしまうといったことが回避される。

【００４３】したがって、この真空蒸着装置１では、長
時間に亘って金属磁性膜を成膜した場合であっても、確
実に非磁性支持体６上に金属磁性膜を成膜することがで
きる。この真空蒸着装置１は、非常に長い非磁性支持体
６を使用した場合でも、長時間に亘って蒸着を行うこと
ができ、優れた生産性で磁気記録媒体を製造することが
できる。

【００４４】ところで、図２に示したような真空蒸着装
置１は、単に、熱遮蔽装置２１を有するような構成であ
ったが、送出装置１９に対して接続されて送出装置１９
の熱を除去する冷却装置を有するような構成であっても
良い。この場合、冷却装置としては、図３に示した真空
蒸着装置に配設されたようなものであればよい。

【００４５】このように、図２に示したような真空蒸着
装置１に、更に冷却装置を備えるような構成とすること
によって、真空蒸着装置１は、真空室３内部の温度が送
出装置１９に印加され難いばかりでなく、ワイヤ１７を
介して伝達された熱を効率よく除去することができる。
このため、この真空蒸着装置１は、送出装置１９がより
耐熱性に優れることとなり、連続蒸着の更なる長時間化
を可能とする。

【００４６】なお、この熱遮蔽装置２１及び冷却装置を
併せ持つような真空蒸着装置は、図３に示したような冷
却装置３０を有するものに熱遮蔽板を取りつけることに
よって構成されてもよい。

【００４７】

【実施例】以下、本発明に係る磁気記録媒体の製造装置
の具体的な実施例及び比較例について説明する。

【００４８】実施例１ 実施例１では、図２に示したような真空蒸着装置を使用
して、非磁性支持体としてポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）を用い、金属磁性材料としてＣｏ₈₀Ｎｉ₂₀を
用いて蒸着を行った。そして、非磁性支持体の蒸着層が
形成された面とは反対側の面にバックコート層が形成さ
れるとともに、蒸着層上にパーフルオロポリエーテルを
塗布し、その後、８ミリ幅に裁断していわゆる８ミリカ
セットに組み込んだ。なお、詳細な条件等は、表１に示
す

【００４９】

【表１】

【００５０】実施例２ 実施例２では、図３に示したような真空蒸着装置を使用
した以外は、実施例１と同様にして蒸着層を形成した。

【００５１】比較例１ 比較例１では、直径１０ｍｍ、長さ１２ｍｍとなるよう
に裁断されたペレット状合金を使用し、このペレット状
合金をルツボ内に供給した以外は実施例ｌと同様にして
蒸着層を形成した。このときのペレット状合金の供給方
法は、ルツポ１９の液面１９ｂの高さを一定に保つよう
に、所定の時間間隔でペレット状合金を断続的にルツボ
内に供給した。

【００５２】比較例２ 比較例２では、直径２０ｍｍに加工したロッド状合金を
使用し、このロッド状合金をルツボ内に供給した以外は
実施例１と同様にして蒸着層を形成した。このときのロ
ッド状合金は、ルツポのより連続的に押し出すように供
給することができるものを作製した。また、ロッド状合
金の供給速度は、ルツボの液面の高さが一定となるよう
に設定した。さらに、この比較例２では、ワイヤー供給
装置等の機構を有さないため、真空室内に収まる寸法で
なるべく長いものを採用した。

【００５３】比較例３ 比較例３では、熱遮蔽板３を設置しない真空蒸着装置を
使用した以外は、実施例１と同様にサンプルテープを製
造した。

【００５４】比較例４ 比較例４では、実施例２に使用した真空蒸着装置を使用
した以外は、比較例１と同様にして蒸着層を形成した。

【００５５】比較例５ 比較例５では、実施例２に使用した真空蒸着装置を使用
した以外は、比較例１と同様にして蒸着層を形成した。

【００５６】比較例６ 比較例６では、冷却装置を有さない真空蒸着装置を使用
した以外は、実施例２と同様にして蒸着層を形成した。

【００５７】以上、各実施例及び比較例においては、表
２に示すような金属磁性材料を使用した。

【００５８】

【表２】

【００５９】そして、上述したような実施例１及び実施
例２と比較例１乃至比較例６とで作製した磁気記録媒体
のドロップアウトを測定した。このドロップアウトの測
定には、ソニー社製（商品名；ハイバンド８ミリビデオ
デッキＥＶ一Ｓ９００）を改造したものを使用した。そ
して、再生出力レベルから−１６ｄＢより低下した時間
が１０μｓｅｃ以上続いた回数をドロップアウトとして
測定した。測定は、１０分間行い、１分間当たりの平均
値をドロップアウトの個数とした。結果を表３に示す。

【００６０】

【表３】

【００６１】この表３から明らかなように、実施例１及
び実施例２で作製した磁気記録媒体は、ドロップアウト
の個数が非常に少なく、また、連続蒸着可能時間も大幅
に向上している。

【００６２】これに対して、比較例１及び比較例４で
は、ペレット状合金をルツボに供給する時にルツボの液
面からスプラシュが発生し、その飛沫が非磁性支持体に
まで到達して、熱負けが発生しているものもある。これ
は磁性層の完全な欠落となり製品品質上問題となるレベ
ルである。また、目視状態では良く確認できないものの
顕微鏡観察で確認できる程度の微少な熱負けが多数発生
しいることもわかり、その結果、比較例１では、ドロッ
プアウトの個数が多くなっている。さらに、所定の寸法
を有するペレット状合金は、原料金属を加熱溶解した
後、一度線合金を引き延ばし、更に、所定の長さに裁断
するといった工程が必要となり、加工プロセスも多くか
かり、コストが高い。

【００６３】さらに、比較例２比較例５では、ロッド状
合金をルツボに供給する時に比較例１のようなスプラッ
シュは発生しない。しかしながら、真空室内に収める制
約上、それほど長い寸法のものは使用できず、長時間の
蒸着は不可能である。なお、このときの蒸着可能時間は
実施例１の１０分の１程度である。さらに、比較例２及
び比較例５では、溶解液面にロッド状合金を入れるた
め、ロッド状合金を斜め方向から送り込まねばならな
い。そのため、駆動装置の設置も難しく、大がかりなも
のにせざるを得ない。また、ロッド状合金に直接電子ビ
ームを照射してこれを溶解するという方法もあるが、蒸
着レートが不安定になりやすいために好ましくない。

【００６４】さらにまた、比較例３及び比較例６では、
ワイヤー状の合金の供給が連続的でつねにルツボ内に溶
けている合金と供給合金が接続状態であるために、蒸着
時のスプラッシュ等の飛沫が発生する問題がない。ま
た、ワイヤー状のためガイドを付ければルツボ内への誘
導も容易で、駆動装置の設置場所も比較例２ほどの制約
はない。しかしながら、比較例３及び比較例６では、熱
遮蔽装置や冷却装置を使用していないため、ルツボから
発生する熱によりワイヤ駆動装置が不安定或いは駆動不
可能となってしまう。このため、比較例３及び比較例６
では、連続蒸着可能時間が短くなっている。

【００６５】このように、真空蒸着装置は、ワイヤ駆動
装置に熱遮蔽装置や冷却装置を配設することにより、ス
プラシュを発生させずに長時間に亘って蒸着を行うこと
ができる。したがって、本発明によれば、優れた生産性
で、信頼性の向上した磁気記録媒体を製造することがで
きる。

【００６６】なお、実施例ｌ及び比較例３では、ルツボ
の端部へのワイヤ状合金の供給がルツボの液面に対して
４５°の角度としたが、もちろん４５°である必要はな
く、真空室の構造等によって任意の角度を持たせても良
い。

【００６７】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の磁気記録媒体の製造装置では、ワイヤ供給装置を熱
から遮蔽する熱遮蔽手段及び／又はワイヤ供給装置を冷
却する冷却手段を有することにより、ワイヤ供給装置が
熱から保護されることになる。このため、この磁気記録
媒体の製造装置は、長時間に亘ってスプラッシュ等を発
生することなく、優れた生産性を示すこととなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態として示す真空蒸着装置の
概略構成図である。

【図２】真空蒸着装置のワイヤ供給装置の一例を拡大し
て示す概略構成図である。

【図３】真空蒸着装置のワイヤ供給装置の他の例を拡大
して示す概略構成図である。

【図４】従来の真空蒸着装置を示す概略構成図である。

【符号の説明】

１ 真空蒸着装置、３ 真空室、６ 非磁性支持体、７
冷却キャン、９ ルツボ、１０ 蒸着源、１１ 電子
銃、１２ 電子線、１７ ワイヤ、１８ ワイヤ供給ロ
ール、１９ 送出装置、２２ 熱遮蔽装置、２３ ワイ
ヤガイド、３０冷却装置、３１ 冷却ポンプ、３２ 循
環回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 蟻坂 裕一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 AA11 AA25 BC06 BD11 DB00 DB09 DB15 DB21 JA10 5D112 AA22 FA02 FB13 FB21 FB23 FB25

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁性層が形成される非磁性支持体を搬送
   しながら冷却する冷却キャンと、 上記冷却キャンに対向して配設され、溶融した磁性材料
   が充填されるルツボと、 上記ルツボに対して細線状の磁性材料を順次供給するワ
   イヤー供給装置と、 上記ワイヤ供給装置を熱から遮蔽する熱遮蔽手段と、 上記ルツボ内に充填された磁性材料に対して電子ビーム
   を照射する電子ビーム照射手段とを備えることを特徴と
   する磁気記録媒体の製造装置。
2. 【請求項２】 上記磁性材料は、棒状又は角形形状であ
   ることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造
   装置。
3. 【請求項３】 上記ワイヤ供給装置を冷却する冷却手段
   を有することを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体
   の製造装置。
4. 【請求項４】 磁性層が形成される非磁性支持体を搬送
   しながら冷却する冷却キャンと、 上記冷却キャンに対向して配設され、溶融した磁性材料
   が充填されるルツボと、 上記ルツボに対して細線状の磁性材料を順次供給するワ
   イヤー供給装置と、 上記ワイヤ供給装置を冷却する冷却手段と、 上記ルツボ内に充填された磁性材料に対して電子ビーム
   を照射する電子ビーム照射手段とを備えることを特徴と
   する磁気記録媒体の製造装置。
5. 【請求項５】 上記磁性材料は、棒状又は角形形状であ
   ることを特徴とする請求項４記載の磁気記録媒体の製造
   装置。
6. 【請求項６】 上記ワイヤ供給装置を熱から遮蔽する熱
   遮蔽手段を有することを特徴とする請求項４記載の磁気
   記録媒体の製造装置。