JP5739320B2 - 試料液体気化システム、診断システム及び診断プログラム - Google Patents

Description

本発明は、試料液体気化装置に設けられたガス濃度計等の各種センサやフローコントローラ等の流量制御機器を含む試料液体気化装置全体の異常を診断するシステム及びそのプログラムに関するものである。

従来の試料液体気化装置としては、特許文献１に示すように、試料液体を貯留する試料液体タンクと、当該試料液体タンクの試料液体に当該試料液体を気化させるキャリアガスを導入するガス導入管と、試料液体が気化してなる試料ガス及びキャリアガスからなる混合ガスを前記試料液体タンクから導出するガス導出管とを有するものがある。そして、この試料液体気化装置には、前記ガス導出管を流れる混合ガスにおける試料ガス濃度を測定するために例えば超音波式ガス濃度計等のガス濃度計を設ける場合がある。

そして、このガス濃度計により得られた測定値が正確か否かを判断するためには、濃度既知の基準ガスを流し、基準ガスの既知濃度とガス濃度計の測定値とを比較することにより行っている。

しかしながら、ガス濃度計に基準ガスを流すためには、試料液体気化装置に基準ガスを流すための配管を設ける必要があり、配管スペースの拡大やコストが増大してしまうという問題がある。また、試料液体気化装置に基準ガスを流すためのシーケンス（処理手順）を準備する必要があることからユーザの作業が煩雑になるという問題がある。

さらに、試料液体気化装置により試料ガスを発生させている状態では基準ガスを流すことができないため、一旦試料液体気化装置により試料ガスの生成を停止させた後に基準ガスを流す必要がある。このように試料ガスの生成を停止した状態で異常を判断するものでは、時間間隔をおいてガス濃度計の異常を判断せざるを得ず、ガス濃度計の異常を検知するのが遅れてしまい、それまでに生成された試料ガスの濃度が所望の値からずれてしまうという問題がある。

この試料液体気化装置においては、前記ガス濃度計の異常の他に、試料液体気化装置に設けられた温度計や圧力計等の各種センサ又はガス導入管に設けられたマスフローコントローラ等の流量制御機器が異常の場合にも、試料ガスの濃度が所望の値からずれてしまうという問題がある。また、それら各部の異常を判断するためにそれぞれ各別に判断シーケンスが必要となってしまう。

特開２００４−１４９９２５号公報

そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、基準ガス及び基準ガスを流す専用の配管及び各別のシーケンスを準備する必要が無く、ガス濃度計等の各部を含むシステム（装置）全体が異常か否かの判断を行うことができることをその主たる課題とするものである。

すなわち本発明に係る試料液体気化システムは、試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計と、前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計と、前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計と、前記温度計により得られた温度及び前記圧力計により得られた圧力から、前記試料液体タンクで気化したガス濃度を算出するガス濃度算出部と、前記ガス濃度算出部により算出されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断することを特徴とする。

このようなものであれば、試料液体タンク内の温度及び試料液体タンク内の圧力から算出されたガス濃度計算値とガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして試料液体気化システム全体の異常を判断しているので、別途基準ガスや基準ガスを流すための配管及び各別のシーケンス等を準備する必要が無い。また、試料ガスを生成している試料ガス生成運転時においても試料液体気化システムが異常か否かを含めた状態を判断することができる。

試料液体タンク内の温度及び試料液体タンク内の圧力から算出されたガス濃度計算値は、例えばバブリングによる試料液体の気化効率、試料液体の材料特性、試料液体タンク内における試料液体の液量等により変動する。本発明では、前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して得られる上限値及び下限値の範囲内に前記ガス濃度測定値が含まれるか否かにより試料液体気化システムが異常か否かを判断するので、前記ガス濃度計算値の変動を考慮して、試料液体気化システム全体の異常を判断することができる。

また、本発明に係る診断システムは、試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計とを備える試料液体気化装置の診断システムであって、前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力から算出されて前記試料液体タンクで気化したガス濃度を示すガス濃度計算値を取得するガス濃度取得部と、前記ガス濃度取得部により取得されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして前記試料液体気化装置の異常を判断する状態判断部とを備え、前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化装置が異常であると判断することを特徴とする。

さらに、本発明に係る診断プログラムは、試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計とを備える試料液体気化装置の診断プログラムであって、コンピュータに、前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力から算出されて前記試料液体タンクで気化したガス濃度を示すガス濃度計算値を取得するガス濃度取得部、及びガス濃度取得部により取得されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして前記試料液体気化装置の異常を判断する状態判断部としての機能を発揮させ、前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化装置が異常であると判断することを特徴とする。

また本発明に係る試料液体気化システムは、試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクに貯留された試料液体中に、当該試料液体を気化させるキャリアガスを導入するキャリアガス導入管と、前記試料液体タンクにより気化された試料ガス及び前記キャリアガスの混合ガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れる混合ガス中の試料ガス濃度を測定するガス濃度計と、前記キャリアガス導入管に設けられて当該キャリアガス導入管を流れるキャリアガス流量を測定する第１の流量計と、前記ガス導出管に設けられて当該ガス導出管を流れる混合ガス流量を測定する第２の流量計と、前記第１の流量計により得られたキャリアガス流量及び前記第２の流量計により得られた混合ガス流量から前記試料ガス濃度を算出するガス濃度算出部と、前記ガス濃度算出部により算出されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断することを特徴とする。

また、本発明に係る試料液体気化システムは、試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス中の試料ガスの分圧を測定してガス濃度を測定するガス濃度計と、前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計と、前記温度計により得られた温度から、前記試料液体の飽和蒸気圧を算出する圧力算出部と、前記圧力算出部により算出された飽和蒸気圧と前記ガス濃度計により得られた分圧とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、前記状態判断部が、前記飽和蒸気圧に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記分圧が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断することを特徴とする。このようにガス濃度計により得られる分圧と温度計により得られた温度を用いて算出される飽和蒸気圧との比較によっても上記と同様の効果を奏する。

このように構成した本発明によれば、試料液体タンク内の温度及び試料液体タンク内の圧力から算出されたガス濃度計算値とガス濃度計により得られたガス濃度測定値とからガス濃度計等の各部を含むシステム（装置）全体が異常か否かを判断するので、基準ガス及び基準ガスを流す専用の配管及び各別のシーケンスを準備する必要が無く、システム（装置）全体が異常か否かを含む状態の判断を行うことができる。

本発明の一実施形態に係る試料液体気化システムの模式的構成図。 同実施形態におけるガス濃度計診断フローを示すフローチャート。 変形実施形態に係る試料液体気化システムの模式的構成図。

以下に、本発明に係る試料液体気化システムの一実施形態について、図面を参照して説明する。

本実施形態に係る試料液体気化システム１００は、例えば半導体製造プロセスに使用されるＣＶＤ法等を用いた成膜装置にその成膜原料となる試料液体をバブリング法により気化して供給するものである。

具体的にこのものは、図１に示すように、試料液体を貯留する試料液体タンク２と、試料液体タンク２に貯留された試料液体中にキャリアガスを導入してバブリングさせるキャリアガス導入管３と、試料液体タンク２により気化された試料ガス及びキャリアガスの混合ガスを試料液体タンク２の外部に導出するガス導出管４とを備えている。

キャリアガス導入管３には、当該キャリアガス導入管３を流れるキャリアガス流量を制御するための流量制御機器としてマスフローコントローラ（ＭＦＣ）３１が設けられている。また、ガス導出管４には、当該ガス導出管４を流れる混合ガス中の試料ガス濃度を測定する例えば超音波式のガス濃度計４１が設けられている。なお、これらの構成により試料液体気化装置２００が構成される。

また、試料液体タンク２には、当該試料液体タンク２内に貯留された試料液体の温度を測定する温度計２１と、試料液体タンク２内の圧力（全圧）を測定する圧力計２２とが設けられている。

そして本実施形態では温度計２１から温度検出信号を取得するとともに、圧力計２２から圧力検出信号を取得して、前記ガス濃度計４１が異常か否かを含む状態を診断する機能を有する演算装置５を備えている。

この演算装置５は、ＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェイス、ＡＤ変換器等を備えた汎用乃至専用のコンピュータであり、前記メモリの所定領域に記憶させた制御プログラムにしたがってＣＰＵ、周辺機器等を協働させることにより、ガス濃度算出部５１及び状態判断部５２等として機能する。なお、本実施形態の状態判断部５２は、ガス濃度計４１が異常か否かを判断する異常判断部として機能する。

以下、演算装置５により実施されるガス濃度計４１の診断処理についてガス濃度算出部５１及び状態判断部５２とともに説明する。なお、本実施形態のガス濃度計４１の診断処理は、通常の試料ガス生成運転時において常時行われている。

まず、ガス濃度算出部５１は、温度計２１から試料液体の温度（Ｔ_Ｂ）を示す温度検出信号を取得して（ステップＳ１）、試料液体タンク２内の試料ガスの蒸気圧（分圧（Ｐ_Ｔ））を算出する（ステップＳ２）。また、ガス濃度算出部５１は、圧力計２から試料液体タンク２内の圧力（全圧（Ｐ_０））を示す圧力検出信号を取得して（ステップＳ３）、試料液体タンク２内の全圧（Ｐ_０）及び前記試料ガスの蒸気圧（Ｐ_Ｔ）から試料ガス濃度（ガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ））を算出する（ステップＳ４）。

本実施形態のガス濃度算出部５１は、前記ガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ）に、固定係数（Ｋ_Ｆ：液体試料タンク２やキャリアガス導入管３の特性やバブリングによる気化効率等から規定される一定の係数）、液レベル係数（Ｋ_Ｌ：試料液体タンク２に貯留された試料液体の液量により変動する係数）、時間係数（Ｋ_Ｔ：試料液体気化システム１００の使用時間、バブリング時間等により変動する係数）を掛け合わせて、ガス濃度補正値（Ｃ_Ｃ２）を算出する（ステップＳ５）。なお、固定係数Ｋ_Ｆは予め入力手段等により手動で入力したものである。また、液レベル係数Ｋ_Ｌは液量を自動計測することによりガス濃度算出部５１が算出するようにしても良いし、手動で入力しても良い。さらに、時間係数Ｋ_Ｔは使用時間等を自動計測することによりガス濃度算出部５１が算出するようにしても良いし、手動で入力しても良い。

次に、状態判断部５２は、前記ガス濃度算出部５１により算出されたガス濃度補正値（Ｃ_Ｃ２）を示す補正値データを取得するとともに（ステップＳ６）、ガス濃度計４１からガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）を示すガス濃度測定値データを取得して、それらガス濃度補正値（Ｃ_Ｃ２）及びガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）とをパラメータとして前記ガス濃度計４１の異常を判断する（ステップＳ７）。

具体的に状態判断部５２は、ガス濃度算出部５１により得られたガス濃度補正値（Ｃ_Ｃ２）に、所定の範囲係数Ｘを掛けることにより、濃度上限値（Ｘ・Ｃ_Ｃ２）及び濃度下限値（−Ｘ・Ｃ_Ｃ２）を算出し、当該濃度上限値（Ｘ・Ｃ_Ｃ２）及び濃度下限値（−Ｘ・Ｃ_Ｃ２）の間に、ガス濃度計４１のガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）が含まれるか否かを判断する。

そして、状態判断部５２は、ガス濃度計５１のガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）が前記上限値（Ｘ・Ｃ_Ｃ２）及び下限値（−Ｘ・Ｃ_Ｃ２）の範囲内にない場合には、ガス濃度計４１が異常である判断する（ステップＳ７）。一方で、ガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）が濃度上限値（Ｘ・Ｃ_Ｃ２）及び濃度下限値（−Ｘ・Ｃ_Ｃ２）の範囲内にあれば、引き続き診断処理を継続する。なお、演算装置５は、状態判断部５２により異常と判断した場合には、ディスプレイ上に異常表示を行う等、報知手段を用いてユーザに異常であることを報知する。その他、演算装置５は、試料液体気化システム１００による試料ガス生成運転を停止することもできる。

このように構成した本実施形態の試料液体気化システム１００によれば、試料液体タンク２内に貯留された試料液体の温度（Ｔ_Ｂ）及び試料液体タンク２内の圧力（全圧（Ｐ_０））から算出されたガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ）とガス濃度計４１により得られたガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）とをパラメータとしてガス濃度計４１の異常を判断しているので、別途基準ガスや基準ガスを流すための配管及びシーケンス等を準備する必要が無い。また、試料ガスを生成している通常時においてガス濃度計４１の異常を判断することができるので、ガス濃度計４１の異常を常時判断することができる。

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、図３に示すように、前記実施形態の構成に加えて、ガス導出管４においてガス濃度計４１の下流側にガス流量計４２（第２の流量計）を設けて、当該ガス流量計４２により得られた混合ガス流量（Ｑ_２）と、キャリアガス導入管３に設けたマスフローコントローラ３１（第１の流量計）により得られたキャリアガス流量（Ｑ_１）との差（Ｑ_２−Ｑ_１）を用いて試料ガス濃度（Ｃ_Ｃ３）を算出しても良い。この場合、温度（Ｔ_Ｂ）及び圧力（Ｐ_０）により算出したガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ）とガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）との比較で、ガス濃度計４１の異常を判断するだけでなく、さらにキャリアガス流量（Ｑ_１）及び混合ガス流量（Ｑ_２）により算出したガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ３）とガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）との比較でガス濃度計４１の異常を判断することで、ガス濃度計４１の診断の信頼性を高めることができる。なお、温度（Ｔ_Ｂ）及び圧力（Ｐ_０）により算出したガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ）とガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）との比較を行うことなく、キャリアガス流量（Ｑ_１）及び混合ガス流量（Ｑ_２）により算出したガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ３）とガス濃度測定値（Ｃ_Ｍ）との比較でガス濃度計４１の異常を判断するようにしても良い。

前記実施形態では、ガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ）に固定係数Ｋ_Ｆ、液レベル係数Ｋ_Ｌ、時間係数Ｋ_Ｔを掛けて補正しているが、それら何れか１つの係数を掛けて補正しても良いし、その他の係数を掛けて補正しても良いし、補正せずにガス濃度計算値（Ｃ_Ｃ）そのものを用いて異常判断を行っても良い。

また、前記実施形態では状態判断部がガス濃度計が異常か否かを判断するものであったが、その他、ガス濃度計の状態を、そのガス濃度測定値とガス濃度計算値との差によりランク付けする等によりガス濃度計の状態を判断するものであっても良い。

また、前記実施形態では、状態判断部が、ガス濃度計の異常を判断するものであったが、ガス濃度計を正常とみなして、その他の各種センサ又はマスフローコントローラ等の異常を判断するものであっても良い。例えば、ガス濃度計を正常とみなした場合に、ガス濃度計算値が濃度上限値及び濃度下限値の間にない場合には、ガス濃度計算値を算出するのに用いた温度又は圧力が異常であると判断できる。つまり、これにより、温度計又は圧力計が異常であると判断できる。さらに、温度計又は圧力計が正常とみなせる場合には、その他のマスフローコントローラや試料液体気化装置の配管等が異常であると判断できる。

さらに、前記実施形態のガス濃度計が、ガス導出管を流れるガス中の試料ガスの分圧を測定して当該試料ガスのガス濃度を測定するものであれば、試料液体タンク内の温度を測定する温度計と、温度計により得られた温度から、前記試料液体の飽和蒸気圧を算出する圧力算出部と、圧力算出部により算出された飽和蒸気圧と前記ガス濃度計により得られた分圧とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備える構成としても良い。このようなものであっても前記実施形態と同様の効果を奏する。また、圧力計を不要とできるので、構成を簡単にすることができる。

また、前記実施形態では、演算装置が、試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力からガス濃度計算値を算出するガス濃度算出部を有するものであったが、演算装置が試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力から算出されて前記試料液体タンクで気化したガス濃度を示すガス濃度計算値を取得するガス濃度取得部を有するものであっても良い。これならば、外部の演算手段によってガス濃度計算値が算出される場合に有効である。

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

１００・・・試料液体気化システム
２００・・・試料液体気化装置
２ ・・・試料液体タンク
２１ ・・・温度計
２２ ・・・圧力計
３ ・・・キャリアガス導入管
４ ・・・ガス導出管
４１ ・・・ガス濃度計
５ ・・・演算装置
５１ ・・・ガス濃度算出部
５２ ・・・状態判断部（異常判断部）

Claims (7)

1. 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、
   前記試料液体タンクにより気化されたガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、
   前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計と、
   前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計と、
   前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計と、
   前記温度計により得られた温度及び前記圧力計により得られた圧力から、前記試料液体タンクで気化したガス濃度を算出するガス濃度算出部と、
   前記ガス濃度算出部により算出されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、
   前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断する試料液体気化システム。
2. 前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して得られる上限値及び下限値の範囲内に前記ガス濃度測定値が含まれるか否かにより試料液体気化システムが異常か否かを判断するものである請求項１記載の試料液体気化システム。
3. 前記試料液体タンクに貯留された試料液体中に、当該試料液体を気化させるキャリアガスを導入するキャリアガス導入管を備えている請求項１又は２記載の試料液体気化システム。
4. 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計とを備える試料液体気化装置の診断システムであって、
   前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力から算出されて前記試料液体タンクで気化したガス濃度を示すガス濃度計算値を取得するガス濃度取得部と、
   前記ガス濃度取得部により取得されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして前記試料液体気化装置の異常を判断する状態判断部とを備え、
   前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化装置が異常であると判断する診断システム。
5. 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、前記試料液体タンクにより気化されたガスを外部に導出するガス導出管と、前記ガス導出管を流れるガス濃度を測定するガス濃度計とを備える試料液体気化装置の診断プログラムであって、
   コンピュータに、前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計により得られた温度及び前記試料液体タンク内の圧力を測定する圧力計により得られた圧力から算出されて前記試料液体タンクで気化したガス濃度を示すガス濃度計算値を取得するガス濃度取得部、及びガス濃度取得部により取得されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして前記試料液体気化装置の異常を判断する状態判断部としての機能を発揮させ、
   前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化装置が異常であると判断する診断プログラム。
6. 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、
   前記試料液体タンクに貯留された試料液体中に、当該試料液体を気化させるキャリアガスを導入するキャリアガス導入管と、
   前記試料液体タンクにより気化された試料ガス及び前記キャリアガスの混合ガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、
   前記ガス導出管を流れる混合ガス中の試料ガス濃度を測定するガス濃度計と、
   前記キャリアガス導入管に設けられて当該キャリアガス導入管を流れるキャリアガス流量を測定する第１の流量計と、
   前記ガス導出管に設けられて当該ガス導出管を流れる混合ガス流量を測定する第２の流量計と、
   前記第１の流量計により得られたキャリアガス流量及び前記第２の流量計により得られた混合ガス流量から前記試料ガス濃度を算出するガス濃度算出部と、
   前記ガス濃度算出部により算出されたガス濃度計算値と前記ガス濃度計により得られたガス濃度測定値とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、
   前記状態判断部が、前記ガス濃度計算値に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記ガス濃度測定値が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断する試料液体気化システム。
7. 試料液体を貯留するとともに当該試料液体が気化される試料液体タンクと、
   前記試料液体タンクにより気化されたガスを前記試料液体タンクの外部に導出するガス導出管と、
   前記ガス導出管を流れるガス中の試料ガスの分圧を測定してガス濃度を測定するガス濃度計と、
   前記試料液体タンク内の温度を測定する温度計と、
   前記温度計により得られた温度から、前記試料液体の飽和蒸気圧を算出する圧力算出部と、
   前記圧力算出部により算出された飽和蒸気圧と前記ガス濃度計により得られた分圧とをパラメータとして試料液体気化システムの異常を判断する状態判断部とを備え、
   前記状態判断部が、前記飽和蒸気圧に所定の演算を施して少なくとも上限値を算出し、当該上限値よりも前記分圧が大きい場合に試料液体気化システムが異常であると判断する試料液体気化システム。