JP5828032B2 - 弾性波素子とこれを用いたアンテナ共用器 - Google Patents
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Description
2 圧電基板
3 櫛形電極
4 第1誘電膜
5,6 第2誘電膜
7 ***振点
8 SH波によるスプリアス
10 アンテナ共用器
11 第1フィルタ
12 第2フィルタ
13 直列共振器
Claims (17)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の上に設けられてレイリー波を主要弾性波として励振する櫛形電極と、
前記圧電基板の上方に設けられて前記櫛形電極を覆う第1誘電膜と、
前記櫛形電極の電極指間において前記圧電基板と前記第1誘電膜との間に設けられた第1部分と、前記櫛形電極の上において前記櫛形電極と前記第1誘電膜との間に設けられた第2部分とを含む第2誘電膜と、
を備え、
前記第1誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より遅く、
前記第2誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より速く、
前記第2誘電膜の第1部分の膜厚は前記第2誘電膜の第2部分の膜厚より大きい、弾性波素子。 - 圧電基板と、
前記圧電基板の上に設けられてレイリー波を主要弾性波として励振する櫛形電極と、
前記圧電基板の上方に設けられて前記櫛形電極を覆い、かつ、前記櫛形電極の電極指の側面に接触する第1誘電膜と、
前記櫛形電極の電極指間において前記圧電基板と前記第1誘電膜との間に設けられた第1部分と、前記櫛形電極の上において前記櫛形電極と前記第1誘電膜との間に設けられた第2部分とを含む第2誘電膜と、
を備え、
前記第1誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より遅く、
前記第2誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より速く、
前記第2誘電膜の第1部分の膜厚は前記第2誘電膜の第2部分の膜厚より大きい、弾性波素子。 - 圧電基板と、
前記圧電基板の上に設けられてレイリー波を主要弾性波として励振する櫛形電極と、
前記圧電基板の上方に設けられて前記櫛形電極を覆い、かつ、前記櫛形電極の電極指の側面に接触する第1誘電膜と、
前記櫛形電極の電極指間において前記圧電基板と前記第1誘電膜との間に設けられた第1部分を含む第2誘電膜と、
を備え、
前記第2誘電膜は、前記櫛形電極の電極指の上面に設けられた第2部分を含み、
前記第1誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より遅く、
前記第2誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より速く、
前記第2誘電膜の第2部分は前記第2誘電膜の第1部分より薄い、弾性波素子。 - 前記第2誘電膜の膜厚は前記櫛形電極の膜厚より小さい、請求項2又は3に記載の弾性波素子。
- 前記櫛形電極によって励振されるSH波の速度は、前記第1誘電膜を伝搬する横波の速度より速く、かつ、前記第2誘電膜を伝搬する横波の速度より遅い、請求項2又は3に記載の弾性波素子。
- 前記第2誘電膜は、前記櫛形電極の電極指の側面に接触する、請求項2又は3に記載の弾性波素子。
- 前記第1誘電膜は、前記圧電基板の周波数温度係数と逆符号の周波数温度係数を有する、請求項2又は3に記載の弾性波素子。
- 第1通過帯域を有する第1フィルタと、
前記第1通過帯域より高い第2通過帯域を有する第2フィルタと、
を備え、
前記第1フィルタとして請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波素子を用いた、アンテナ共用器。 - 圧電基板と、
前記圧電基板の上に設けられて波長λのレイリー波を主要弾性波として励振する櫛形電極と、
前記圧電基板の上方に設けられて前記櫛形電極を覆う第1誘電膜と、
前記櫛形電極の電極指間において前記圧電基板と前記第1誘電膜との間に設けられた第1部分と、前記櫛形電極の上において前記櫛形電極と前記第1誘電膜との間に設けられた第2部分とを含む第2誘電膜と、
を備え、
前記第1誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より遅く、
前記第2誘電膜を伝搬する横波の速度は、前記櫛形電極によって励振されるレイリー波の速度より速く、
前記第2誘電膜の第1部分の膜厚は、前記第2誘電膜の第2部分の膜厚より大きく、かつ、前記櫛形電極の厚さより小さい、弾性波素子。 - 前記第1誘電膜は0.2λから0.5λの厚さを有する、請求項9に記載の弾性波素子。
- 前記第1誘電膜は二酸化ケイ素を含む、請求項10に記載の弾性波素子。
- 前記第2誘電膜の第1部分の膜厚は前記櫛形電極の厚さの0.9倍未満である、請求項9に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板は、ニオブ酸リチウム、水晶、タンタル酸リチウム及びニオブ酸カリウムのいずれか一つを含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波素子。
- 前記櫛形電極は複数の金属電極の積層構造を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波素子。
- 前記複数の金属電極はモリブデン電極及びアルミニウム電極を含む、請求項14に記載の弾性波素子。
- 前記モリブデン電極はモリブデン以外にシリコンを含む、請求項15に記載の弾性波素子。
- 前記アルミニウム電極はアルミニウム以外にマグネシウム、銅及びシリコンのいずれか一つを含む、請求項15に記載の弾性波素子。
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