JP5760726B2 - 部品接合装置及び液滴吐出ヘッド製造装置及び部品接合方法 - Google Patents
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Description
2 第1の部品
3 第2の部品
8 第1の保持手段
9 第2の保持手段
14 位置調整手段(アライメントステージ)
15 加圧手段
16 位置検出手段
24 倣い保持手段
25 凸球面
26 球面部材
27 凹球面
28 受け部材
29 軸受部材
36 ロック手段
52 流路板
58 ノズル
41,60 液滴吐出ヘッド(記録ヘッド)
Claims (8)
- 互いに接合され少なくとも一方の接合面に接着剤が塗布される第1の部品及び第2の部品をそれぞれ保持する第1の保持手段及び第2の保持手段と、
前記各部品を接触及び加圧する加圧手段と、
基準となる一方の前記部品に対して他方の前記部品を接触及び加圧した状態でその姿勢を一旦保持する倣い保持手段と、
前記各部品に設けられたアライメントマークに基づいて前記各部品の相対的な位置合わせを行うアライメント手段とを有し、
基準となる一方の前記部品に対して他方の前記部品を前記加圧手段により第1の圧力で接触させ、前記各接合面が互いに密着した状態で前記倣い保持手段により前記各部品を一旦保持し、前記各部品が前記接着剤を介して接触した状態で前記アライメント手段により前記各部品の相対的な位置合わせを行い、位置合わせ後に前記倣い保持手段を解除した後、基準となる一方の前記部品に対して他方の前記部品を前記加圧手段により第1の圧力よりも大きな第2の圧力で接触させ、前記接着剤を介した状態で前記各部品を接合することを特徴とする部品接合装置。 - 請求項1記載の部品接合装置において、
第1の保持手段及び第2の保持手段は第1の部品及び第2の部品を保持する真空吸着手段及び保持を解除する解除手段をそれぞれ有することを特徴とする部品接合装置。 - 請求項1または2記載の部品接合装置において、
前記アライメント手段は、前記各アライメントマークの相対的な位置ずれを検出する位置検出手段と、前記各部品の位置合わせ調整を行う位置調整手段とを有することを特徴とする部品接合装置。 - 請求項1ないし3の何れか1つに記載の部品接合装置において、
前記加圧手段は位置及び荷重の制御が可能であることを特徴とする部品接合装置。 - 請求項1ないし4の何れか1つに記載の部品接合装置において、
前記倣い保持手段は、第2の保持手段と一体的に設けられた凸球面を有する球面部材と、前記凸球面を受ける凹球面を有する軸受部材と、前記軸受部材を受ける凹球面を有する受け部材と、第2の保持手段の姿勢を保持及び解除可能なロック手段とを有し、前記加圧手段により前記各部品を第1の圧力で互いに接触及び加圧させた際に、前記各部品の倣い動作によって第2の保持手段が変位して前記各部品の平行度が調整されることを特徴とする部品接合装置。 - 請求項1ないし5の何れか1つに記載の部品接合装置を用いた液滴吐出ヘッド製造装置であって、第1の部品と第2の部品が振動板と流路板であることを特徴とする液滴吐出ヘッド製造装置。
- 請求項1ないし5の何れか1つに記載の部品接合装置を用いた液滴吐出ヘッド製造装置であって、第1の部品と第2の部品がノズル及び流路板を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッド製造装置。
- 互いに接合される第1の部品及び第2の部品の少なくとも一方に2種類の接着剤を塗布する工程と、前記各部品を互いに対向するように第1の保持手段及び第2の保持手段で保持する工程と、前記各部品を互いに接触させた後に弱圧にて加圧する工程と、基準となる一方の前記部品に対して他方の前記部品を接触及び加圧して前記各部品が互いに密着した状態でこの姿勢を保持する工程と、前記接着剤を介して前記各部品を接触させたまま前記各部品に設けられたアライメントマークに基づいて前記各部品の相対的な位置合わせを行う工程と、位置合わせ後に前記各部品の密着状体を一旦解除した後に前記各部品を第1の接着剤を用いて強圧下で加圧接合する工程と、強圧下で加圧接合された前記各部材を紫外線硬化型の第2の接着剤により仮固定する工程とを有し、前記各部品を第1及び第2の接着剤を介した状態で接合することを特徴とする部品接合方法。
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