JP5789569B2 - 塗布装置およびノズル - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る塗布装置の構成を示す模式側面図である。なお、以下においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
ところで、上述してきた第1の実施形態では、ノズルが備えるランド部を、貯留室側へ向けて長手方向中央部を突出させた形状とすることで、長手方向中央部の流路抵抗を長手方向両端部よりも大きくして、膜厚均一性を高めることとした。しかし、膜厚均一性を高める方法は、これに限ったものではない。
R 塗布液
S 貯留室
C 流路
D 吐出口
1 塗布装置
10 載置台
20 第1の移動機構
21 基板保持部
22 駆動部
30 ノズル
31 第1本体部
32 第2本体部
33 蓋部
34 ランド部
34a 長手方向中央部
34b 長手方向両端部
35 一時貯留部
40 昇降機構
50a 厚み測定部
50b ノズル高さ測定部
60 ノズル洗浄部
80 ノズル待機部
90 第2の移動機構
100 制御装置
Claims (11)
- 塗布液が貯留される貯留室と、前記貯留室に連通し、長手方向中央部における流路抵抗が長手方向両端部における流路抵抗よりも大きいスリット状の流路とを備え、前記流路の先端に形成される吐出口から前記塗布液を吐出するノズルと、
前記ノズルと基板とを前記基板の表面に沿って相対的に移動させる移動機構と
を備え、
前記ノズルは、
前記貯留室内へ供給される塗布液が一時的に貯留される一時貯留室と、
前記一時貯留室と前記貯留室とを連通する通路と
を備え、
前記一時貯留室は、
前記貯留室の側方に配置され、かつ、前記流路の長手方向における断面積が前記貯留室よりも小さく、
前記通路の上面は、
前記一時貯留室の上面に連接すること
を特徴とする塗布装置。 - 前記ノズルは、
前記通路における前記貯留室側の出口である液供給口
を備え、
前記液供給口は、
前記ノズルを用いた塗布処理の終了時に前記貯留室内に残留する前記塗布液の液面よりも低い位置に配置されること
を特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記貯留室の内部の圧力を調整する圧力調整部と、
前記圧力調整部を制御して前記貯留室の内部の圧力を調整する圧力制御部と
を備え、
前記圧力制御部は、
前記貯留室の内部を負圧にし、さらに、負圧にした前記貯留室の内部の圧力を徐々に低下させながら前記貯留室の内部へ前記塗布液を充填し、その後、前記基板に前記塗布液を塗布する間、前記貯留室の内部を負圧にし、さらに、負圧にした前記貯留室の内部の圧力を前記貯留室内の塗布液の液面高さの低下にあわせて徐々に上昇させること
を特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置。 - 前記圧力制御部は、
前記貯留室の内部を第1の負圧にし、さらに、前記貯留室の内部の圧力を前記第1の負圧から前記第1の負圧よりも低い第2の負圧へ徐々に低下させながら前記貯留室の内部へ前記塗布液を充填し、その後、前記基板に前記塗布液を塗布する間、前記貯留室の内部の圧力を前記第2の負圧から前記第1の負圧へ前記貯留室内の塗布液の液面高さの低下にあわせて徐々に上昇させること
を特徴とする請求項3に記載の塗布装置。 - 前記貯留室に貯留された塗布液の液面を検知する液面検知部
を備え、
前記ノズルは、
前記貯留室の内部空間に面する側面部が透明部材で形成され、
前記液面検知部は、
前記透明部材を介して前記貯留室の内部空間を臨む位置に配置されること
を特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の塗布装置。 - 光を反射または屈折させるプリズム
を備え、
前記液面検知部は、
前記液面に対して所定の角度で傾斜して配置されるとともに、前記液面と略平行な方向から見た該液面の像を前記プリズムを介して撮像すること
を特徴とする請求項5に記載の塗布装置。 - 前記液面検知部による検知結果に基づいて前記液面が平坦化したか否かを判定し、平坦化したと判定した場合に、前記ノズルを用いた塗布処理を開始させる塗布処理制御部
を備えることを特徴とする請求項5または6に記載の塗布装置。 - 前記ノズルは、
前記流路における長尺状のランド部が、前記貯留室側へ向けて長手方向中央部を突出させた形状を有すること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の塗布装置。 - 前記ランド部は、
短手方向から見て、前記貯留室との境界部が階段状に形成されること
を特徴とする請求項8に記載の塗布装置。 - 前記ランド部は、
短手方向から見て、前記貯留室との境界部が曲線状に形成されること
を特徴とする請求項8に記載の塗布装置。 - 塗布液が貯留される貯留室と、
前記貯留室に連通し、長手方向中央部における流路抵抗が長手方向両端部における流路抵抗よりも大きいスリット状の流路と、
前記流路の先端に形成される吐出口と、
前記貯留室内へ供給される塗布液が一時的に貯留される一時貯留室と、
前記一時貯留室と前記貯留室とを連通する通路と
を備え、
前記一時貯留室は、
前記貯留室の側方に配置され、かつ、前記流路の長手方向における断面積が前記貯留室よりも小さく、
前記通路の上面は、
前記一時貯留室の上面に連接すること
を特徴とするノズル。
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