JP6400397B2 - 塗布液供給装置、塗布装置及び塗布液供給方法 - Google Patents
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Description
第1の実施形態について図1及び図2を参照して説明する。
第2の実施形態について図3を参照して説明する。なお、第2の実施形態では、第1の実施形態との相違点(塗布ヘッド4の個数、ステージ搬送部3及び塗布液供給部5)について説明し、その他の説明は省略する。
前述の第1及び第2の実施形態においては、押圧力を生じさせるためにポンプ13を用いているが、これに限るものではなく、例えば、押圧送液部5aの給液タンク11内の液面と塗布ヘッド4のノズル面との水頭差A1を利用するようにしても良い。一例としては、塗布液が液体流路4cを介して各ノズル4dの全てに充填されるまで、液体流路4cに塗布液を押して流すように水頭差A1を設定することが可能である。つまり、供給配管11の高さよりも給液タンク11内の塗布面を高く設定する。この場合にはポンプ13が不要となる。
4 塗布ヘッド
4a 流入口
4b 流出口
4c 液体流路
4d ノズル
5 塗布液供給部
5a 押圧送液部
5b 吸引送液部
6 制御部
6a 検出部
11 給液タンク
Claims (6)
- 塗布液が流入する流入口、塗布液が流出する流出口、前記流入口と前記流出口をつなげる液体流路及びその液体流路につながり前記塗布液を個別に吐出する複数のノズル、を有する塗布ヘッドに塗布液を供給する塗布液供給装置であって、
押圧力により前記液体流路に前記流入口から前記流出口に向けて前記塗布液を流す押圧送液部と、
吸引力により前記液体流路に前記流入口から前記流出口に向けて前記塗布液を流す吸引送液部と、
前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填されるまで前記押圧送液部に前記塗布液を流させ、前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填された場合、前記吸引送液部に前記塗布液を流させる制御部と、を有し、
前記塗布ヘッドは複数設けられており、
前記複数の塗布ヘッドを接続し、前記塗布液が流れる配管をさらに備え、
前記押圧送液部及び前記吸引送液部は、前記塗布ヘッドごとに、前記液体流路及び前記複数のノズル全てに前記塗布液を充填し、
前記押圧力及び前記吸引力は、前記配管の配管抵抗に応じて前記塗布ヘッドごとに設定されていることを特徴とする塗布液供給装置。 - 前記押圧力は、前記複数のノズルから前記塗布液が漏れ出さない大きさの押圧力であり、
前記吸引力は、前記複数のノズルから空気を吸わない大きさの吸引力であることを特徴とする請求項1に記載の塗布液供給装置。 - 前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填されたことを検出する検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記検出部により前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填されたことが検出された場合、前記吸引送液部に前記塗布液を流させることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布液供給装置。 - 前記押圧送液部は、前記塗布液を貯留する貯留部を有しており、
前記押圧力は、前記貯留部内の前記塗布液の液面と前記塗布ヘッドのノズル面との水頭差による押圧力であり、
前記水頭差は、前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填されるまで、前記押圧送液部が前記液体流路に前記塗布液を流すように設定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の塗布液供給装置。 - 塗布液が流入する流入口、塗布液が流出する流出口、前記流入口と前記流出口をつなげる液体流路及びその液体流路につながり前記塗布液を個別に吐出する複数のノズル、を有する塗布ヘッドと、
押圧力により前記液体流路に前記流入口から前記流出口に向けて前記塗布液を流す押圧送液部と、
吸引力により前記液体流路に前記流入口から前記流出口に向けて前記塗布液を流す吸引送液部と、
前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填されるまで前記押圧送液部に前記塗布液を流させ、前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填された場合、前記吸引送液部に前記塗布液を流させる制御部と、を有し、
前記塗布ヘッドは複数設けられており、
前記複数の塗布ヘッドを接続し、前記塗布液が流れる配管をさらに備え、
前記押圧送液部及び前記吸引送液部は、前記塗布ヘッドごとに、前記液体流路及び前記複数のノズル全てに前記塗布液を充填し、
前記押圧力及び前記吸引力は、前記配管の配管抵抗に応じて前記塗布ヘッドごとに設定されていることを特徴とする塗布装置。 - 塗布液が流入する流入口、塗布液が流出する流出口、前記流入口と前記流出口をつなげる液体流路及びその液体流路につながり前記塗布液を個別に吐出する複数のノズル、を備える塗布ヘッドが複数接続された配管を介して、前記各塗布ヘッドの、前記流体通路及び前記複数のノズル全てに前記塗布液が充填されるように前記塗布液を供給する塗布液供給方法であって、
前記塗布ヘッドごとに、前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填されるまで、押圧力により前記液体流路に前記流入口から前記流出口に向けて前記塗布液を流す工程と、
前記塗布ヘッドごとに、前記塗布液が前記液体流路を介して前記複数のノズル全てに充填されると、吸引力により前記液体流路に前記流入口から前記流出口に向けて前記塗布液を流す工程と、
を有し、
前記押圧力により前記流体流路に塗布液を流す工程における押圧力、及び前記吸引力により前記流体流路に塗布液を流す工程における吸引力は、前記配管の配管抵抗に応じて前記塗布ヘッドごとに設定されることを特徴とする塗布液供給方法。
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JP2014182590A JP6400397B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 塗布液供給装置、塗布装置及び塗布液供給方法 |
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JP2014182590A JP6400397B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 塗布液供給装置、塗布装置及び塗布液供給方法 |
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JP2014182590A Active JP6400397B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | 塗布液供給装置、塗布装置及び塗布液供給方法 |
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