JP5748414B2 - 円筒面の形状計測方法 - Google Patents
円筒面の形状計測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5748414B2 JP5748414B2 JP2010090007A JP2010090007A JP5748414B2 JP 5748414 B2 JP5748414 B2 JP 5748414B2 JP 2010090007 A JP2010090007 A JP 2010090007A JP 2010090007 A JP2010090007 A JP 2010090007A JP 5748414 B2 JP5748414 B2 JP 5748414B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- cylindrical surface
- observed
- scanning
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
4 ビームスプリッタ
7 走査ミラー
8 テレセントリックfθレンズ
9a 参照平面
10 被測定物
10a 被観察円筒面
10b 円筒軸
11 結像レンズ
12a ピンホール
13 受光素子
16 表示手段
Claims (2)
- レーザ光源からのレーザ光を平行光束としてビームスプリッタを介して走査ミラーに導き、該走査ミラーで前記レーザ光を走査光に変換してテレセントリックfθレンズに入射させ、該テレセントリックfθレンズの焦点面近傍に近接配置した参照面及び被観察円筒面からの反射光を前記テレセントリックfθレンズにより平行光束に変換し、前記走査ミラーで反射させた後に前記ビームスプリッタでレーザ光源からのレーザ光と分離し、結像レンズによって集光して前記テレセントリックfθレンズの焦点面と共役の位置に設置したピンホールを通過させ、該ピンホールを通過した前記反射光の光量を受光素子で計測する円筒面の形状計測方法であって、前記被観察円筒面の母線上からの反射光と前記被観察円筒面のクラウニング形状に合わせた前記参照面からの反射光とが干渉する距離まで前記被観察円筒面上の走査光が走査する母線に前記参照面を近接させて前記走査光を前記被観察円筒面の母線方向に1回走査させる毎に前記走査光のスポット径に対応する量だけ前記被観察円筒面を有する被測定物をその円筒軸を中心に連続的に回転させながら前記被観察円筒面の全周面を計測することを特徴とする円筒面の形状計測方法。
- 前記受光素子で計測された光量に対応した光量信号とこの光量信号が得られた前記被観察円筒面上の位置情報に基づいて、前記被観察円筒面の全周面について前記被観察円筒面上の凹凸の程度を強調した円筒形状の3次元画像を前記被観察円筒面の表面画像として作成して表示手段に表示することを特徴とする請求項1記載の円筒面の形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010090007A JP5748414B2 (ja) | 2010-04-09 | 2010-04-09 | 円筒面の形状計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010090007A JP5748414B2 (ja) | 2010-04-09 | 2010-04-09 | 円筒面の形状計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011220816A JP2011220816A (ja) | 2011-11-04 |
JP5748414B2 true JP5748414B2 (ja) | 2015-07-15 |
Family
ID=45037995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010090007A Active JP5748414B2 (ja) | 2010-04-09 | 2010-04-09 | 円筒面の形状計測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5748414B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5716459B2 (ja) * | 2011-03-02 | 2015-05-13 | 国立大学法人 新潟大学 | カム表面の観察方法 |
JP5951985B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2016-07-13 | 株式会社ホロン | 円筒状原版検査装置および円筒状原版検査方法 |
JP6485064B2 (ja) * | 2015-01-21 | 2019-03-20 | 株式会社ジェイテクト | 球***置計測方法 |
CN107883895B (zh) * | 2017-11-21 | 2024-02-13 | 苏州睿牛机器人技术有限公司 | 多光源激光检测传感器及其检测方法 |
US20210025986A1 (en) * | 2018-03-15 | 2021-01-28 | Pioneer Corporation | Scanning device and measuring device |
CN109029269B (zh) * | 2018-08-01 | 2020-08-04 | 中国计量大学 | 一种辊筒产品几何参数检测方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5075086A (ja) * | 1973-11-02 | 1975-06-20 | ||
JPS6344110A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Koyo Seiko Co Ltd | 表面粗さ検査装置 |
JPH0222505A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | レーザ干渉測定装置 |
JPH02201143A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-09 | Mita Ind Co Ltd | コーティング物表面の異常検出装置 |
JPH04323511A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-11-12 | Brother Ind Ltd | 光波干渉型真円度測定装置 |
JP2999936B2 (ja) * | 1994-09-30 | 2000-01-17 | 光洋機械工業株式会社 | 工作物の表面探傷装置 |
JP2000310515A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 表面評価方法およびその評価システム |
JP2003057020A (ja) * | 2001-06-05 | 2003-02-26 | D S Giken:Kk | 形状測定装置 |
JP2005292539A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-10-20 | Fuji Xerox Co Ltd | 円筒体の検査方法及び検査装置 |
JP2007225392A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Spectratech Inc | 光干渉装置 |
JP4494438B2 (ja) * | 2007-06-15 | 2010-06-30 | 株式会社オプセル | レーザ走査干渉計 |
-
2010
- 2010-04-09 JP JP2010090007A patent/JP5748414B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011220816A (ja) | 2011-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10612913B2 (en) | Apparatus and methods for performing tomography and/or topography measurements on an object | |
JP5748414B2 (ja) | 円筒面の形状計測方法 | |
KR101683407B1 (ko) | 분광 측정 장치 | |
US8045181B2 (en) | Inspection system and method with multi-image phase shift analysis | |
US20130010286A1 (en) | Method and device of differential confocal and interference measurement for multiple parameters of an element | |
JP2014109577A (ja) | 位置測定装置 | |
EP2813809A1 (en) | Device and method for measuring the dimensions of an objet and method for producing an item using said device | |
JP6622646B2 (ja) | 透明体の欠陥検出方法及び装置 | |
JP2012058068A5 (ja) | ||
JP5648961B2 (ja) | 分光特性測定装置及びその校正方法 | |
CN103727892A (zh) | 校准装置、校准方法和测量装置 | |
KR101794641B1 (ko) | 파장 분리를 이용한 높이 및 형상측정이 가능한 경사 분광시스템 | |
JP2016500817A (ja) | 容器の壁厚測定用設備 | |
JP2009229234A (ja) | 光波干渉測定装置 | |
US20130235385A1 (en) | Surface shape measurement method and measurement apparatus | |
JP6327641B2 (ja) | レーザ走査型干渉計を用いた表面形状の計測方法 | |
JP5716459B2 (ja) | カム表面の観察方法 | |
US20200363619A1 (en) | Chromatic Confocal System and method for inspecting an object | |
KR101436745B1 (ko) | 분광계를 이용하여 파장별 측정을 구현하는 형상 측정 장치 | |
JP2013024734A (ja) | 形状測定装置および形状測定方法 | |
JP6196841B2 (ja) | 透過波面計測装置及び透過波面計測方法 | |
CN101881607A (zh) | 一种检测平面误差*** | |
JP2002277399A (ja) | 照明装置並びにこれを用いた検査装置、エンコーダ及び高さ測定装置 | |
JP2015040742A (ja) | 光学ユニット | |
JP5894464B2 (ja) | 計測装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130409 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130527 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130527 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130718 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140826 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150324 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150414 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5748414 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |