JP4494438B2 - レーザ走査干渉計 - Google Patents
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Description
Claims (5)
- 平行に配置した参照板の参照面及び被検体の被観察面に走査光を照査して前記参照面から反射された参照光と前記被観察面から反射された被観察面光との干渉により生じる干渉縞の画像を得る干渉光学系を備えた干渉計において、前記干渉光学系は、レーザ光を平行光束として出力するレーザ光源部と、該レーザ光源部からのレーザ光を反射して走査光に変換する走査ミラーと、該走査ミラーからの走査光を前記参照面及び被観察面に垂直に照射するテレセントリックfθレンズと、該テレセントリックfθレンズ16の焦点面近傍に配置された前記参照面及び被観察面からの反射光を前記テレセントリックfθレンズにより平行光束に変換し、前記走査ミラーで反射させた後に前記レーザ光源部からのレーザ光と分離するビームスプリッタと、該ビームスプリッタで分離した前記反射光を集光する結像レンズと、前記テレセントリックfθレンズの焦点面と共役の位置に設置したスリットもしくはピンホールと、前記結像レンズにより集光されて前記スリットもしくはピンホールを通過した前記反射光の光量を計測する受光素子とを有し、該受光素子で計測した光量をA/D変換して前記走査ミラーの走査角度に対応した1次元のデータを記憶する演算手段と、該演算手段に記憶した前記1次元のデータを一つの走査線の干渉波形として時系列に配置した2次元の干渉縞として表示する表示手段とを備え、前記参照面は、走査光の走査方向の長さは走査光の走査幅に対応した長さであり、走査方向に対して直交する方向の幅は被検体の幅よりも狭く、かつ、走査ビーム径より大きい幅寸法であり、前記走査光が前記被観察面を1回走査する毎に、走査光の走査方向及び走査光の光軸のそれぞれに直交する方向に、走査光の走査幅に対応する量だけ被観察面を移動させる移動手段を備えていることを特徴とするレーザ走査干渉計。
- 前記参照面及び前記被観察面は、前記テレセントリックfθレンズの開口数に対応したレーザ光のビームウエストの範囲内に配置されていることを特徴とする請求項1記載のレーザ走査干渉計。
- 前記参照面及び前記被観察面の走査光反射面が曲面又は球面であることを特徴とする請求項1又は2記載のレーザ走査干渉計。
- 前記参照面を含む光学系及び前記被観察面の少なくともいずれか一方が走査光の光軸に直交する方向に移動可能に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のレーザ走査干渉計。
- 前記被観察面及び前記参照面が液中に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のレーザ走査干渉計。
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