JP2011220816A - 円筒面の形状計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テレセントリックfθレンズ8の焦点面近傍に近接配置した参照平面9a及び被観察円筒面10aからの反射光を前記テレセントリックfθレンズ8により平行光束に変換し、結像レンズ11によって集光してテレセントリックfθレンズ8の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12aを通過させ、ピンホール12aを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する。レーザ光源1からのレーザ光を連続点灯又はパルス点灯させるとともに、走査光を被観察円筒面10aの母線に沿って走査させ、かつ、被観察円筒面10aを有する被測定物10をその円筒軸10bを中心に回転させながら計測する。
【選択図】図1
Description
直交する方向に、走査光のスポット径に対応する量だけ被測定物をその円筒軸を中心に回転させることにより、被観察円筒面の全面にわたって、円筒面の形状を正確に測定することができ、同時に円筒面の表面画像を得ることすることができる。
4 ビームスプリッタ
7 走査ミラー
8 テレセントリックfθレンズ
9a 参照平面
10 被測定物
10a 被観察円筒面
10b 円筒軸
11 結像レンズ
12a ピンホール
13 受光素子
16 表示手段
Claims (6)
- レーザ光源からのレーザ光を平行光束としてビームスプリッタを介して走査ミラーに導き、該走査ミラーで前記レーザ光を走査光に変換してテレセントリックfθレンズに入射させ、該テレセントリックfθレンズの焦点面近傍に近接配置した参照平面及び被観察円筒面からの反射光を前記テレセントリックfθレンズにより平行光束に変換し、前記走査ミラーで反射させた後に前記ビームスプリッタでレーザ光源からのレーザ光と分離し、結像レンズによって集光して前記テレセントリックfθレンズの焦点面と共役の位置に設置したピンホールを通過させ、該ピンホールを通過した前記反射光の光量を受光素子で計測する円筒面の形状計測方法であって、前記レーザ光源からのレーザ光を連続点灯又はパルス点灯させるとともに、前記被観察円筒面を有する被測定物をその円筒軸を中心に回転させながら計測することを特徴とする円筒面の形状計測方法。
- 前記レーザ光源からのレーザ光をパルス点灯させることを特徴とする請求項1記載の円筒面の形状計測方法。
- 前記走査光を前記被観察円筒面の母線に沿って走査させることを特徴とする請求項1又は2記載の円筒面の形状計測方法。
- 前記走査光が前記被観察円筒面の母線を1回走査する毎に、前記走査光の走査方向に直交する方向に、前記走査光のスポット径に対応する量だけ前記被測定物をその円筒軸を中心に回転させることを特徴とする請求項3記載の円筒面の形状計測方法。
- 前記参照平面の代わりに、前記被観察円筒面のクラウニング形状に合わせた曲面を参照面としたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の円筒面の形状測定方法。
- 前記受光素子で計測された光量に対応した光量信号とこの光量信号が得られた前記被観察円筒面上の位置情報に基づいて、前記被観察円筒面上の凹凸の程度を強調した円筒形状の3次元画像を作成して表示手段に表示することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の円筒面の形状測定方法。
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