JP5706515B2 - プローブ先端を接点面の配列に接触させる方法及び装置 - Google Patents
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Description
2 チャック
4 収容プレート
5 収容面
6 基板
7 基板表面
8 移動機器
10 プローブ保持器
12 保持部材
14 プローブ保持プレート
15 プローブカード
16 プローブカード保持器
18 プローブ先端
20 素子
21 構成要素
22 接点面
24 窪み
26 スルーホール接点
30 監視ユニット
32 監視面
34 監視方向
α 監視角度
Claims (7)
- 探針機器で少なくとも一つの配列として配置された半導体基板(6)の接点面(22)にそれに対応するプローブ先端(18)の配列を接触させる方法であって、接点面(18)とプローブ先端(18)が間隔を開けて対向するように、移動機器(8)を用いて、基板(6)上に配置された接点面(22)とプローブ先端(18)を互いに相対的に位置決めした後、各プローブ先端(18)が接点面(22)と接触するまで、接点面(22)とプローブ先端(18)の互いに相対的な送り動作を行い、監視ユニット(30)を用いて、その接触を監視し、0°〜180°の範囲内の監視角度αを成す二つの監視方向(34)から、この接触を監視する方法において、
これらの二つの監視方向(34)が、基板表面(7)と一致する監視面(32)内又は基板表面(7)に対して平行な監視面(32)内に有ることを特徴とする方法。 - 当該の監視角度αが0〜90°の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 当該の監視を異なる監視方向(34)から順番に行なうことを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 当該の監視を異なる監視方向(34)から同時に行なうことを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 少なくとも一つの配列として配置された半導体基板(6)の接点面(22)に接触させるための装置であって、チャック(2)と、基板(6)を収容するためのチャック(2)の収容面(5)と、複数のプローブ先端(18)と、プローブ先端(19)を保持するための少なくとも一つのプローブ保持器(10)と、チャック(2)とプローブ先端(18)を互いに相対的に位置決めするための移動機器(8)と、プローブ先端(18)と接点面(22)の間の接触を実現することが可能な接触ゾーンを監視するための監視ユニット(30)とを備えた装置において、
監視ユニット(30)が、収容面(5)に対して平行な監視面(32)内で旋回可能であることを特徴とする装置。 - 本装置が、二つの異なる監視方向(34)から接触ゾーンを監視するための少なくとも二つの監視ユニット(30)を備えており、その中の少なくとも一つの監視ユニットが旋回可能であることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 一つの監視ユニット(30)が、収容面(5)に対して平行な監視面(32)内を0〜180°の範囲内で旋回可能であることを特徴とする請求項5又は6に記載の装置。
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