JP5842720B2 - 出力回路 - Google Patents
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Description
以下、第1実施形態を図1〜図5に従って説明する。
図3に示すように、半導体集積回路装置は、複数の半導体装置10A,10Bを有している。これら半導体装置10A,10Bは、共通のバスB1に接続されている。
図1に示すように、出力回路11Aは、内部回路(図示略)から該内部回路の動作電圧に応じたレベルを持つ入力信号Vinを入力するバッファ回路20と、入力信号Vinに応じた出力信号Voutを出力端子Toに出力する出力段30とを有している。本実施形態では、内部回路の動作電圧は、第1の高電位電源電圧VDD1と同じ電圧値に設定されている。なお、内部回路の動作電圧は、第1の高電位電源電圧VDD1よりも低い電圧値に設定するようにしてもよい。この場合において、第1の高電位電源電圧VDD1よりも低い電圧は、例えば降圧レギュレータなどにより第1の高電位電源電圧VDD1を降圧して生成することができる。
出力段30は、電源端子T1と出力端子Toとの間に直列に接続されたPチャネルMOSトランジスタTP4及びNチャネルMOSトランジスタTN1と、トランジスタTN1のバックゲートに接続されたPチャネルMOSトランジスタTP5,TP6と、を有している。
トランジスタTN1のゲートには、上記トランジスタTP2のソース(ノードN1)が接続されており、電圧VN1が供給される。また、トランジスタTN1のソースは出力端子Toに接続されている。なお、出力端子Toは抵抗Rを介して電源端子T2に接続されている。
また、トランジスタTN1のバックゲートと電源端子T2との間には、2つのPチャネルMOSトランジスタTP5,TP6が直列に接続されている。詳述すると、トランジスタTP5のドレインはトランジスタTN1のバックゲートに接続されている。トランジスタTP5のソースはトランジスタTP6のソースに接続されている。トランジスタTP6のドレインは電源端子T2に接続されている。これらトランジスタTP5,TP6のゲートには、電源端子T2が接続されている。そして、トランジスタTP5のソースに、トランジスタTP5,TP6のバックゲート(ノードN2)が接続されている。このトランジスタTP5,TP6のバックゲート(ノードN2)は、フローティング状態になっている。
VN1=Vin+Vgs2
となる。そして、このノードN1の電圧VN1がトランジスタTN1のゲート電圧となる。したがって、トランジスタTN1のソースから出力される出力信号Voutは、電圧VN1からトランジスタTN1のゲート・ソース間電圧Vgs1を差し引いた電圧値となる。すなわち、出力信号Voutは、
Vout=VN1−Vgs1
=Vin+Vgs2−Vgs1
となる。ここで、本実施形態では、上述したようにトランジスタTN1,TP2のゲート・ソース間電圧Vgs1,Vgs2が略同一になるように設定されている。このため、出力信号Voutは、下記式より入力信号Vinと略同一になる。
≒Vin+Vgs1−Vgs1
≒Vin
なお、トランジスタTN1のゲート・ソース間電圧Vgs1は、トランジスタTN1のドレイン電圧及びドレイン電流によって決定される。換言すると、トランジスタTN1のゲート・ソース間電圧Vgs1は、トランジスタTP4のドレイン電圧とトランジスタTP4のドレイン電流(定電流I3)とによって決定される。また、トランジスタTP2のゲート・ソース間電圧Vgs2は、トランジスタTP1のドレイン電圧とトランジスタTP1のドレイン電流(定電流I1)とによって決定される。このため、本実施形態では、トランジスタTN1,TP2のゲート・ソース間電圧Vgs1,Vgs2が略同一になるように、トランジスタTN1,TP2の素子サイズ及びトランジスタTP1,TP4の素子サイズが設定されている。
次に、出力段30の断面構造を説明する。まず、PチャネルMOSトランジスタTP4及びNチャネルMOSトランジスタTN1の断面構造について説明する。
p−型半導体基板40の表面にn−型ウェル領域54が形成されている。このn−型ウェル領域54の表面には、p+型ドレイン領域55と、p+型ソース領域56と、n+型バックゲート領域57と、p+型ソース領域58と、p+型ドレイン領域59とが形成されている。また、p+型ドレイン領域55とp+型ソース領域56との間においてn−型ウェル領域54の表面にゲート酸化膜60及びゲート電極61が形成され、p+型ソース領域58とp+型ドレイン領域59との間においてn−型ウェル領域54の表面にゲート酸化膜62及びゲート電極63が形成されている。これらp+型ドレイン領域55、p+型ソース領域56、ゲート電極61及びn+型バックゲート領域57がそれぞれ、PチャネルMOSトランジスタTP5のドレイン、ソース、ゲート及びバックゲートになる。また、p+型ソース領域58、p+型ドレイン領域59、ゲート電極63及びn+型バックゲート領域57がそれぞれ、PチャネルMOSトランジスタTP6のソース、ドレイン、ゲート及びバックゲートになる。このため、p+型ドレイン領域55は上記p+型バックゲート領域51に接続され、ゲート電極61,63及びp+型ドレイン領域59は電源端子T2に接続されている。そして、p+型ソース領域56とn+型バックゲート領域57とp+型ソース領域58とが共通にノードN2に接続されている。
まず、半導体装置10Aの電源端子T2が低電位側の電源配線から外れた場合の出力回路11Aの動作について説明する。
図5に示すように、半導体装置10Aの電源端子T1が意図せずに高電位側の電源配線から外れると、出力回路11Aの電源端子T1の電位が第1の高電位電源電圧VDD1レベルから低電位電源電圧GNDレベルまで低下する。このとき、他の半導体装置10B(図3参照)からバスB1に第2の高電位電源電圧VDD2レベルの出力信号Vout1が出力されていると、出力回路11Aの出力端子Toに第2の高電位電源電圧VDD2が印加される。すなわち、出力回路11Aの電源端子T1の電位(ここでは、低電位電源電圧GND)よりも高い電圧(ここでは、第2の高電位電源電圧VDD2)が出力端子Toに印加される。すると、トランジスタTN1のソース電圧が第2の高電位電源電圧VDD2レベルになる。ここで、トランジスタTN1のゲート電圧が低電位電源電圧GNDレベルとなるため、トランジスタTN1はオフされる。このとき、トランジスタTN1のソースとバックゲートとの間には、バックゲートからソースに向かう方向が順方向となる上記寄生ダイオードD1が形成されている。このため、図5に示すように、電源端子T1の電位(ここでは、低電位電源電圧GND)よりも高い電圧(ここでは、第2の高電位電源電圧VDD2)が出力端子Toに印加された場合であっても、寄生ダイオードD1によって出力端子Toから電源端子T1に向かって電流が流れることを抑制することができる。
(1)出力段30の出力トランジスタであるNチャネルMOSトランジスタTN1のバックゲートと電源端子T2との間に2つのPチャネルMOSトランジスタTP5,TP6を直列に接続するようにした。また、それらトランジスタTP5,TP6のソースとトランジスタTP5,TP6のバックゲートとをノードN2に接続し、そのノードN2をフローティング状態にするようにした。これにより、電源端子T2の電位よりも低い電圧が出力端子Toに印加された場合であっても、PチャネルMOSトランジスタTP5の寄生ダイオードD3によって電源端子T2からバスB1に向かって電流が流れることを抑制することができる。したがって、1つの半導体装置10Aが故障した場合であっても、その故障に起因して他の半導体装置10Bが誤動作を起こすことが好適に抑制される。
以下、第2実施形態を図6〜図8に従って説明する。先の図1〜図5に示した部材と同一の部材にはそれぞれ同一の符号を付して示し、それら各要素についての詳細な説明は省略する。
図6に示すように、出力回路11Aのバッファ回路20は、電源端子T1と電源端子T2との間に直列に接続されたPチャネルの横型二重拡散絶縁ゲートMOS(LDMOS:Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor)トランジスタTP11,TP12を有している。ここで、LDMOSトランジスタとは、周知なように、ゲート(チャネル領域)とソースとの離間距離に比してゲートとドレインとの離間距離を大きくすることでドレインの高い耐圧を確保した高耐圧MOSトランジスタである。なお、図中のLDMOSトランジスタを示す記号のうち複線で示した部分がLDMOSトランジスタのドレインを表わしている。
出力段30は、電源端子T1と出力端子Toとの間に直列に接続されたPチャネルのLDMOSトランジスタTP14及びNチャネルのLDMOSトランジスタTN11と、トランジスタTN11のバックゲートに接続されたPチャネルのLDMOSトランジスタTP15,TP16及び抵抗R2と、を有している。
また、トランジスタTN11のバックゲートと電源端子T2との間には、2つのLDMOSトランジスタTP15,TP16が直列に接続されている。詳述すると、トランジスタTP15のドレインはトランジスタTN11のバックゲートに接続されている。トランジスタTP15のソースはトランジスタTP16のソースに接続されている。トランジスタTP16のドレインは電源端子T2に接続されている。これらトランジスタTP15,TP16のゲートには、電源端子T2が接続されている。そして、トランジスタTP15のソースに、トランジスタTP15,TP16のバックゲート(ノードN12)が接続されている。このトランジスタTP15,TP16のバックゲート(ノードN12)は、フローティング状態になっている。
このようなNチャネルのLDMOSトランジスタTN11は、上記PチャネルのLDMOSトランジスタTP12とは導電型の異なるMOSトランジスタである。なお、本実施形態では、トランジスタTN11のゲート・ソース間電圧Vgs11とトランジスタTP12のゲート・ソース間電圧Vgs12とが略同一になるように、トランジスタTN11,TP12の素子サイズ及びトランジスタTP11,TP14の素子サイズが設定されている。
図7に示すように、p−型半導体基板70の表面には、n型ボディ領域(n型ウェル領域)71と、n型ドリフト領域(n型ウェル領域)72と、素子分離膜73とが形成されている。なお、素子分離膜73は、例えば周知のSTI(Shallow Trench Isolation)法やLOCOS(Local Oxidation of Silicon)法などを用いて形成される。
p−型半導体基板70の表面にn型ボディ領域90が形成されている。このn型ボディ領域90には、PチャネルのLDMOSトランジスタTP15,TP16が形成されている。詳述すると、このn型ボディ領域90の表面には、p型ドリフト領域91と、p+型ソース領域92と、フィールド酸化膜93と、n+型バックゲート領域94と、フィールド酸化膜95と、p+型ソース領域96と、p型ドリフト領域97とが形成されている。p型ドリフト領域91には、p+型ドレイン領域98と、フィールド酸化膜99とが形成されている。このフィールド酸化膜99は、p+型ドレイン領域98とp+型ソース領域92との間に形成されており、n型ボディ領域90とは離間して形成されている。また、p型ドリフト領域97には、p+型ドレイン領域100と、フィールド酸化膜101とが形成されている。このフィールド酸化膜101は、p+型ドレイン領域100とp+型ソース領域96との間に形成されており、n型ボディ領域90とは離間して形成されている。また、フィールド酸化膜93はp+型ソース領域92とn+型バックゲート領域94との間に形成され、フィールド酸化膜95はp+型ソース領域96とn+型バックゲート領域94との間に形成されている。これらフィールド酸化膜93,95,99,101は、例えば周知のSTI法やLOCOS法などを用いて形成される。なお、p+型ドレイン領域98,100とp+型ソース領域92,96とn+型バックゲート領域94にはシリサイド層がそれぞれ形成されている。
(4)NチャネルのLDMOSトランジスタTN11のバックゲートに、ドレインが外側になるように2つのPチャネルのLDMOSトランジスタTP15,TP16を直列に接続するようにした。このため、電源端子T2の電位よりも低い電圧(負電圧)が出力端子Toに印加された場合には、その負電圧がPチャネルのLDMOSトランジスタTP15のドレインに印加されることになる。ここで、PチャネルのLDMOSトランジスタTP15のドレインとp−型半導体基板70との間の負電圧に対する耐圧(例えば、−42V)は高く確保されている。したがって、電源端子T2の電圧と出力端子Toに印加された電圧(負電圧)との電位差が比較的高い場合であっても、上記負電圧によってトランジスタTP15が破壊されることを好適に抑制することができる。
・上記各実施形態におけるバッファ回路20における出力トランジスタ(図1のPチャネルMOSトランジスタTP2や図6のPチャネルのLDMOSトランジスタTP12)の接続を変更してもよい。例えば図9に示されるように、図6に示したPチャネルのLDMOSトランジスタTP12の代わりに、NチャネルのLDMOSトランジスタTN12を用いるようにしてもよい。トランジスタTN12のソースには、入力信号Vinが供給される。また、トランジスタTN12は、そのゲートがトランジスタTN11のゲートに接続され、ドレインがトランジスタTP11のドレインに接続されている。トランジスタTN12のバックゲートは同トランジスタTN12のソースに接続されている。さらに、トランジスタTN12のゲートは抵抗R3を介してドレインに接続されている。
Vout=Vin+Vgs13−Vgs11
となる。ここで、本実施形態では、上述したようにトランジスタTN11,TN12のゲート・ソース間電圧Vgs11,Vgs13が略同一になるように設定されている。このとき、トランジスタTN11,TN12が同一の導電型のLDMOSトランジスタであるため、製造ばらつきがあってもトランジスタTN11,TN12のゲート・ソース間電圧Vgs11,Vgs13を高精度に同一に設定することができる(Vgs11=Vgs13)。このため、出力信号Voutの電圧値は、下記式より入力信号Vinと同一レベルになる。
=Vin+Vgs13−Vgs11
=Vin
さらに、トランジスタTN12のゲートに、抵抗R3を介して同トランジスタTN12のドレインを接続するようにした。このため、トランジスタTN12のゲート電圧が同トランジスタTN12のソース電圧よりも低くなった場合に、トランジスタTN12のゲートからソースに向かって形成される電流パスに上記抵抗R3が設けられる。詳述すると、トランジスタTN12のゲート電圧が同トランジスタTN12のソース電圧よりも低くなると、トランジスタTN12がオフされ、トランジスタTN12のドレイン・バックゲート間に、そのバックゲートからドレインに向かう方向が順方向に寄生ダイオードが形成される。このため、トランジスタTN12のゲートから抵抗R3を介してドレイン、上記寄生ダイオード、トランジスタTN12のソースを通る電流パスが形成される。但し、この電流パスに抵抗R3を設けているため、この抵抗R3の抵抗値を調整することにより上記電流パスに流れる電流量を少なくすることができる。例えば図9に示した出力回路11Aでは、上記電流パスに流れる電流量がCANやLIN等の規格によって定められた規定値以下となるように上記抵抗R3の抵抗値が設定されている。なお、第2抵抗の一例として開示した抵抗R3を省略するようにしてもよい。また、図9では、第2実施形態のバッファ回路20の変形例を示したが、第1実施形態のバッファ回路20についても同様に変更することができる。
・上記第1実施形態におけるPチャネルMOSトランジスタTP3のバックゲートを、抵抗R1を介して同トランジスタTP3のソースに接続するようにしてもよい。
・上記第2実施形態において、第3抵抗の一例として開示した抵抗R1を省略するようにしてもよい。この場合には、PチャネルのLDMOSトランジスタTP12のバックゲートを同トランジスタTP12のソースに直接接続する。
11A,11B 出力回路
20 バッファ回路(ソースフォロア回路)
21 電流制御回路(電流源)
30 出力段
TN1,TN11 第1MOSトランジスタ
TP5,TP15 第2MOSトランジスタ
TP6,TP16 第3MOSトランジスタ
TN12 第4MOSトランジスタ
TP2,TP12 第5MOSトランジスタ
TP1,TP11 トランジスタ(電流源)
TP4,TP14 トランジスタ(電流源)
R2 第1抵抗
R3 第2抵抗
R1 第3抵抗
To 出力端子
T1 高電位側の電源端子
T2 低電位側の電源端子
N2,N12 ノード
VN1,VN11 電圧
Vin 入力信号
Claims (8)
- 高電位側の電源端子と出力端子との間に直列に接続された電流源及び第1MOSトランジスタと、
前記第1MOSトランジスタのバックゲートにドレインが接続され、低電位側の電源端子にゲートが接続された第2MOSトランジスタと、
前記第2MOSトランジスタのソースにソースが接続され、低電位側の電源端子にドレイン及びゲートが接続された第3MOSトランジスタと、
前記第2MOSトランジスタのソースに、前記第2MOSトランジスタ及び前記第3MOSトランジスタのバックゲートが接続され、該バックゲートがフローティングであることを特徴とする出力回路。 - 前記第1MOSトランジスタのバックゲートは、前記第1MOSトランジスタのゲートに第1抵抗を介して接続されていることを特徴とする請求項1に記載の出力回路。
- 前記第1MOSトランジスタはNチャネルのLDMOSトランジスタであり、前記第2MOSトランジスタ及び前記第3MOSトランジスタはPチャネルのLDMOSトランジスタであることを特徴とする請求項1又は2に記載の出力回路。
- 前記第1MOSトランジスタのゲートに、入力信号に応じた電圧を印加する電圧印加回路を有し、
前記電圧印加回路は、前記第1MOSトランジスタと同じ導電型の第4MOSトランジスタを有し、
前記第4MOSトランジスタは、ソースに前記入力信号が供給され、ドレインが前記電流源に比例した電流を流す他の電流源に接続され、ゲートが前記第1MOSトランジスタのゲートに接続されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の出力回路。 - 前記第4MOSトランジスタのゲートは、前記第4MOSトランジスタのドレインに第2抵抗を介して接続されていることを特徴とする請求項4に記載の出力回路。
- 前記第1MOSトランジスタと前記第4MOSトランジスタの素子サイズが等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の出力回路。
- 前記第1MOSトランジスタのゲートに、入力信号に応じた電圧を印加するソースフォロア回路を有し、
前記ソースフォロア回路は、前記第1MOSトランジスタと異なる導電型の第5MOSトランジスタを有し、
前記第5MOSトランジスタは、ゲートに前記入力信号が供給され、ソースが前記第1MOSトランジスタのゲートに接続され、バックゲートが前記第5MOSトランジスタのソースに第3抵抗を介して接続されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の出力回路。 - 前記第1MOSトランジスタのゲートにカソードが接続され、前記第1MOSトランジスタのバックゲートにアノードが接続されたツェナーダイオードを有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の出力回路。
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