JP5801496B2 - スパッタリングターゲット - Google Patents
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Description
1)金属相と酸化物相が均一分散した組織を有する焼結体スパッタリングターゲットであって、該金属相が成分としてCoとPtとMnを含有し、該酸化物相が少なくともMnを構成成分とする酸化物を含有することを特徴とするスパッタリングターゲット、
2)前記金属相の一部がPt−Mn相であることを特徴とする上記1)に記載のスパッタリングターゲット、
3)前記酸化物相がさらにAl、B、Ba、Be、Bi、Ca、Ce、Co、Cr、Cs、Cu、Dy、Er、Eu、Fe、Ga、Gd、Ge、Hf、Ho、La、Li、Lu、Mg、Mo、Nb、Nd、Ni、Pr、Sb、Sc、Si、Sm、Sn、Sr、Ta、Tb、Te、Ti、Tm、V、W、Y、Yb、Zn、Zrから選択した一種以上の元素を構成成分とする酸化物を含有することを特徴とする上記1)又は2)記載のスパッタリングターゲット、
4)前記酸化物相がMnを構成成分の一つとする複合酸化物であることを特徴とする上記1)〜3)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット、
5)前記金属相がさらに添加成分として、Ag、Au、B、Cr、Cu、Fe、Ga、Ge、Mo、Nb、Ni、Pd、Re、Rh、Ru、Sn、Ta、W、V、Znから選択した1種以上の元素を含有することを特徴とする上記1)〜4)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット、
6)前記酸化物相がスパッタリングターゲット中における体積比率で10%以上55%未満であることを特徴とする上記1)〜5)のいずれか一に記載のスパッタリングターゲット、を提供する。
Co−Pt系合金は磁性結晶粒子として以前から知られている材料であるが、金属相の構成成分としてCoとPtに加えてMnを含有していること、そしてまた、酸化物相が少なくともMnを構成成分とする酸化物を含有していることが、本発明において重要である。
なお、特許文献5〜6には、強磁性合金と非金属無機材料からなる焼結体スパッタリングターゲットにおいて、無機材料としてMnの酸化物を含むことが開示されているが、これらの技術は、金属相と酸化物相の両者にMnを含有させることによって、密着性を高めるという技術を教示するものではない。
組成:(100−α−β−γ)Co−αPt−βMn−γM(但し、前記組成式中、αは5≦α≦30、βは0.5≦β≦20、γは0.5≦γ≦20の条件を満たす。
また、前記Mは、後述の添加金属元素を意味する。)
なお、上記組成の範囲はハードディスク媒体の記録層としての磁気特性を向上させる範囲であって、この範囲外であって記録層としての特性を有し、スパッタリングの際のパーティクル発生量を低減できるという優れた効果を損なうものではない。
次に、このようにして得られた混合粉末をホットプレス法で真空雰囲気、あるいは、不活性ガス雰囲気において成型・焼結させる。また、前記ホットプレス以外にも、プラズマ放電焼結法など様々な加圧焼結方法を使用することができる。特に熱間静水圧焼結法は焼結体の密度向上に有効である。焼結の保持温度は組成によるが多くの場合700℃〜1100°Cの範囲にある。
このようにして得られた焼結体を旋盤で所望の形状に加工することにより、本発明のスパッタリングターゲットを作製することができる。
金属粉としてガスアトマイズ法によって作製された平均粒径10μmのCo−Cr−Pt−Mn粉末を、酸化物粉として平均粒径3μmのMnO粉末、平均粒径3μmのY2O3粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が2000gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):65Co−5Cr−15Pt−5Mn−5MnO−5Y2O3
0℃、保持時間2時間とし、昇温開始時から保持終了まで30MPaで加圧した。保持終了後はチャンバー内でそのまま自然冷却させた。
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は13個であった。
金属粉として平均粒径3μmのCo粉末、平均粒径5μmのCr粉末、平均粒径3μmのPt粉末、平均粒径10μmのPt−Mn粉末(原子数比Pt:Mn=60:40)を、酸化物粉として平均粒径3μmのMnO粉末、平均粒径3μmのY2O3粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が2000gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):65Co−5Cr−15Pt−5Mn−5MnO−5Y2O3
0℃、保持時間2時間とし、昇温開始時から保持終了まで30MPaで加圧した。保持終了後はチャンバー内でそのまま自然冷却させた。
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は8個であった。
金属粉として平均粒径3μmのCo粉末、平均粒径5μmのCr粉末、平均粒径3μmのPt粉末を、酸化物粉として平均粒径3μmのY2O3粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が1850gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):70Co−5Cr−15Pt−10Y2O3
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は52個で、実施例1、2より多くなった。
金属粉として平均粒径3μmのCo粉末、平均粒径5μmのCr粉末、平均粒径3μmのPt粉末を、酸化物粉として平均粒径3μmのMnO粉末、平均粒径3μmのY2O3粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が2000gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):70Co−5Cr−15Pt−5MnO−5Y2O3
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は27個で、実施例1、2より多くなった。
金属粉としてガスアトマイズ法によって作製された平均粒径10μmのCo−Cr−Pt−Mn粉末を、酸化物粉として平均粒径3μmのY2O3粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が1850gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):65Co−5Cr−15Pt−5Mn−10Y2O3
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は82個で、実施例1、2より多くなった。
金属粉として平均粒径3μmのCo粉末、平均粒径5μmのCr粉末、平均粒径3μmのPt粉末、平均粒径10μmのPt−Mn粉末(原子数比Pt:Mn=60:40)を、酸化物粉として平均粒径3μmのMnO粉末、平均粒径1μmのSiO2粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が2000gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):65Co−5Cr−15Pt−5Mn−5MnO−5SiO2
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は12個であった。
金属粉として平均粒径3μmのCo粉末、平均粒径5μmのCr粉末、平均粒径3μmのPt粉末、平均粒径20μmのMn粉末、平均粒径10μmのRu粉末を、酸化物粉として平均粒径3μmのMn2O3粉末、平均粒径1μmのTiO2粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が2100gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):62.5Co−5Cr−15Pt−5Mn−5Ru−2.5Mn2O3−5TiO2
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は7個であった。
金属粉として平均粒径3μmのCo粉末、平均粒径5μmのCr粉末、平均粒径3μmのPt粉末、平均粒径20μmのMn粉末、平均粒径10μmのRu粉末を、酸化物粉として平均粒径3μmのMn2O3粉末、平均粒径1μmのTiO2粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が1650gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):37.5Co−5Cr−15Pt−5Mn−5Ru−2.5Mn2O3−30TiO2
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は82個であった。
金属粉としてガスアトマイズ法によって作製された平均粒径10μmのCo−Pt−Mn粉末を、酸化物粉として平均粒径3μmのMnO粉末、平均粒径3μmのTa2O5粉末を用意した。そして以下の組成比で合計の重量が2300gとなるように秤量した。
秤量組成(分子数比率):65Co−20Pt−5Mn−5MnO−5Ta2O5
0℃、保持時間2時間とし、昇温開始時から保持終了まで30MPaで加圧した。保持終了後はチャンバー内でそのまま自然冷却させた。
スパッタリングの条件は、投入電力1kW、Arガス圧1.7Paとし、2kWhrのプレスパッタリングを実施した後、4インチ径のシリコン基板上に20秒間成膜した。そして基板上へ付着したパーティクルの個数をパーティクルカウンターで測定した。このときのパーティクル個数は16個であった。
Claims (5)
- 金属相と酸化物相が均一分散した組織を有する焼結体スパッタリングターゲットであって、該金属相が成分としてCoとPtとMnを含有し、該酸化物相が少なくともMnを構成成分とする酸化物を含有すると共に、前記酸化物相が、スパッタリングターゲット中における体積比率で10%以上55%未満であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 前記金属相の一部がPt−Mn相であることを特徴とする請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記酸化物相がさらにAl、B、Ba、Be、Bi、Ca、Ce、Co、Cr、Cs、Cu、Dy、Er、Eu、Fe、Ga、Gd、Ge、Hf、Ho、La、Li、Lu、Mg、Mo、Nb、Nd、Ni、Pr、Sb、Sc、Si、Sm、Sn、Sr、Ta、Tb、Te、Ti、Tm、V、W、Y、Yb、Zn、Zrから選択した一種以上の元素を構成成分とする酸化物を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記酸化物相がMnを構成成分の一つとする複合酸化物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記金属相がさらに添加成分として、Ag、Au、B、Cr、Cu、Fe、Ga、Ge、Mo、Nb、Ni、Pd、Re、Rh、Ru、Sn、Ta、W、V、Znから選択した1種以上の元素を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
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